Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Gaukite pasiūlymą

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Pradinis puslapis
Apie Mus
MH Įranga
Sprendimas
Išorinės Rinkos Vartotojai
Vaizdo įrašas
Susisiekite Su Mumis
Pagrindinis> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Visiškai automatinis ICP grąžinimo aparatas
  • MDICP-5000F Visiškai automatinis ICP grąžinimo aparatas
  • MDICP-5000F Visiškai automatinis ICP grąžinimo aparatas
  • MDICP-5000F Visiškai automatinis ICP grąžinimo aparatas

MDICP-5000F Visiškai automatinis ICP grąžinimo aparatas

Modelis: MDICP-5000F

Gaukite nemokamą pasiūlymą
MDICP-5000F Visiškai automatinis ICP grąžinimo aparatas
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Egzekutyvinis santrauka:

Aparatas yra dviejų kambarių vakuumo sistema. Viename kambari yra injekcijos imties kambarys, o kitame – grąžinimo kambarys. Tarp injekcijos imties kambaryje ir grąžinimo kambaryje yra diegta vakuumo uždarymas, o injekcija transportuojama manipuliatoriaus pagalba.
Įranga pagrindiniu atžvilgiu sudaryta iš vakuumo sistemos, dujų grandinės sistemos, elektrinės sistemos, valdymo sistemos, šaldymo sistemos, filmo pateikimo ir priėmimo mechanizmo, signalizacijos sistemos ir kt.

Vakuumo sistema:

Sistema sudaryta iš molekulinio pompo su 600 L / S šluotuvimo greičiu + importuoto vakuumo sausos pompos su šluotuvimo greičiu L / s, kad etching kambaris būtų atveštas į aukštojo vakuumo. Tarp molekulinės pompos ir etching kambario yra įmontuotas elektrodinaminis slėgio reguliavimo vamzdelis. Importuota sausa pompa yra etching kambario preliminarinė pompa ir molekulinės pompos pirminis etapas. Naudojama dar viena mechaninė pompa su šluotuvimo greičiu L / s, kad būtų atveštama imties kambaris. Jausdiniai jungikliai yra naudojami jungiant tarp mechaninės pompos ir vakuumo kambario bei molekulinės pompos, o elektromagnetinis pneumatinis blokavimo vamzdelis yra įmontuotas.

Stabilus slėgis valdymo sistema

Įranga yra apyvarta su nuotakos konstantaus slėgio valdymo sistema, o oro ištraukos potvyniuje yra montuotas elektinis reguliavimo vamzdelis. Per filmo matuoklio (importuoti elementai) matavimus reguliuojamas vamzdelis, kad vakuumo kambaris pasiektų konstantųjį slėgį, todėl pagerinama technologijos stabilumas.

Stabilus slėgis valdymo sistema

Įranga yra apyvarta su nuotakos konstantaus slėgio valdymo sistema, o oro ištraukos potvyniuje yra montuotas elektinis reguliavimo vamzdelis. Per filmo matuoklio (importuoti elementai) matavimus reguliuojamas vamzdelis, kad vakuumo kambaris pasiektų konstantųjį slėgį, todėl pagerinama technologijos stabilumas.

Dujų grandinės sistema

Du rinkiniai RF jėgos šaltinių su automatinio derinimo funkcija.

