Elektrinis šildymas |
Kamera (Viena kamera) |
||||
N/a |
|||||
Žemesnio elektrodo tipas |
242mm |
||||
Procesų temperatūros diapazonas |
-20–100 °C |
||||
PLAZMINIS šaltinis |
600 W–1000 W |
||||
Technologinio slėgio matuoklio dydis |
100 mtorr |
||||
Vakuumo sistema |
Molekuliniai siurbliai, džiovimo siurblių sistemos, technologinė kamera |
||||
Raidinimo kamerų skaičius |
Viena kamera |
||||
Švirkštelės |
Tipas |
Dydis/mm |
Medžiaga |
||
N/a |
8, 6, 4, 3, 2 |
||||
Pabaigos taško detektorius |
PARINKTIS |
||||
Indukciniu būdu sujungta plazma |
PARINKTIS |
Šlifavimo medžiaga |
Si, Sio, Sin, Sau, Pt, Al |
Raidinimo sparta |
>20 nm/min (Si02 medžiaga) Skirtingų medžiagų spartos skiriasi |
Paskirstytas valdymas |
>85° |
Įkrovimo būdas |
Atviro krautuvės |
Dujotiekis, valdomas pagal MFC |
Yra šeši dujų balionai |
Helio aušinimo galimybė iš nugaros |
Taip |
Sąsaja tarp žmogaus ir mašinos |
Ekranas |
Veikimo režimas |
Visiškai automatinis režimas, nevisiškai automatinis režimas |
Automatinių įrenginių pasirinkimas ir konfigūracija |
Galite pasirinkti importuojamas arba vietines dalis |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Visos teisės saugomos