Მოდელი |
MDTS-WT2200 |
Გამოკლების ღერძების რაოდენობა |
2 |
Სამუშაო სკამების რაოდენობა |
3, ინდექსირების მეთოდი |
Ჩამორთვის წერტილის ღერ Gaussian |
Ჰაერის ღერძები: 2 Ღერძის მოტორი: 7.5kW ცვლილი სხვაობის მოტორი Სიჩქარე: 0~6000rpm, პირდაპირ რეგულირებადი Ჭამბატის სპეციფიკაცია: Φ203mm Ჭამბატის ტიპი: დიამანტის ჭამბატი |
Ჭამბატის მომზადების სისტემა |
Რაოდენობა: 2 სეტი Მომავალი სისტემის კონტროლი: LM რეილი და ბურთეული შეწყვეტი კომბინაცია Გადაადგილების მოტორი: სერვომოტორი Მინიმალური მომავალი სიჩქარე: 0.1μm/წმ Მაქსიმალური მომავალი სიჩქარე: 50mm/წმ |
Სამუშაო მაგიდა |
Რაოდენობა: 3, ინდექსირების რეჟიმი Სპინდლის მოტორი: სერვომოტორი Სიჩქარე: 0~300 რ/წ, უფასოდ რეგულირებადი Აბსორციის მეთოდი: ვაკუუმური აბსორცია |
Სამუშაო გარემოს როტაციის საფეხური |
Გადაადგილების რეჟიმი: სერვომოტორი Როტაციის დიაპაზონი: 0~240° Განსაზღვრების ფორმა: სენსორული დახმარებით განსაზღვრება |
Ავტომატური სისწორე ზომვის სისტემა |
Საზომი მეთოდი: IPG კონტაქტული online რეალ-ტაიმის ზომის გაკეთება Ზომის ჰედების რაოდენობა: 2 Ზომის სენსორი: 0.1um დონის სენსორი |
Ავტომატური ჩატვირთვა/ გატვირთვის სისტემა |
Ყუთის ტიპი: 6-8 ინჩის კასეტა, 25 სარეჯი Ავტომატური ჩატვირთვის/გატვირთვის მეთოდი: ვაფერის მანიპულატორი იყენება, რათა დარწმუნდეს, რომ მỏციერი ვაფერები იტრანსპორტებიან გარკვეული შავის გარეშე Ქვეყნის thicness: 150um-1000um |
Სამუშაო გარემოს გასუფთავების ფუნქცია |
Გასუფთავების მეთოდი: Oilstone polishing &DI წყალი+ჰავა სამართავი გასუფთავება |
Ავტომატური გასუფთავება გამოსვლის სისტემა |
Გასუფთავება: DIW ნოზლის გასუფთავება Გამოსვლის მეთოდი: ხანდახან და გამოსვლა Სიჩქარე: max1000rpm უკვეთს ადაპტირება |
Სტატიკის გამოსაღები სისტემა |
Იონური ბარი orion fan |
Spindle chiller |
Ტემპერატურა: 18-22°C Გასვლის სიჩქარე: 4~8ლ/წუთ |
Კონტროლის სისტემა |
Კონტროლის სისტემა: PC კონტროლის სისტემა, ტახტის ეკრანი, 3 ფერიანი ალარმის ლამპა Ჩინური/ინგლისური ადამიან-მაशინის ინტერფეისი |
Მაქსიმალური ვაფერის ზომა |
Მაქსიმალურად საშუალება 8 ინჩზე |
Სიჩქარის დიაპაზონი |
0~6000 რ.∕წ. |
Z ღერძის გადასვლა |
160მმ |
Z ღერძის კვების სიჩქარე |
0.1~100უმ/წმ |
Z-ღერძის სწრაფი დაბრუნების სიჩქარე |
50მმ/წმ |
Z-ღერძის განაწილება |
0.1მკმ |
Ონლაინ სიგრძის ზომვის დიაპაზონი |
0~1800um |
Ონლაინ სიგრძის ზომვის გარეშე |
0.1მკმ |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved