Მოდელი |
MDTS-WT2200 |
Გამოკლების ღერძების რაოდენობა |
2 |
Სამუშაო სკამების რაოდენობა |
3, ინდექსირების მეთოდი |
Ჩამორთვის წერტილის ღერ Gaussian |
Ჰაერის ღერძები: 2 Ღერძის მოტორი: 7.5kW ცვლილი სხვაობის მოტორი Სიჩქარე: 0~6000rpm, პირდაპირ რეგულირებადი Ჭამბატის სპეციფიკაცია: Φ203mm Ჭამბატის ტიპი: დიამანტის ჭამბატი |
Ჭამბატის მომზადების სისტემა |
Რაოდენობა: 2 სეტი Მომავალი სისტემის კონტროლი: LM რეილი და ბურთეული შეწყვეტი კომბინაცია Გადაადგილების მოტორი: სერვომოტორი Მინიმალური მომავალი სიჩქარე: 0.1μm/წმ Მაქსიმალური მომავალი სიჩქარე: 50mm/წმ |
Სამუშაო მაგიდა |
Რაოდენობა: 3, ინდექსირების რეჟიმი Სპინდლის მოტორი: სერვომოტორი Სიჩქარე: 0~300 რ/წ, უფასოდ რეგულირებადი Აბსორციის მეთოდი: ვაკუუმური აბსორცია |
Სამუშაო გარემოს როტაციის საფეხური |
Გადაადგილების რეჟიმი: სერვომოტორი Როტაციის დიაპაზონი: 0~240° Განსაზღვრების ფორმა: სენსორული დახმარებით განსაზღვრება |
Ავტომატური სისწორე ზომვის სისტემა |
Საზომი მეთოდი: IPG კონტაქტული online რეალ-ტაიმის ზომის გაკეთება Ზომის ჰედების რაოდენობა: 2 Ზომის სენსორი: 0.1um დონის სენსორი |
Ავტომატური ჩატვირთვა/ გატვირთვის სისტემა |
Ყუთის ტიპი: 6-8 ინჩის კასეტა, 25 სარეჯი Ავტომატური ჩატვირთვის/გატვირთვის მეთოდი: ვაფერის მანიპულატორი იყენება, რათა დარწმუნდეს, რომ მỏციერი ვაფერები იტრანსპორტებიან გარკვეული შავის გარეშე Ქვეყნის thicness: 150um-1000um |
Სამუშაო გარემოს გასუფთავების ფუნქცია |
Გასუფთავების მეთოდი: Oilstone polishing &DI წყალი+ჰავა სამართავი გასუფთავება |
Ავტომატური გასუფთავება გამოსვლის სისტემა |
Გასუფთავება: DIW ნოზლის გასუფთავება Გამოსვლის მეთოდი: ხანდახან და გამოსვლა Სიჩქარე: max1000rpm უკვეთს ადაპტირება |
Სტატიკის გამოსაღები სისტემა |
Იონური ბარი orion fan |
Spindle chiller |
Ტემპერატურა: 18-22°C Გასვლის სიჩქარე: 4~8ლ/წუთ |
Კონტროლის სისტემა |
Კონტროლის სისტემა: PC კონტროლის სისტემა, ტახტის ეკრანი, 3 ფერიანი ალარმის ლამპა Ჩინური/ინგლისური ადამიან-მაशინის ინტერფეისი |
Მაქსიმალური ვაფერის ზომა |
Მაქსიმალურად საშუალება 8 ინჩზე |
Სიჩქარის დიაპაზონი |
0~6000 რ.∕წ. |
Z ღერძის გადასვლა |
160მმ |
Z ღერძის კვების სიჩქარე |
0.1~100უმ/წმ |
Z-ღერძის სწრაფი დაბრუნების სიჩქარე |
50მმ/წმ |
Z-ღერძის განაწილება |
0.1მკმ |
Ონლაინ სიგრძის ზომვის დიაპაზონი |
0~1800um |
Ონლაინ სიგრძის ზომვის გარეშე |
0.1მკმ |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
