ICP sausros plazmos fotoatspindžio sluoksnio šalinimo įrenginys , China ICP sausros plazmos fotoatspindžio sluoksnio šalinimo įrenginys Manufacturers, Suppliers, Factory

ICP sausros plazmos fotoatspindžio sluoksnio šalinimo įrenginys

ICP sausros plazmos fotoatspindžio sluoksnio šalinimo įrenginys naudojamas daugiausia polimerų šalinimui, pelenavimui (ashing), paviršiaus nešvarumų pašalinimui (descumming), po jonų implantacijos fotoatspindžio sluoksnio šalinimui bei paviršiaus likučių valymui. MDST3100 kamera priima 4–8 colių plokšteles ir apdoroja po vieną plokštelę vienu metu, o MDST3200 kamera taip pat priima 4–8 colių plokšteles, bet apdoroja po dvi plokšteles viename cikle.

Įrangos išvaizda gali būti nuolat tobulinama ir koreguojama; faktiškai pristatyta įranga yra galutinė.

头图4.jpg

工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

Plaukimas

Polimerių šalinimas

DESCUM

Kietosios kaukės sluoksnio sausasis valymas

Fotorezisto pašalinimas po jonų implantavimo

Paviršiaus liekamųjų šalinimas

Fotorezisto pašalinimas BAW/SAW procese

Antirefleksinio vaizdo plėvelės sluoksnio sausasis valymas

Paviršiaus valymas po erzijimo

Privalumai:

Aukštas plazmos jonizacijos ir skilimo laipsnis

Po plazminės apdorojimo pakartojamumas yra aukštas

Sausasis rėžimas, be teršalo šaltinio

Slėgio ir temperatūros valdymas naudojant drugelio vožtuvus

Gali palaikyti plazmą aukšto slėgio sąlygomis

Aukštos įtampos šaltinio ir jonų generatoriaus atskyrimas

Mikrobangų jungtis ir magnetinė grandinė suderinamos

Gali atitikti klientų reikalavimus

Žema temperatūra apdorojimo metu

Greitas reakcijos greitis ir trumpas reakcijos laikas

Test data 2.jpg Test data 1.jpg Test data 3.jpg

Modelis		MDST3100	MDST3200
PLAZMINIS šaltinis		RF	RF
Energija	ICP	1000W	1000W
	BIAS	NA	NA
Taikymo sritis		4–8 colio	4–8 colio
Vienoje operacijoje apdorojamų plokštelių skaičius		1	2
Bendri matmenys		1300×1190×1847 mm	1300×1650×1850 mm
Sistemos valdymas		Pramonės valdymo sistema
automatizacijos laipsnis		Automatinis