Ნივთი |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Პროდუქტის ზომა |
≤6 ინჩი |
≤8 ინჩი |
≤8 ინჩი |
||
RF ძალის წყარო |
0-300W/500W/1000W რეგულირება, ავტომატური მისამართები |
||||
Მოლეკულარული განსაზღვრებელი |
-/620(L/s)/1300(L/s)/Custom |
Ანტისეპტიკური 620(L/s)/1300(L/s)/Custom |
|||
Წინადადებითი განსაზღვრებელი |
Მექანიკური განსაზღვრებელი/სი≧ედი განსაზღვრებელი |
Მშრალი ტუმბო |
|||
Პროცესის წნევა |
Უკонтროლებელი წნევა/0-1Torr კონტროლირებული წნევა |
||||
Აირის ტიპი |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custom (მაქსიმუმ 9 კანალი, გარეშე კოროდირებული და ციხედი გასი) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(მაქსიმუმ 9 კანალი) |
|||
Გაზის დიაპაზონი |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/დამავალი |
||||
ᲩატვირთვაLock |
Დიახ/არა |
Დიახ |
|||
Სანიმუშო ტემპერატურის კონტროლი |
10°C~საგანთო ტემპერატურა/-30°C~100°C/დამავალი |
-30°C~100°C/დამავალი |
|||
Უკან ჰელიუმის გამყიდვა |
Დიახ/არა |
Დიახ |
|||
Პროცესური გამოყენების ჩაღერილობა |
Დიახ/არა |
Დიახ |
|||
Გამოყენების სახელმძღვანელოს ტემპერატურის კონტროლი |
Არა/საგანთო ტემპერატურა~60/120°C |
Საცხოვრებელი ტემპერატურა -60/120°C |
|||
Კონტროლის სისტემა |
Ავტო/მიზნების მითითებით |
||||
Გამოჭრილი მასალა |
Სილიციუმ-დაფუძნებული: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Მაგნიტური მასალები/ლიგატურის მასალები Მეტალურგიული მასალა: Ni/Cr/Al/Au..... Ორგანური მასალა: PR/PMMA/HDMS/ორგანური ფილმი...... |
Სილიციუმ-დაფუძნებული: Si/SiO2/SiNx...... III-V (შენიშვნა 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (შენიშვნა 3): CdTe...... Მაგნიტური მასალები/ლიგატურის მასალები Მეტალურგიული მასალა: Ni/Cr/A1/Au...... Ორგანიული მასალა: PR/PMMA/HDMS/ორგანიული ფილმი... |
|||
Ის გამოიყენება რთულად ჩაჭრებადი მასალების ჩაჭრვაში, როგორიცაა ზოგიერთი მეტალი (როგორიცაა Ni/Cr) და კერამიკა, და მასალების გაჭრვა ხდება ფიზიკური ბომბარდირების გამო. |
Იყენება ფოტორეზისტის (PR) / PMMA / HDMS / პოლიმერის მსგავსი ორგანიური საკომპონენტოების გამორთვისა და წაშლისთვის |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
