15 l vakuumo plazmos valymo įrenginys

Jis susideda iš jonų maitinimo šaltinio, vakuumo sistemos, dujų pildymo sistemos, automatinės valdymo sistemos ir kitų dalių. Darbo pagrindinis principas yra tas, kad vakuumo būsenoje plazma gali jonizuoti dujas kontroliuojamu ir kokybiniu būdu. Vakuumo siurblys naudojamas patalpai išsiurbti iki 10–40 Pa vakuumo, po to dujos jonizuojamos aukštųjų dažnių generatoriaus veikimo metu, susidaro plazma (ketvirtasis medžiagos būvis). Jos ypatinga savybė – aukšta žibintinės išlyginamosios iškrovos vienodumas; skirtingos dujos skleidžia spalvotą matomą šviesą nuo mėlynos iki tamsiai violetinės, o apdorojamojo medžiagos paviršiaus temperatūra yra artima kambario temperatūrai. Šie labai aktyvūs dalelių srautai sąveikauja su apdorojamuoju paviršiumi, kad būtų pasiekta įvairių paviršiaus modifikacijų, tokių kaip paviršiaus hidrofilumas, vandeniui atsparumas, mažas trintis, aukštas valymo laipsnis, paviršiaus aktyvinimas ir ėsdinimas.
Plazminio apdorojimo privalumai: 1. Aplinkos apsaugos technologija: plazminio veikimo procesas yra dujų–kietųjų medžiagų suderintoji reakcija, kuri nevartoja vandens išteklių, nereikalauja cheminių reagentų pridėjimo ir nekelia aplinkos taršos. 2. Universalumas: nepriklausomai nuo apdorojamos pagrindo rūšies, jis gali būti apdorojamas – pvz., metalai, puslaidininkiai, oksidai ir dauguma polimerinių medžiagų puikiai apdorojami; 3. Žema temperatūra: artima normaliai aplinkos temperatūrai, ypač tinkama polimerinėms medžiagoms, ilgesnė laikymo trukmė ir didesnė paviršiaus įtempis nei koronos ir liepsnos metodais. 4. Didelė funkcionalumas: veikia tik polimerinės medžiagos paviršiaus sluoksnį (10–1000 Å), todėl galima suteikti vieną ar kelias naujas funkcijas, išlaikant medžiagos savitąsias savybes; 5. Žemos sąnaudos: įrenginys paprastas, lengvai valdomas ir priežiūromas, gali veikti nuolat. Dažnai keli dujų balionai gali pakeisti tūkstančius kilogramų valymo skysčių, todėl valymo sąnaudos bus žymiai mažesnės nei drėgnuojo valymo. 6. Viso proceso valdymas