 
  
| Მოდელი    | MDTS-WT2200  | 
| Გამოკლების ღერძების რაოდენობა  |  2 | 
| Სამუშაო სკამების რაოდენობა  | 3, ინდექსირების მეთოდი  | 
| Ჩამორთვის წერტილის ღერ Gaussian  | Ჰაერის ღერძები: 2  Ღერძის მოტორი: 7.5kW ცვლილი სხვაობის მოტორი Სიჩქარე: 0~6000rpm, პირდაპირ რეგულირებადი Ჭამბატის სპეციფიკაცია: Φ203mm Ჭამბატის ტიპი: დიამანტის ჭამბატი | 
| Ჭამბატის მომზადების სისტემა  | Რაოდენობა: 2 სეტი  Მომავალი სისტემის კონტროლი: LM რეილი და ბურთეული შეწყვეტი კომბინაცია Გადაადგილების მოტორი: სერვომოტორი Მინიმალური მომავალი სიჩქარე: 0.1μm/წმ Მაქსიმალური მომავალი სიჩქარე: 50mm/წმ | 
| Სამუშაო მაგიდა  | Რაოდენობა: 3, ინდექსირების რეჟიმი  Სპინდლის მოტორი: სერვომოტორი Სიჩქარე: 0~300 რ/წ, უფასოდ რეგულირებადი Აბსორციის მეთოდი: ვაკუუმური აბსორცია | 
| Სამუშაო გარემოს როტაციის საფეხური  | Გადაადგილების რეჟიმი: სერვომოტორი  Როტაციის დიაპაზონი: 0~240° Განსაზღვრების ფორმა: სენსორული დახმარებით განსაზღვრება | 
| Ავტომატური სისწორე  ზომვის სისტემა | Საზომი მეთოდი: IPG კონტაქტული online რეალ-ტაიმის ზომის გაკეთება  Ზომის ჰედების რაოდენობა: 2 Ზომის სენსორი: 0.1um დონის სენსორი | 
| Ავტომატური ჩატვირთვა/  გატვირთვის სისტემა | Ყუთის ტიპი: 6-8 ინჩის კასეტა, 25 სარეჯი  Ავტომატური ჩატვირთვის/გატვირთვის მეთოდი: ვაფერის მანიპულატორი იყენება, რათა დარწმუნდეს, რომ მỏციერი ვაფერები იტრანსპორტებიან გარკვეული შავის გარეშე Ქვეყნის thicness: 150um-1000um | 
| Სამუშაო გარემოს გასუფთავების ფუნქცია  | Გასუფთავების მეთოდი: Oilstone polishing &DI წყალი+ჰავა სამართავი გასუფთავება  | 
| Ავტომატური გასუფთავება  გამოსვლის სისტემა | Გასუფთავება: DIW ნოზლის გასუფთავება  Გამოსვლის მეთოდი: ხანდახან და გამოსვლა Სიჩქარე: max1000rpm უკვეთს ადაპტირება | 
| Სტატიკის გამოსაღები სისტემა  | Იონური ბარი orion fan  | 
| Spindle chiller  | Ტემპერატურა: 18-22°C  Გასვლის სიჩქარე: 4~8ლ/წუთ | 
| Კონტროლის სისტემა    | Კონტროლის სისტემა: PC კონტროლის სისტემა, ტახტის ეკრანი, 3 ფერიანი ალარმის ლამპა  Ჩინური/ინგლისური ადამიან-მაशინის ინტერფეისი | 
| Მაქსიმალური ვაფერის ზომა  | Მაქსიმალურად საშუალება 8 ინჩზე  | 
| Სიჩქარის დიაპაზონი    | 0~6000 რ.∕წ.  | 
| Z ღერძის გადასვლა  | 160მმ  | 
| Z ღერძის კვების სიჩქარე  | 0.1~100უმ/წმ  | 
| Z-ღერძის სწრაფი დაბრუნების სიჩქარე  | 50მმ/წმ  | 
| Z-ღერძის განაწილება  | 0.1მკმ  | 
| Ონლაინ სიგრძის ზომვის დიაპაზონი  | 0~1800um  | 
| Ონლაინ სიგრძის ზომვის გარეშე  | 0.1მკმ  | 


Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია