Სწრაფი თერმალური გადაკვეთის სისტემა სამუშაო ცხოვრებაზე RTP საქონლები საბრძოლო სემიკონდუქტორები SlC LED და MEMS , China Სწრაფი თერმალური გადაკვეთის სისტემა სამუშაო ცხოვრებაზე RTP საქონლები საბრძოლო სემიკონდუქტორები SlC LED და MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Პროდუქტის აღწერა

Სწრაფი თერმალური გამრავლება

Მარტივ და მხარდაჭერიან RTP აპარატები საკომპლექსო სემიკონდუქტორებისთვის, SlC, LED და MEMS

Ინდუსტრიის აპლიკაციები

* ჰაერა, ნიტრიდის ზრდა
* ოჰმიკური კონტაქტი სწრაფი გამრავლება
* ანელირება silicide გამრავლების
* ანელირება რეფლუქსი
* გალიუმ არსენიდის პროცესი
* სხვა სწრაფი თევზის პროცესები

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS details

Პროდუქტის პროდუქტის მერიტები

1. პროცესის დიაპაზონი იყოლება 200-1250 ℃
2. ძალიან ძალ Gaussian ტემპერატურის მართვის სისტემა
3. სპეციალური RTP ალგორითმი
4. პროფესიონალური TC Wafer კალიბრაციის ინსტრუმენტი

Თვისება

* ინფრაწვანილური ჰალოგენური ლამპის გათბობა, გამოსავალი ჰაერის გამოსაცხენად;
* PlD ტემპერატურის მართვა ლამპის ძალისთვის, რომელიც შეძლებს ტემპერატურის ზრდის ზუსტ კონტროლს, უზრუნველყოფს კარგ გამეორებადობას და ტემპერატურულ ერთობლივობას;
* მასალის შეყვანა დაყოფილია WAFER-ის ზედა ზედაპირზე, რათა არ წარმოქმნას გამყოფი წერტილი ანელის პროცესში და უზრუნველყოფს პროდუქტის კარგ ტემპერატურულ ერთობლივობა;
* შეიძლება აირჩიოს ათმოსფერული და ვაკუუმური მუშაობის მეთოდები, საწინააღმდეგო და გამოსაფილტვრად გადასაჭრია სხეული;
* სამუშაო გაზების ორი სეტი არის სტანდარტული და შეიძლება განვითარდეს მათემ 6 სეტ სამუშაო გაზებამდე;
* ზომის 12 ინჩი (300x300 მმ) გამოмерებადი ერთი ცხრილი სილიკონის ნიმუშის მაქსიმალური ზომა;
* საფეხურის სიცხობის გახსნის დაცვის, სიცხობის კონტროლერის გახსნის დაწყების დაცვის და მართავი წარმოების საწყების სამი საurançaო ზომის სრული განხილვა იყო, რათა დარწმუნდეს ინსტრუმენტის საფეხური;

20 ხარის ერთმანეთთან ერთმანეთის ექვივალენტობა

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS manufacture

20 ხარი ტემპერატურის კონტროლი 850 ℃-ზე

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS factory

20 საშუალო ტემპერატურის ხარის ექვივალენტობა

1250 ℃ ტემპერატურის კონტროლი

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS supplier

RTP ტემპერატურის კონტროლი 1000 ℃ პროცესი

960 ℃ პროცესი, ინფრაწითელი პირომეტრის მიერ კონტროლიруლი

LED პროცესის მონაცემები

RTD ვაფერი არის ტემპერატურის სენსორი, რომელიც იყენებს განსაკუთრებულ ტექნოლოგიებს, რათა ჩაასადეგინოს ტემპერატურის სენსორები (RTDs) ვაფერის ზედა ზედაპირზე კონკრეტულ ადგილებში, რათა შეძლოს ვაფერის ზედა ზედაპირის ტემპერატურის რეალური დროის ზომის შესახებ.
Ვაფერის კონკრეტულ ადგილებზე რეალური ტემპერატურის ზომები და ვაფერის საერთო ტემპერატურის განაწილება შეიძლება მიიღოს RTD ვაფერის მიერ; ის გამოიყენება ასევე ვაფერებზე ტრანსიენტური ტემპერატურის ცვლილებების უწყვეტ მონიტორингისთვის სიათლის გამოსავალების პროცესში.

Ქარხნის ხედი

Კომპანიის პროფილი

16 წლიანი გამოცდილობა აღარის ექსპორტში! ჩვენ შეგვიძლია გეთავადოთ ერთ-გამოსავალი გადაწყვეტილება სემიკონდუქტორის Front End / Back end Processes და Equipment!