Modelis: MDST-6100
ICP sausasis plazminis degintuvas tinka tokiose aplikacijose kaip šiukšlių pašalinimas (pirminė apdorojimo ir likučių pašalinimo operacija), polimerų pašalinimas (PI, BCB, PBO) bei po jonų implantacijos fotorezisto pašalinimas; kamera priima 8 colių pavyzdžius (taip pat suderinama su 4 colių ir 6 colių dydžiais).
ICP sausros plazmos fotoatspindžio sluoksnio šalinimo įrenginys
ICP sausasis plazminis degintuvas tinka tokiose aplikacijose kaip šiukšlių pašalinimas (pirminė apdorojimo ir likučių pašalinimo operacija), polimerų pašalinimas (PI, BCB, PBO) bei po jonų implantacijos fotorezisto pašalinimas; kamera priima 8 colių pavyzdžius (taip pat suderinama su 4 colių ir 6 colių dydžiais).
Įrangos išvaizda gali būti nuolat tobulinama ir koreguojama; faktiškai pristatyta įranga yra galutinė.
Privalumai:
Aukštas plazmos jonizacijos ir skilimo laipsnis
Po plazminės apdorojimo pakartojamumas yra aukštas
Sausasis rėžimas, be teršalo šaltinio
Slėgio ir temperatūros valdymas naudojant drugelio vožtuvus
Gali palaikyti plazmą aukšto slėgio sąlygomis
Aukštos įtampos šaltinio ir jonų generatoriaus atskyrimas
Mikrobangų jungtis ir magnetinė grandinė suderinamos
Gali atitikti klientų reikalavimus
Žema temperatūra apdorojimo metu
Greitas reakcijos greitis ir trumpas reakcijos laikas
Modelis |
MDST6100 |
PLAZMINIS šaltinis |
radijo dažnis |
energija |
1000W |
Taikymo sritis |
8 coliai (tinkami 4 arba 6 colių dydžiui) |
Dėžės dydis |
25 detalės |
Bendri matmenys |
I1696×P2170×A2146 mm |
Sistemos valdymas |
PLC |
Medžiagų dėžutės sistema |
Automatinis |
Įrangos tikrosios nuotraukos:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
