
UV სინათლის წყაროს ცენტრალური ტალღის სიგრძე |
405ნმ |
Გამოფენის ერთგვაროვნება |
90%-ზე მეტი |
Მინიმალური ელემენტის ხაზის სიგანე |
0.5 მკმ |
Ერთჯერადი ჩაწერის ველის გამოფენის არეა |
0.16*0.16მმ (@0.5 მკმ) |
Წერის სიჩქარე |
80 მმ²/წთ (1 მკმ ხაზის სიგანე) |
Მხარდაჭერილი სურათის ფორმატები |
DXF, GDS, bmp, png და ა.შ. |
Კონფიგურაცია |
Საბაზისო ვერსია |
Პროფესიონალური ვერსია |
|
Სინათლის წყარო |
Სიმძლავრის მაღალი სინათლის დიოდი: 405 ნმ |
||
DMD ჩიფი |
DLP6500 |
||
Ერთი ველის გა exposition არეა |
0.16*0.16 მმ (@0.5 მკმ), 0.4*0.4 მმ (@0.7 მკმ), 0.8*0.8 მმ (@1 მკმ), 1.6*1.6 მმ (@2 მკმ) |
||
Კამერა |
Დიდი ზომის მიკროსკოპული კამერა (მხარდაჭერს ზომის გაზომვას) |
||
Მინიმალური ეკვიდისტანციური ხაზის სიგანე |
0.8 µm |
0.5μm |
|
Შეკრულობის ზუსტობა |
±0.3 µm |
±0.3μm |
|
Დაფარვის სიზუსტე |
±0.5 µm |
±0.5μm |
|
Წერის სიჩქარე |
20 mm²/min (1 µm ელემენტის ხაზის სიგანე) |
80 mm²/min (1μm ელემენტის ხაზის სიგანე) |
|
Მოძრავი სტეიჯი |
Მაღალი სიზუსტის წრფივი ძრავა (განმეორებადი პოზიციონირების სიზუსტე ±0.25 მკმ), გასწორების მექანიზმი, ხელით შესრულებული მობრუნების სცენა |
Მაღალი სიზუსტის წრფივი ძრავა (განმეორებადი პოზიციონირების სიზუსტე ±0.25 მკმ), გასწორების მექანიზმი, ელექტრო მობრუნების სცენა |
|
Ობიექტივის ლინზის გადამრთველი |
Ხელით შესრულებული ლინზის გადართვა |
Ძრავით გადართვადი ლინზა |
|
Ფოკუსირების მოდული |
CCD გამოსახულების ავტოფოკუსირება |
Ლაზერული აქტიური ფოკუსირება |
|
Მხარდაჭერილი ვეიფერის ზომები |
4 INCH |
4-ინჩი/8-ინჩი |
|
Ნიმუშის სისქე |
0-10 მმ |
0-10 მმ |
|















Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია