Pirmąją dalyką, kurią darome, yra apvalymas pagrindo medžiagos paviršiaus specialiu šviesos reaguojančia medžiaga. Tai yra fotoreaktyvi medžiaga, kuri turi pagrindinį vaidmenį procese. Tada naudojame maską su tam tikru pavidalu ant jos paviršiaus ir įdėjame ją virš to slenkio. Maską naudojame kaip šabloną su skyliais, per kuriuos šviesa einanti pasirenka vietas. Kitą etapą sudaro pavidalo atskleidimas ant maskos, kuris yra nebegirdima mums matoma UV šviesa. Ši šviesa sukuria fotoreaktyvos medžiagos vaizdą, panašiai, kaip saulė gali sukurti nuotaka, kai ji spinduliuoja per iškirptą formą. Paskutinis žingsnis susideda iš to, kad mes nukrentiname pagrindą spalvintoje tirpalų rūšyje, vadinama kaitintuvas. Šis procesas pašalina fotoreaktyvo sluoksnio dalis, kurios buvo atskleistos šviesa, ir pateikia pavidalą ant pagrindo medžiagos.
Į Virpinių sąjungininkas viena iš didžiausių dalių, kurias reikia kontroliuoti, yra klaidos, kurios kilusios per tris pagrindinius etapus, ir labai svarbu gauti gera, tiksliai rezultatus. Apdengimas a) Apdengimas siejasi su pagrindinio medžiagos tolygiu uždengimu fotocheninėja medžiaga. Tai reiškia, kad kiekvienas pagrindinio medžiagos gabalas turi turėti tą patį specialaus ingrediento dozavimą. Kitais žodžiais, normaliai naudojame mašinas, kad pasiektume tuoksnį ir lygų paviršių. Per šį etapą tikriname kokybę (nebus jokių sunkumų ar defektų paviršiuje).
Kūrimo sprendinys naudojamas, kad pašalintų atskleistą medžiagos dalį, sukuriant šabloną trečiojoje etape; kūrimas. Tačiau vis dar galime klaidingai atlikti šį etapą. Ne norime palikti medžiagą sprendinyje per ilgai, o jei mūsų sprendinys bus per stiprus, jis ištros sukurtą šabloną. Todėl turime labai atsargiai kontroliuoti kūrimo sprendinio laiką ir koncentraciją, kad gautume geras rezultatus.
Pagrindinis pranašumas Drabužio sujungimo mašina yra galimybė vaizduoti ypač mažus komponentus. Tai leidžia mums gaminti labai mažus, aukštos našumo dalis. Metodas taip pat labai naudingas masiniam gamybai; jis leidžia mums pagaminti daug dalių per trumpą laiką. Tai ypač svarbu pramonėse, kuriose yra labai didelis paklausa tam tikrų identiškų dalių (pvz., elektronikos gamybos pramonė).
Kitu pusiu, yra ir kai kurių trūkumų. Aukštas maskinio derinimo fotolitografijos kosta, kartu su mašinų ir jai naudojamų medžiagų atžvilgiu, yra vienas didžiausių šios metodu keliamų iššūkių. Mašinos gali būti pernelyg brangios, o mums reikalingi aukštos kokybės pirminiai produktai, kurie taip pat kainuoja labai daug. Be to, su šiuo metodu negalima sukurti elementų, mažesnių nei, t.y., 10 nm. Tai svarbu, nes mes dažnai siekiame kurti vis mažesnius ir galingesnius dalykus. Be to, procesas labai jautrus užterštumui, todėl jį reikia vykdyti labai švariame aplinkos (dažniausiai vadinamos „švaraus kambario“). Šios reikalavimo galima padaryti dalykus sudėtingesnius ir brangesnius.
Viduje nuo elektronikos iki medicinos, maskinės fotolitografijos principas yra pagrįstas pagrindiniu tyrimu ir plėtra. SU-8 taikymas yra visiškai būtinas elektronikos pramonei gaminti mikroelektroninius prietaisus, tokiais kaip integruoti apvaldai, jutikliai ir rodmenys. Šių struktūrų gamybai buvo reikalingi daugelis specialūs įrankiai, kurie buvo sukurti norint atlikti šią darbą, geri pavyzdžiai yra EVG(R) maskinė ir EVG(R) skardžio jungimo sistema.
Pavyzdžiui, medicinos tyrimuose fotolitografija naudojama sudaryti mikroskopinius kanalus dėl kūno skysčių analizės; ši technologija yra dalis to, kas vadinamas laboratorija ant plenkto. Naudojant šią technologiją, skysčiai gali būti patikrinami greitai ir tiksliai, kad išgiliau suprastų paciento sveikatą. Fotolitografijoje maskinio suderininko naudojimas gaminti mikro ir nanofluityninius sistemos taip pat yra galimas. Jei tai teisinga, tokios sistemos padidintų gydybos dozavimo tikslumą pacientams, gerindamos gydymo veiksmingumą ir saugumą.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos