Įvadas:
Ši įranga yra dviejų taikinių magnetroninė dengimo įranga. Ši konfigūracija naudoja aukšto vakuumo nerūdijančiojo plieno kamerą, priekinio atvėrimo projektavimą ir durų stiklinį (kvartcinį) stebėjimo langelį, kad būtų patogiau stebėti ir fiksuoti eksperimentus. Taip pat įranga aprūpinta sukamąja šildomąja pavyzdžių plokšte, kuri efektyviai pagerina plėvelės vientisumą ir kokybę. Ant viršutinės dangtelio įrengtos šaukštai, o sukant šaukštus galima perjungti tarp dviejų taikinių, kad būtų galima dengti daugiasluoksnines plėveles. Šią įrangą reikia naudoti su aukšto vakuumo molekulinio siurblio grupe. Vartotojai gali pasirinkti importuotų prekių ženklių mažuosius molekulinius siurblius, kad dar labiau sumažintų montavimo vietos plotą. Be to, ši modelis gali būti papildyta pasirenkamu plėvelės storio matuokliu, kuris realiuoju laiku stebi plėvelės storio duomenis ir suteikia patikimus parametrus eksperimento procesui.
Taikymas:
Jis gali būti naudojamas metalinių plonų plėvelių, elektronikos srityje, optikos srityje, specialių keramikos gaminių ir kt. paruošimui. Taip pat gali būti naudojamas laboratoriniam SEM tyrimų mėginių paruošimui.