Გუანგზოუ Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Გუანგზოუ Minder-Hightech Co., Ltd.
ПОЛУЧИТЬ ЦЕНУ

Გუანგზოუ Minder-Hightech Co., Ltd.

Საწყისი გვერდი
Ჩვენ შესახებ
MH აპარატურა
Გამოყენება
Სხვა ქალაქის მომხმარებლები
Ვიდეო
Დააკონტაქტეთ ჩვენ
Მთავარი> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F სრულყოფილი ავტომატური ICP გამოჭრვის მაშინა
  • MDICP-5000F სრულყოფილი ავტომატური ICP გამოჭრვის მაშინა
  • MDICP-5000F სრულყოფილი ავტომატური ICP გამოჭრვის მაშინა
  • MDICP-5000F სრულყოფილი ავტომატური ICP გამოჭრვის მაშინა

MDICP-5000F სრულყოფილი ავტომატური ICP გამოჭრვის მაშინა

Მოდელი: MDICP-5000F

Მიიღეთ უფასო შემოთავაზება
MDICP-5000F სრულყოფილი ავტომატური ICP გამოჭრვის მაშინა
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Შეჯამება:

Აპარატურა არის ორ ხურის ვაკუუმური სისტემა. ერთ ხურა არის ინიციაციის ერთეულის ხურა და მეორე ხურა არის გამოჭრის ხურა. ინიციაციის ერთეულის ხურა და გამოჭრის ხურას შორის მდებარეობს ვაკუუმური ბლოკი, და ინიციაციის ერთეული ტრანსპორტირება ხდება მანიპულატორის მიერ.
Ოპიკა ძირითადად შედგება ვაკუუმულ სისტემას, გაზის ცირკულაციის სისტემას, ელექტრონულ სისტემას, კონტროლის სისტემას, გამყარების სისტემას, ფილმის მიწოდებისა და წაღების მექანიზმისა, ალარმული სისტემისა და ა.შ.

Ვაკუუმური სისტემა:

Სისტემა შედგება მოლეკულური მოხვევისგან, რომელიც 600 L/ს-ის მოხვევის სიჩქარით + იმპორტირებული ვაკუუმული განმარტული მოხვევი L/ს-ის მოხვევის სიჩქარით, რომლისაც მისაღებად გამოიყენება ეროვნების კამერის მაღალი ვაკუუმისთვის. მოლეკულური მოხვევისა და ეროვნების კამერას შორის მოყავა ელექტრონული წნევის რეგულირების ვალვი. იმპორტირებული განმარტული მოხვევი არის ეროვნების კამერის წინა მოხვევი და მოლეკულური მოხვევის წინა ეტაპი. გამოიყენება კიდევ ერთი მექანიკური მოხვევი L/ს-ის მოხვევის სიჩქარით სამ__[პ]ედის კამერის ვაკუუმისთვის. მექანიკური მოხვევისა და ვაკუუმული კამერის შორის და მოლეკულური მოხვევის შორის გამოიყენება სტainless steel-ის ბელოვები და ელექტრომაგნიტური პნევმატიკური ბლოკირების ვალვი.

Წნევის მუდმივი კონტროლის სისტემა

Აპარატურა აღმოაჩენს ქვემოთ მდგომარე წნევის კონტროლის სისტემას, და ჰაერის გამოტანის ხაზში მყარი რეგულირებადი ვალვი არის მონაცემული. ფილმის გამოмерების (იმპორტული ნაწილები) საშუალებით, რეგულირებადი ვალვი აკონტროლებს, რათა ვაკუუმური აულა მიღებდეს მუდმივ წნევას, რათა გაუმჯობეს პროცესის стабილურობა.

Წნევის მუდმივი კონტროლის სისტემა

Აპარატურა აღმოაჩენს ქვემოთ მდგომარე წნევის კონტროლის სისტემას, და ჰაერის გამოტანის ხაზში მყარი რეგულირებადი ვალვი არის მონაცემული. ფილმის გამოмерების (იმპორტული ნაწილები) საშუალებით, რეგულირებადი ვალვი აკონტროლებს, რათა ვაკუუმური აულა მიღებდეს მუდმივ წნევას, რათა გაუმჯობეს პროცესის стабილურობა.

Гაზის ცირკუიტული სისტემა

Дვი ნაკრები RF ძალის ავტომატური მორგებით.

