Tikslus CMP sistema

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Tikslus CMP sistema

Įrenginių apžvalga:

Tikslusis CMP įrenginys daugiausia naudojamas pagrindinių puslaidininkių plokštelių, tokių kaip kremnijus, kremnio dioksidas ir indžio antimonido židinio plokštės, šlifavimui ir suploninimui bei cheminiam mechaniniam poliravimui apačioje, paviršiuje ir kraštuose.

Visas įrenginys ir visos jo dalys yra visiškai korozijai atsparios, o technologiniai parametrai nustatomi per lietimo ekraną.

Apdorojamų mėginių dydis:

Mėginio dydis ≤ 152 mm / 6 colio

Apdorojamas storis – nuo 50 μm iki 10 mm

Pasiekiami technologiniai rodikliai:

1. Visuminė 75 mm skersmens plokštelės storio nuoklona (TTV) neviršija 2 μm;

2. Visuminė 100 mm skersmens plokštelės storio nuoklona (TTV) neviršija 3 μm;

3. Visuminė 150 mm skersmens plokštelės storio nuoklona (TTV) neviršija 4 μm.

Apdorojamų mėginių tipai:

Silicis, silicio karbidas, deimantas, keraminiai medžiagos, galio nitridas, kvarcas, galio antimonidas, indžio fosfidas, galio arsenidas, kadmio cinko teluridas, gyvsidabrio kadmio teluridas, litio niobatas ir kitos puslaidininkių medžiagos.

Įrangos savybės:

1. Realizuoti pabaigos taško nustatymo funkciją, skirtą valdyti mėginio storį.

2. Tiesioginės, realiuoju laiku vykdomos šlifavimo ir poliravimo plokštės temperatūros kontrolės bei aušinimo funkcija.

3. Daugiakanalė tiekimo sistema.

4. Šlifavimo ir poliravimo plokštės automatinė praplovimo funkcija.

5. Automatinė plokštės remonto funkcija.

6. Įrenginys aprūpintas skaitmenine storio stebėjimo lentele, kurios stebėjimo tikslumas – 0,1 μm.

Techniniai parametrai:

Įrenginio konfigūracija:

Dažniausiai užduodami klausimai

1. Apie kainą:

Visos mūsų kainos yra konkurencingos ir deramomos. Kaina skiriasi priklausomai nuo jūsų įrenginio konfigūracijos ir personalizacijos sudėtingumo.

2. Apie pavyzdį:

Galime jums teikti pavyzdžių gamybos paslaugas, tačiau jūs turėtumėte sumokėti kai kokių mokestinių.

3. Apie mokėjimą:

Po plano patvirtinimo, jūs privalote mums iš anksto užmokėti užpildymo sumą, o gamykla pradės paruošti prekes. Kai bus pasiruošusi įranga ir jūs sumokosite likusią sumą, mes ji siųsime.

4. Apie pristatymą:

Kai bus baigta įrangos gamyba, mes jums nusiųsiame priėmimo vaizdo įrašą, o jūs taip pat galite atvykti į vietą, kad inspekciją atliktumėte.

5. Montavimas ir derinimas:

Kai įranga bus pristatyta į jūsų gamyklą, mes galime išsiųsti inžinierius montuoti ir derinti įrangą. Šios paslaudos kainą mes jums pateiksime atskiroje kainodarboje.

6. Apie garantiją:

Mūsų įranga turi 12-mėnesio garantijos laikotarpį. Po garantijos termino, jei kurie nors detales bus sugedę ir reikalingas jų pakeitimas, mes tik sumokinsime kainą už medžiagą.

7. Paskatinis aptarnavimas:

Visi įrenginiai turi daugiau nei metų garanciją. Mūsų techniniai inžinieriai visada yra prieinami internetu, kad galėtų suteikti įrangos montavimo, derinimo ir priežiūros paslaugas. Mes galime suteikti specialios ir stambios įrangos vietinio montavimo ir derinimo paslaugas.