Signalizavimo sistema

Saugumo reikalavimai įrangai.
Specifikacija
Vardas
Spc
Prekės ženklas
Nr. / Vnt.
Pastaba
Išskirties kambaris, oro ištraukos potvynis, stebėjimo langas, rezervuotas sąsaja ir kt.
Standartiniam
JSWN
1
Antikorozinis
Ramas, elektros skrynia, sigelai, standartiniai elementai ir kt.
Standartiniam
JSWN
1
Sistemos dėžės atvirimo mechanizmas
Standartiniam
JSWN
1
Antikorozinis
Šlifavimo elektrodė ir šaldymo sistema
Standartiniam
JSWN
1
Antikorozinis
Molekulinis pompa (pompos greitis 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Antikorozinis
Įvairinė sausio pompa (pompos greitis 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Antikorozinis
Gamybinė pompa (pompos greitis 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Elektrinis reguliavimo vamzdyno ventilis
DCQ-150
JSWN
1
Antikorozinis
Gazinės pūpsnynos sustabdytojas
KF40
JSWN
3
Antikorozinis
Plimo matuoklis
KF16
INFICON
1
Antikorozinis
Masės srauto valdiklis
D07
Sevenstar
4
Antikorozinis
Pneumatinis membraninis vamzdys
1/4" VCR
-
4
Antikorozinis
Nerūdantoji plieno rūta, rūtų jungiklis ir kt.
1/4" VCR
-
4
Antikorozinis
RF galios šaltinis / automatinis derinys
-
Kinija (Pasirinktinai CROWN1310)
1
RF galios šaltinis / automatinis derinys
-
Kinija (Pasirinktinai CROWN1310)
1
Sudėtingas vakuumo matuoklis
ZDF
RB
1
IPC
2U
Kinijoje
1
LCD lietujo ekranas
17 colių
Kinijoje
1
PLC Valdymo Sistema
S7-200
Siemens
1
Elektrinis variklio valdymo sistema
Standartiniam
JSWN
1
Šaldo vandens aptikimo ir potvynio sistema
Standartiniam
JSWN
1
Sutriuškintos oro aptikimo ir potvynio sistema
Standartiniam
JSWN
1
Šaldymo cirkuliavimo vandens mašina
HX
Kinijoje
1
Etacinis injekcijų kambarys
Standartiniam
JSWN
1
Vakuumo uždarymas
SMC
SMC
1
Manipuliatoriaus valdymo sistema
SMC
SMC
1

Pašto techninis parametras

1. Vakuumo riba: Etacinis kambarys 9,0×10-5Pa (vidinė drėgmė≤55%)
Injekcijų imties kambarys 6,0×10-1Pa
2. Išskirtinė medžiaga: Ⅲ, Ⅴ medžiagos, Si, SiO2 ir kt.
3. Išskirties sparta: ~ 1μ/min
4. Išskirties tolydumas: ≤±5％ (φ125mm diapazonas)
6. Elektrodos dydis: φ200mm

Dažniausiai užduodami klausimai

1. Apie kainą:

Visos mūsų kainos yra konkurencingos ir deramomos. Kaina skiriasi priklausomai nuo jūsų įrenginio konfigūracijos ir personalizacijos sudėtingumo.

 

2. Apie pavyzdį:

Galime jums teikti pavyzdžių gamybos paslaugas, tačiau jūs turėtumėte sumokėti kai kokių mokestinių.

 

3. Apie mokėjimą:

Po plano patvirtinimo, jūs privalote mums iš anksto užmokėti užpildymo sumą, o gamykla pradės paruošti prekes. Kai bus pasiruošusi įranga ir jūs sumokosite likusią sumą, mes ji siųsime.

 

4. Apie pristatymą:

Kai bus baigta įrangos gamyba, mes jums nusiųsiame priėmimo vaizdo įrašą, o jūs taip pat galite atvykti į vietą, kad inspekciją atliktumėte.

 

5. Montavimas ir derinimas:

Kai įranga bus pristatyta į jūsų gamyklą, mes galime išsiųsti inžinierius montuoti ir derinti įrangą. Šios paslaudos kainą mes jums pateiksime atskiroje kainodarboje.

 

6. Apie garantiją:

Mūsų įranga turi 12-mėnesio garantijos laikotarpį. Po garantijos termino, jei kurie nors detales bus sugedę ir reikalingas jų pakeitimas, mes tik sumokinsime kainą už medžiagą.

 

7. Paskatinis aptarnavimas:

Visi įrenginiai turi daugiau nei metų garanciją. Mūsų techniniai inžinieriai visada yra prieinami internetu, kad galėtų suteikti įrangos montavimo, derinimo ir priežiūros paslaugas. Mes galime suteikti specialios ir stambios įrangos vietinio montavimo ir derinimo paslaugas.

Daugiau produktų

Užklausa

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos

Privatumo politika

Užklausa Email WhatsApp WeChat
TOP
×

Susisiekite su mumis