Įvadas:
Šis įrenginys pagrindiniu būdu susideda iš nerūdijančiojo plieno vakuumo kameros, magnetroninio dulkinimo taikinio, garinimo dengimo įrenginio, pavyzdžių padėjimui skirtos mėginių lentos, vakuumo siurblio įrenginio, vakuumo matavimo manometro, oro įleidimo sistemos ir valdymo sistemos. Įrenginio pagrindinė vienetas valdoma lietimo ekranu ir stebima temperatūros reguliavimo prietaisu. Jo skaitmeninis parametrų sąsajos langas ir automatinis veikimas naudotojams suteikia puikią tyrimų ir plėtojimo platformą. Vakuumo kamera turi apatinį taikinį, o mėginių lentai būdingos šildymo ir sukimosi funkcijos, kurios leidžia pasiekti tolygesnį dengimo efektą. Įrenginio vakuumo sukūrimo sistema naudoja dviejų pakopų vakuumo siurblių grupę. Pirmosios pakopos siurblys yra greitaeigis mechaninis siurblys, kuris efektyviai sutrumpina laiką nuo normalaus slėgio iki žemo vakuumo. Pagrindinis siurblys yra turbo molekulinis siurblys su aukštu siurbimo našumu ir greitesniu vakuumo sukūrimo greičiu. Visos vakuumo sukūrimo sistemos veikimas yra švarus ir greitas.
Taikymas:
Galima naudoti vieno ar daugiasluoksnio feroelektrinių plonų plėvelių, laidžiųjų plėvelių, lydinių plėvelių, puslaidininkių plėvelių, keraminės plėvelės, dielektrinės plėvelės, optinės plėvelės ir kt. paruošimui.