Išryškinti
Įvadas: Ši įranga yra dviejų taikinių magnetroninė dengimo įranga. Ji aprūpinta dviem magnetroniniais taikiniais ir dviem nuolatinės srovės maitinimo šaltiniais. Ja galima dengti daugiasluoksnius laidžiuosius metalo sluoksnius. Kartu įranga susideda iš dviejų dalių: pagrindinės kameros ir perėjimo kameros. Perėjimo kamerą įrengta magnetinė stumdomoji rankenėlė, o tarp abiejų kamerų įrengta vakuumo uždangos sklendė. Vartotojas gali įkelti pavyzdžius į perėjimo kamerą ir atlikti pirminį vakuumavimą tuo metu, kai pagrindinėje kamerose vyksta dulkių išmetimas (sputterinis dengimas). Kai pagrindinėje kamerose baigiamas dulkių išmetimas, pavyzdžiai magnetine stumdomąja rankenėle gali būti įstumiami į pagrindinės kameros pavyzdžių laikiklį. Toks konstrukcinis sprendimas sumažina pagrindinės kameros vakuumavimo ir atmosferos atstatymo kartų skaičių, todėl ne tik efektyviai sutaikoma laiko, bet ir užtikrinamas geresnis vietinis vakuumas, o tai veiksmingai pagerina dengimo kokybę.
Panaudojimas: galima naudoti feroelektrinių plonųjų plėvelių, laidžiųjų plėvelių, lydinių plėvelių, puslaidininkių plėvelių, keramikos plėvelių, dielektrinių plėvelių, optinių plėvelių ir kt. paruošimui vieną ar kelių sluoksnių.