






|
Plazma
|
RF
|
RF
|
||
|
Galia
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
|
BIAS
|
600w(option)
|
600w(option)
|
||
|
Pritaikymo sritis
|
4~8 colis
|
4~8 colis
|
||
|
Kiekis vieno apdorojimo skilte
|
1
|
2
|
||
|
Išvaizdos matmenys
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
|
Sistemos valdymas
|
Pramonės valdymo sistema
|
Pramonės valdymo sistema
|
||
|
Automatikos lygis
|
automatinis
|
automatinis
|
||






Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos