EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Įvadas: Šis įrenginys pagrindiniu būdu susideda iš nerūdijančiojo plieno vakuuminės kameros, magnetroninio dulkinimo taikinio, garinimo dengimo įrenginio, pavyzdžių padėjimui skirtos mėginių lentos, vakuumo siurblio įrenginio, vakuumo matavimo manometro, oro įleidimo sistemos ir valdymo sistemos. Įrenginio pagrindinė vienetas valdomas lietimo ekranu ir stebimas temperatūros reguliavimo prietaisu. Jo skaitmeninis parametrų sąsajos langas ir automatinis veikimas naudotojams suteikia puikią tyrimų ir plėtojimo platformą. Vakuuminės kameros konstrukcija – su apatiniais taikiniais, o mėginių lentai būdingos šildymo ir sukimosi funkcijos, kurios leidžia pasiekti tolygesnį dengimo efektą. Įrenginio vakuumo sukūrimo sistema sudaryta iš dviejų pakopų vakuumo siurblių grupės. Pirmosios pakopos siurblys – aukštos našumo mechaninis siurblys, kuris efektyviai sutrumpina laiką nuo normalaus slėgio iki žemo vakuumo. Pagrindinis siurblys – turbo molekulinis siurblys su dideliu siurbimo našumu ir greitesniu vakuumo sukūrimo greičiu. Bendra vakuumo sukūrimo sistema yra švari ir greita.
Panaudojimas: galima naudoti feroelektrinių plonųjų plėvelių, laidžiųjų plėvelių, lydinių plėvelių, puslaidininkių plėvelių, keramikos plėvelių, dielektrinių plėvelių, optinių plėvelių ir kt. paruošimui vieną ar kelių sluoksnių.
