RIE (reaktyvusis jonų ėsdinimas) yra pagrindinė mikroelektronikos ir puslaidininkių gamybos technika. RIE įrenginiai tinkamam veikimui reikalauja dujų, tokių kaip deguonis, azotas, azoto hidrido/azido mišiniai ir sieros heksafluoridas. Kiekvienos iš šių dujų funkcija yra unikali, kai kalba apie medžiagų ėsdinimą mikroskopiniais masteliais.

Reaktyvaus jono ėsdymo įrangos didmeninė prekyba

QTH Rasti geras RIE įrangos pasiūlas yra sunku, tačiau yra keletas vietų, kur galima paieškoti. Geriausias variantas – naršyti įvairiose internetinėse pramonės įrangos rinkose. Tokios svetainės paprastai siūlo daugybę skirtingų pardavėjų, leidžiant palyginti kainas ir rasti geriausias pasiūlas. Kitas puikus pasirinkimas – pramonės parodos. Gamintojai ir pirkėjai susitinka vienoje vietoje, tad kartais galima rasti pasiūlų dėl naujausios RIE technologijos.

Dažnos problemos, susijusios su reaktyviuoju jonų ėsdinimu

Veikiant RIE įrangai, gali kilti keletas dažnų problemų. Pagrindinį susirūpinimą kelia patys dujiniai mišiniai. Kartais dujų srautas gali kinti ritmiškai, dėl ko atsiranda nevienodas apdirbimas. Azoto ir vandenilio dujų balansas gali turėti įtakos medžiagos apdirbimo kokybei. Tai gali sukelti klaidas galutiniame rezultate, o to niekas nenori.

Reaktyvioji jonų apdaila optimizuota su 95 % N2 ir 5 % H2

Reaktyvioji jonų apdaila (RIE) yra vertinga medžiagų apdorojimo technika Virpilio apdorojimo įranga apdailos procesui naudoti šablonuotą dujų mišinį, pavyzdžiui, 95 % azoto ir 5 % vandenilio, kad pagerinti rezultatus. Toks derinys gali padėti gauti švarius, aštrius raštus ant medžiagų. Štai kaip išnaudoti šį procesą maksimaliai.

Kas yra sieros heksafluoridas reaktyviojoje jonų apdailoje

Yra keletas puikių privalumų naudojant platinų apdovanojimo įranga kaip maitinimo dujas reaktyviojo jonų ėsdinimo metodu. Vienas iš pirmiausių dalykų – SF6 yra tikrai puikus judinant medžiagas, tokias kaip silicis ir silicio dioksidas, kurios plačiai naudojamos elektronikoje. Tai reiškia, kad naudojant sieros heksafluoridą galima gauti švarius ir tikslius raštus, reikalingus mažiems elektroniniams komponentams.

Kur sužinoti daugiau apie reaktyvųjį jonų ėsdinimą

Jei norite giliau suprasti Įrenginys terminalių įmontavimui yra keletas išteklių, kurie gali padėti. Pirmiausia galite pasitikrinti internete. Taip pat yra daugybė techninių ir inžinerinių interneto svetainių, forumų ir tinklaraščių. Šiose platformose paprastai būna straipsnių, parašytų ekspertų, dirbančių RIE srityje, kurie dalijasi savo nuomonėmis ir patirtimi naudojant šį metodą.