Ტიპი |
MDPS-560 II |
||
Ძირითადი სპატირების ხოლმე |
პირიფორმი ვაკუუმული ხოლმე, ზომები: Φ560×350mm |
||
Ნიმუშის ჩასმის ხოლმე |
ცილინდრული და ჰორიზონტალური ტიპი, ზომები: Φ250mm×420mm |
||
Სატუმბი სისტემა |
მთავარი სპატირების ხოლმე და ნიმუშის ჩასმის ხოლმისთვის მოცული მოლეკულური და მექანიკური გადაჭრილი სეტი. |
||
Უსასრულო ვაკუუმი |
Ძირითადი სპატირების ხოლმე |
≤6.67×10-6Pa(შემდეგ გათბობისა და გასაქმების) |
|
Ნიმუშის ჩასმის ხოლმე |
≤6.67×10-4Pa(შემდეგ გათბობისა და გასაქმების) |
||
Ვაკუუმის დაბრუნების დრო |
Ძირითადი სპატირების ხოლმე |
6.6×10-4Pa 40 წუთში (გადასაჭრის შემდეგ მოკლე ხნის გარეშე და გავლენაში გამოყენებული მარტივი ნიტროგენით შევსებული) |
|
Ნიმუშის ჩასმის ხოლმე |
6.6×10-3Pa 40 წუთში (გადასაჭრის შემდეგ მოკლე ხნის გარეშე და გავლენაში გამოყენებული მარტივი ნიტროგენით შევსებული) |
||
Მაგნეტრონული ტარგეტის მოდული |
5 მუდმივი მაგნიტული ტარგეტი; ზომები Φ60mm (ერთ-ერთი ტარგეტი შეიძლება ფერომაგნიტული მასალის გაჭრივება). ყველა ტარგეტი შეიძლება RF გაჭრივება და DC გაჭრივება საშუალებას აძლევს; ტარგეტისა და ნიმუშის მიջև მანძილი შეიცვლება 40mm-დან 80mm-მდე. |
||
Წყალით გამგრილებული სუბსტრატის გამეცხრივი მაგიდა |
Სუბსტრატის სტრუქტურა |
Ექვს სტაცია, ერთ სტაციაზე მყინვარელი ფურნო და არსებული სხვა წყალით გამგრილებული სუბსტრატის სტაციები. |
|
Ზომა |
φ30mm, ექვს ნიმუში. |
||
Მოძრაობის რეჟიმი |
0-360°, უკვედით. |
||
Გათბობა |
Მაქს. ტემპერატურა 600℃±1℃ |
||
Სუბსტრატის ნეგატიული ბიასი |
-200V |
||
Гაზის ცირკუიტული სისტემა |
2-გზიანი მასიური ფლოუ კონტროლერი (MFC) |
||
Ნიმუშის ჩასმის ხოლმე |
Ნაიკვეთის კამერა |
Шეში ერთხელ ექვსი მაგალითი |
|
Ანელერი |
Მაქს. გამყიდველი ტემპერატურა 800℃±1℃ |
||
Რესპუტერინგის მოდული |
Რესპუტერინგის გასუფთავება |
||
Მაგნიტის ეკზემპლარის გაგზავნის სისტემა |
Გამოიყენება ეკზემპლარის ტრანსპორტირებისა შორის სპუტერინგის ხუთში და ეკზემპლარის შესაწყინ ხუთში. |
||
Კომპიუტერული კონტროლური სისტემა |
Ეკზემპლარის როტაცია, ბაფლის გახსნა და დახურვა, და ტარგეტის პოზიციის კონტროლი |
||
Საფეხურის დაკავშირება |
Ძირითადი სეტი |
2600×900mm2 |
|
Ელექტრო კაბინეტი |
700×700mm2(ორი სეტი) |
||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
![MDPS-560 პირიფორმის [Double] ჩამონათვალის სპატტერინგის სისტემა / სემიკონდუქტორული ინდუსტრიის მანქანები](https://sc04.alicdn.com/kf/H491deab5846a4e558abb3c8a7e89cdf0B.jpg)
![MDPS-560 პირიფორმის [Double] ჩამონათვალის სპატტერინგის სისტემა / სემიკონდუქტორული ინდუსტრიის მანქანები](https://sc04.alicdn.com/kf/H8b4660e04c534e71835b1ecd36cb4322x.png)
![MDPS-560 პირიფორმის [Double] ჩამონათვალის სპატტერინგის სისტემა / სემიკონდუქტორული ინდუსტრიის მანქანები](https://sc04.alicdn.com/kf/H9dc120528f2d4c478c610cfe124a12e1e.jpg)
