 
  
| Გასაფართოებელი ქვეყნის  | Ზომა  | Ინჩები  |  4,5,6,8 | 
| Ვაფერის კასეტა  | Ნომერი  |  - |  2 | 
| Გასაფართოების მეთოდი  |  - | Ვერტიკალური ჩამორთვის მეთოდი  | |
| Ჩამორთვის წერტილის ღერ Gaussian  | Ტიპები  |  - | Ჰავა ბერინგები  | 
| Რაოდენობა  |  - |  2 | |
| Სიჩქარე  | წთ/წთ  |  0~5000 | |
| Გამომავალი სიმძლავრე    | Კვ  |  5.5/7.5 | |
| Სტროკი    | მმ  |  150 | |
| Შემოსავალი სიჩქარე  | μm/s  |  0.01~100 | |
| Სწრაფი წინააღმდეგი სიჩქარე  | მმ/წმ    |  300 | |
| Გადაწყვეტა    | ჰმ  |  0.1 | |
| Სამუშაო ღერძი  | Ტიპი    |  - | Ბურთის ბერინგები  | 
| Რაოდენობა  |  - |  3 | |
| Შესახვეული ტიპი  |  - | Მიკროპორული სერამიკა  | |
| Ვეფის შეწევის მეთოდი  |  - | Ვაკუუმური აბსორცია  | |
| Სიჩქარე  | წთ/წთ  |  0~300 | |
| Ვეფის გადატანა  |  - | Რობოტის მკლავი  | |
|  - | Გარდარბილი დისკი  | ||
| Სხვა ფუნქციები  | Ვეფის ცენტრირება  |  - | Მოძრაობის პინის გასწორება  | 
| Ვეფის გასაფარი  |  - | Წყალის და ჰაერის გასაფრინვე, როტაციული გამოგზავნა  | |
| Შეწევის ჭიხის გასაფარი  |  - | Ქვეყნური წილის გამოსახულება  | |
| Რკალი  | მმ  | φ200  | |
| ONLINE  გაზომვა | Გაზომვის დიაპაზონი  | ჰმ  |  0~1800 | 
| Გადაწყვეტა    | ჰმ  |  0.1 | |
| Განმეორების სიზუსტე    | ჰმ  |  ±0.5 | |
| Მექანიკური დამუშავება  სიზუსტე | Ინტრა-ვეფიანი ზუსტება (TTV)  | ჰმ  |  ≤2 | 
| Მახვილ-მახვილობრივი ზუსტება (WTW)  | ჰმ  |  ±3 | |
| Ზედაპირის ცხარეობა (Ry)  | ჰმ  | 0.13(2000#finish)  | |
| Გარეგნობა  | Გარეგნის ფერი  | ჰმ  | Ყვავილი შабლონი  | 
| Ზომები(Ш×Г×В)  | მმ  |  1200×2750×1950 | |
| Წონა    | კგ  |  4200 | 










Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია