Išryškinti
Įvadas:
Dvigubojo tikslo magnetroninis dulkių dėjimo įrenginys yra mūsų įmonės sukurtas laboratorinis specializuotas dėjimo įrenginys. Įrangą galima komplektuoti nuolatinės srovės (DC) ir radio dažnio (RF) maitinimo šaltiniu, kurių galia svyruoja nuo 500 W iki 1000 W. Palyginus su įprastiniu plazminiu dulkių dėjimu, magnetroninis dulkių dėjimas turi privalumų: aukšta energija ir didelis greitis, aukštas dėjimo našumas bei mažas pavyzdžių temperatūros kilimas. Tai tipiškas aukšto greičio ir žemos temperatūros dulkių dėjimas. Magnetroninės taikinio plokštės viduje įmontuota vandeniu aušinama tarpinė sluoksnio. Vandens aušintuvas efektyviai pašalina šilumą ir neleidžia šilumos kaupimuisi ant taikinio paviršiaus, todėl magnetroninis dėjimas gali ilgą laiką veikti stabiliai. Įranga suprojektuota kompaktiškai, kad būtų pasiektas optimalus balansas tarp įrangos dydžio ir jos techninių charakteristikų; ji turi patrauklią išvaizdą ir išplėstines funkcijas. Visą įrangą valdo lietimui jautrus ekranas, kuriame įmontuota vieno mygtuko dėjimo programa – tai paprasta ir lengvai valdoma sistema. Tai idealus įrenginys plonų plėvelių gamybai laboratorijoje.
Panaudojimas: galima naudoti feroelektrinių plonųjų plėvelių, laidžiųjų plėvelių, lydinių plėvelių, puslaidininkių plėvelių, keramikos plėvelių, dielektrinių plėvelių, optinių plėvelių ir kt. paruošimui vieną ar kelių sluoksnių.