Ეს არის სემიკონდუქტორებისთვის დაბალ ვოლტის მიკროვეფის პლაზმის მახვილი. მიკროვეფის 2.45GHz სიხშირის გამოყენებით ვაკუუმური გამოყენების სახელმძღვანელოზე, წარმოიქმნება დიდი რაოდენობის უწყვეტ პლაზმა, და ჩიპი მახვილია კავითის შესაბამისად.
Უპირატესობები: 1. პლაზმა უკვე არ არის დამუხტული და არ იწვევს წრედების ზიანს 2. მკურნალობის პროცესში ტემპერატურის დაკაბალი შენარჩუნება 3. სწრაფი რეაგირების სიჩქარე და მოკლე რეაქციის დრო 4. ელექტროდების გარეშე, არ არსებობს ავტომობილის დასაბინძურებლად მიმართული წყაროები, ხანგრძლივი სიცოცხლე 5. შესაძლებლობა პლაზმის შენარჩუნების მაღალი წნევის პირობებში 6. მიკროტალღური შეერთებები და მაგნიტური წრეები თავსებადია 7. დაბალი საკუთარი ბიასის ძაბვის მოთხოვნები 8. მაღალი ძაბვის წყარო და გენერატორი ერთმანეთისგან იზოლირებულია უსაფრთხოების მიზნით 9. შუხის წაშლა სითხის გარეშე, არ არსებობს დასაბინძურებლად მიმართული წყაროები
Გამოყენების სფეროები: ნახსენების ჩიპების შეერთების წინა-მომზადება, პლასტმასის შეფუთვის წინა-მომზადება, ფოტორეზისტის მოშორება, ლითონის შეერთება და წინა-მომზადება