Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
ПОЛУЧИТЬ ЦЕНУ

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Მთავარი გვერდი
Ჩვენ შესახებ
MH Equipment
Გადაწყვეტილება
Საგარეო მომხმარებლები
Ვიდეო
Დაგვიკავშირეთ
Მთავარი> Wafer Grinder
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP
  • Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP

Ავტომატური ერთი პლატენის ვაფერის ქიმიური მექანიკური გლეხვა პლანარიზაცია CMP

Იღეთ უფასო ციფრი
Პროდუქტის აღწერა
ATOM Single Platen CMP

Მაशინის მახასიათებელი თვისებები

Აპარატი ელასტიურია და შეძლებს მრავალი ჰედის მხარდაჭერას.
Აპარატის პროცესური საშუალება ახლოს არის მთავარ მოდელის დონის პროდუქტებს იგივე ზომის.
Კარგი ერთობლივობა მოწყობილობებს შორის.

Გამოყენების სფეროები

4-8 ინჩიანი STI, ILD/IMD, TSV, TGV გარემოების და შერეული საფარის გარემო საკომპოზიციო მასალებისთვის, როგორიცაა SiC, LT, LN, GaAs და ა.შ.

Техნიკური პარამეტრები

4-ინჩიანი, 6-ინჩიანი, 8-ინჩიანი ჰედები, მრავალ ზონის კონტროლი
Φ20 ინჩიანი 508MM პლატენის ტიპი
Ჰედის წნევის კონტროლის ზუსტება<0.05PSI
Ჰედისა და პლატენის როტაციის სიჩქარის კონტროლის ზუსტება<2RPM

1. LoadPort ერთეული

Პორტი შეიძლება გადააქციოს, რათა ჩასანახავად Cassette Qtank-ში, რათა არ წარმოქმნას Slurry კრისტალები
wafer-ის გარემოებული ზედაპირი. აღერის გარეშე Cassette Mapping ფუნქცია.

2. რობოტის მასალის მიღების ერთეული

4-ღერძიანი რობოტის გამოყენებით, ის ანალოგიურად გადაიტანს ვაფერებს Cassette-იდან გარემოს ერთეულამდე.

