 
  
| Etapų dydis  | 8, 12[col]  | MAKS 300x300[mm]  | |
| Šešėlio dydis  | ф50[um]~ Ф300[μm]  | ||
| Minimalus bulvių žingsnis  | 90[um](Ф50[um] kamuoliukas)  | ||
| Lygiavimo tikslumas  | +15[um]  | ||
| Išmatavimai    | 3,065W x 1,700D x 1,650H[mm]  | ||
| Svoris    | Apie 2,900[kg]  | ||
| Įkroviklis / Iškroviklis  | Atviras kasetės, FOUP  | Pritaikomas  | |









Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos