Įvadas:
Šis įrenginys yra dviejų taikinių magnetroninis dangos dėjimo įrenginys. Jis aprūpintas dviem magnetronų taikiniais ir dviem nuolatinės srovės maitinimo šaltinių rinkiniais. Juo galima dėti daugiasluoksnines laidžiąsias metalo plėveles. Kartu įrenginys susideda iš dviejų dalių: pagrindinės kamerų ir perėjimo kameros. Perėjimo kamerą įrengta magnetinė stumdomoji lazdelė, o tarp abiejų kamerų įrengta vakuumo uždangos sklendė. Vartotojas gali įkelti pavyzdžius į perėjimo kamerą ir atlikti pirminį vakuumavimą tuo metu, kai pagrindinėje kamerose vyksta dulkių išmetimas. Kai pagrindinėje kamerose baigiamas dulkių išmetimas, pavyzdžiai magnetine stumdomąja lazdele gali būti įstumiami į pagrindinės kameros pavyzdžių etapą. Šis konstrukcinis sprendimas sumažina pagrindinės kameros vakuumavimo ir atmosferos atstatymo kartų skaičių, todėl ne tik efektyviai sutaikoma laiko, bet ir užtikrinamas geresnis vietinis vakuumas, o tai veiksmingai pagerina dangos kokybę.
Taikymas:
Galima naudoti vieno ar daugiasluoksnio feroelektrinių plonų plėvelių, laidžiųjų plėvelių, lydinių plėvelių, puslaidininkių plėvelių, keraminės plėvelės, dielektrinės plėvelės, optinės plėvelės ir kt. paruošimui.