3. გამრუდების ერთეული

Ეს ერთეული აღარისტებულია Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1-ზე, და EPD ბოლო წერტილის
განმავლობა. ის შეძლებს ავტომატურ ვაფერის ჩატვირთვას და გატვირთვას, მრავალ ზონის თავის კონტროლს, Slurry
ჩამორთვის წერტილის ცვლილებას Recipe პარამეტრების მიხედვით, ბოლო წერტილის განმავლობას და სხვა ფუნქციებს.
CMP გამრუდების Head
Ეს მოწყობილობაზე მონაცემული გამრუდების Heads ყველა ინდეპენდენტურად განვითარებულია, დაზუსტებულია და წარმოებულია ჩვენს კომპანიას მიერ.
Მათ შორის, 4-ინჩიანი 3-კავიტეტის Head არის უნიკალური პროდუქტი, რომელიც შექმნილია ჩვენს კომპანიას მიერ, შევსებს ჩინეთში მრავალ კავიტეტის 4-ინჩიანი Head-ის გარეშე არსებულ ბრიჭს. ჩვენს კომპანიას მიერ მარაგილია ან პერსონალიზებული გახდება Head კლიენტის პროდუქტის მახასიათებლების მიხედვით. TGV ნაწილაკის (200um) პროდუქტის განვითარების პროცესში, Head-ის შიგთავი სტრუქტურა შეცვალა, რომ მოხდეს ნაწილაკის გამრუდების მოთხოვნების შესაბამისად. LN ზედა ზედაპირის OX გამრუდების ტექნოლოგიის განვითარების პროცესში, ჩვენს კომპანიას მიერ განსაკუთრებით გააუმჯობეს 6-ინჩიანი Head და წარმატებით შეავსეს კლიენტის პროდუქტის მოთხოვნებს.
Აპლიკაციები
Ტრადიციული IC პლანარიზაციის გამრუდების პროცესი;
TGV/TSV პროცესი;
Smart Cut და Pre bonding CMP;
SIC საფუძველი გამრუდება/გალიუმ არსენიდის გამრუდება.
Სპეციფიკაცია
Პორტი
Რაოდენობა * 1, Q-თანკით
Რობოტი
Რაოდენობა * 1, ვაფერის გადატანისთვის
HCLU
Რაოდენობა * 1, ვაფერების ავტომატური ჩატვირთვისა და გატვირთვისთვის
Გამრუდების ჰედი
Რაოდენობა * 13 გამოყოფილი კონტროლი, კონტროლის ზუსტება 0.1PSI, შეძლებს 400-1200 UM ვაფერის მűნასაღებას.
Პოლირების თავის სიჩქარე
5-150RPM
Გასაპრიალებელი დისკი
Რაოდენობა * 1 პოლირების დისკის ზომა 508mm, პოლირების ქუდის სიჩქარე 10-150rpm.
Ჭრის ხელი
Რაოდენობა * 1 პოლირების ქუდი. პოლირების ქუდი შეიძლება გავარდა წვდომის (ერთდროულად) ან წვდომის შემდეგ (შემდეგ). ჭრის
ხელს აქვს ჭრის ღერძი, რომელიც შეიძლება หมุნდეს და მოძრაობდეს ზევით და ქვევით, და სიჩქარე და ქვეწნევა შეიძლება განაკვეთოს. ჭრის
იнструმენტი დაყენებულია ჭრის ღერძზე და შეიძლება სწრაფად
ამოიღოს. პოლირების ქუდების განსხვავებული ტიპების მიხედვით, განსხვავებული ტიპის დრესირების ინსტრუმენტები არის დაყენებული, რომლებიც შეიცავს დრესირების
ჩამომავალებს, алмაზის წერტილებს და ალმაზის დისკებს.
UPA პოლირების თავის ჰაერის წნევის კონტროლის ერთეული
Რაოდენობა * 13. ზონა მისამართებელია უკეთესი ზედაპირის გეგმარიშვილების ეფექტისთვის
Წინაღრძელი საცხოვრებელი ბურთი
Რაოდენობა * 2. პერისტალტიკური ბურთები იყენება საცხოვრებელი თევზე, რომელიც შეიცავს 2 პერისტალტიკურ ბურთს, რომლებიც გადაადგილებს განსხვავებულ წინაღრძელს
წინაღრძელ დისკს. თითოეული ბურთი შეიძლება იყენებოდეს პროცესის ნებისმიერ ეტაპზე.
Წინაღრძელი ხელი
Რაოდენობა * 1 შეძლება წინაღრძელის ჩამორთვის წერტილის კონტროლი და შეძლება წინაღრძელი ქუშის გასუფთავება.
Ოპერაციის კონტროლური სისტემა შეძლება მომხმარებლის დონის კონტროლს, როგორიცაა მომხმარებლის რეჟიმი, მეცნიერების რეჟიმი და ტექნიკური რეჟიმი, და განსხვავებული რეჟიმები კონტროლიруება პაროლებით.
სისტემის პროგრამული უზრუნველყოფა შეძლება პროცესის პარამეტრების რედაქტირებას თითოეული პროცესის ეტაპზე და განსაზღვრავს და წარმოადგენს ფილმს ჩიპის ზედაპირზე.
შეძლება მონიტორингი მოწყობილობის მუშაობის მდგომარეობაზე, მონიტორინგი პროცესის პარამეტრების რეალური დროით და პროგრამული უზრუნველყოფა ავტომატურად შეინახავს განსხვავებულ პროცესურ მონაცემებს.
მას აქვს განათლური გაჩერების სისტემა
ღილაკი, რომელიც გამოიყენება აპარატურის მუშაობის დაწყებისთვის და კონტროლის ძალის გამორთვისთვის.
Შეფუთვა და მიწოდება
Კომპანიის პროფილი
Ხელიკრული
1. ფასის შესახებ:
Ყველა ჩვენს ფასები არის კონკურენტული და განსაზღვრაველი. ფასი ვარიაცია მოწყობილობის და თქვენი აპარატის კონფიგურაციის და პერსონალიზაციის სირთულის მიხედვით.

2. სამაგალითო შესახებ:
Შეგვიძლია გთავაზოთ სამაგალითო წარმოების სერვისი, მაგრამ შეგიძლიათ გადახდეთ რამდენიმე საკონტროლო განახლება.

3. გადახდის შესახებ:
Როგორც გეგონია გეგრძნობა, თქვენ უნდა გვიხსნით გადახდა პირველი, და ფაბრიკა იწყებს ტоварების მზადდებას. როცა
მანქანები მზადაა და თქვენ გადახდებთ ბალანსს, ჩვენ იგი გაგზავნით.

4. მოწოდების შესახებ:
Მანქანის წარმოება დასრულების შემდეგ, ჩვენ გაგზავნით გეგმის ვიდეო და თქვენ შეგიძლიათ მოიდეთ ადგილზე მანქანის შემოწმებისთვის.

5. ინსტალაცია და დებაგირება:
Მანქანის მისაღება თქვენს ფაბრიკაში, ჩვენ შეგვიძლიათ გაგზავნათ ინჟინერები მანქანის მონტაჟისა და დებაგინგისთვის. ეს სერვისის განახლება გეგმავს განახლების განახლება.

6. გარანტიის შესახებ:
Ჩვენ მაქნილები 12-მათიანი გარანტიის პერიოდი ჰქონდება. გარანტიის პერიოდის შემდეგ, თუ ნებისმიერი ნაწილები დაზიანდებული იქნება და ჩანაცვლება საჭიროა, მы მხოლოდ ღირებულების ფასს დავიწვებთ.

PushViewController: More Products

Ინკვირი

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Პრივატულობის პოლიტიკა

Ინკვირი Email Whatsapp Top
×

Დაკავშირდით