Alarm system

Тექნიკური საბეზრolecო მოთხოვნები.
Სპეციფიკაცია
Სახელი
Spc
Ბრენდი
No. /Set
Შენიშვნა
Გამოჭრის აულა, ჰაერის გამოტანის ხაზი, მოკვდის ფენსტრი, და დაჯავშნილი ინტერფეისი და ა.შ.
Სტანდარტული
JSWN
1
Ანტიკოროზიული
Რამა, ელექტრო კაბინეტი, სელი, სტანდარტული ნაწილები და ა.შ.
Სტანდარტული
JSWN
1
Ეტჩინგ კამერის დაფარვის წყალობის სისტემა
Სტანდარტული
JSWN
1
Ანტიკოროზიული
Ეტჩინგ ელექტროდი და გამყიდველი სისტემა
Სტანდარტული
JSWN
1
Ანტიკოროზიული
Მოლეკულური პუმპა (გადატანის სიჩქარე 600 ლ/წ)
FF620/150
KYKY
1
Ანტიკოროზიული
Შემოსვლის სუხი პუმპა (გადატანის სიჩქარე 9 ლ/წ)
XDS-35I
Ედვარდს
1
Ანტიკოროზიული
Მექანიკური პუმპა (გადატანის სიჩქარე 9 ლ/წ)
TRP-36
BWVAC
1
Ელექტრო რეგულირებადი კარის ვალვი
DCQ-150
JSWN
1
Ანტიკოროზიული
Პნევმატული ბელოვზის შეწყვეტის ვალვი
KF40
JSWN
3
Ანტიკოროზიული
Ფილმის მეტრი
KF16
INFICON
1
Ანტიკოროზიული
Მასის სიდიდის კონტროლერი
D07
Sevenstar
4
Ანტიკოროზიული
Პნევმატური დიაფრაგმის ღირი
1⁄4″VCR
-
4
Ანტიკოროზიული
Რკინის მარცხვი, მარცხვის კავშირი და ა.შ.
1⁄4″VCR
-
4
Ანტიკოროზიული
RF ძალის წყარო / ავტომატური მათჩი
-
Ჩინეთი(OptionalCROWN1310)
1
RF ძალის წყარო / ავტომატური მათჩი
-
Ჩინეთი(OptionalCROWN1310)
1
Კომპოზიტური ვაკუუმური მეტრი
ZDF
RB
1
IPC
2U
Ჩინეთში
1
LCD ტაქტის ეკრანი
17 ინჩი
Ჩინეთში
1
PLC მართვის სისტემა
S7-200
Siemens
1
Ელექტრო მძივის კონტროლური სისტემა
Სტანდარტული
JSWN
1
Გამყიდველი წყალის გამო探ვა და ტუბის სისტემა
Სტანდარტული
JSWN
1
Კომპრესორული ჰავას გამო探ვა და ტუბის სისტემა
Სტანდარტული
JSWN
1
Გამყიდველი წყალის ცირკულაციის მაशინა
HX
Ჩინეთში
1
Ეტჩინგის ინიექციის ხოლმი
Სტანდარტული
JSWN
1
Ვაკუუმური ლოკი
SMC
SMC
1
Მანიპულატორის კონტროლური სისტემა
SMC
SMC
1

Ფოსტის ტექნიკური პარამეტრი

1. ვაკუუმის ლიმიტი: ეტქონის თბილის 9.0×10-5Pa (შიგა ტემპერატურა≤55%)
Ინიცირების წყარო 6.0×10-1Pa
2. ეტჩინგის მასალა: Ⅲ, Ⅴ მასალა, Si, SiO2 და ა.შ.
3. ეტჩინგის სიჩქარე: ~ 1μ/წუთი
4. ეტჩინგის ერთობლივობა: ≤±5％(φ125mm დიაპაზონი)
6. ელექტროდის ზომები: φ200mm

Ხშირად დასმული კითხვები

1. ფასის შესახებ:

Ყველა ჩვენს ფასები არის კონკურენტული და განსაზღვრაველი. ფასი ვარიაცია მოწყობილობის და თქვენი აპარატის კონფიგურაციის და პერსონალიზაციის სირთულის მიხედვით.

 

2. სამაგალითო შესახებ:

Შეგვიძლია გთავაზოთ სამაგალითო წარმოების სერვისი, მაგრამ შეგიძლიათ გადახდეთ რამდენიმე საკონტროლო განახლება.

 

3. Გადახდის შესახებ:

Გეგმის დადასტურების შემდეგ, თქვენ უნდა გვიხსნით ავანსი ჯერ და ფაბრიკა დაიწყოს ტоварების მზადება. აღარის მზად და თქვენ გადახდეთ ბალანსი, ჩვენ გამოვაგზავნით მანქანას.

 

4. მოწოდების შესახებ:

Მანქანის წარმოება დასრულების შემდეგ, ჩვენ გაგზავნით გეგმის ვიდეო და თქვენ შეგიძლიათ მოიდეთ ადგილზე მანქანის შემოწმებისთვის.

 

5. ინსტალაცია და დებაგირება:

Მანქანის მისაღება თქვენს ფაბრიკაში, ჩვენ შეგვიძლიათ გაგზავნათ ინჟინერები მანქანის მონტაჟისა და დებაგინგისთვის. ეს სერვისის განახლება გეგმავს განახლების განახლება.

 

6. გარანტიის შესახებ:

Ჩვენ მაქნილები 12-მათიანი გარანტიის პერიოდი ჰქონდება. გარანტიის პერიოდის შემდეგ, თუ ნებისმიერი ნაწილები დაზიანდებული იქნება და ჩანაცვლება საჭიროა, მы მხოლოდ ღირებულების ფასს დავიწვებთ.

 

7. გაყიდვების შემდგომი მომსახურება:

Ყველა მანქანას აქვს ერთზე მეტი წელი გარანტიის ვადა. ჩვენი ტექნიკური ინჟინრები ყოველთვის ხელმისაწვდომია და გთავაზობთ მოწყობილობების დაყენების, დახვეწის და მომსახურების სერვისს. ჩვენ შეგვიძლია მივაწოდოთ სპეციალური და დიდი მოწყობილობების დაყენება და დახვეწა ადგილზე.

Მეტი პროდუქტი

Მოთხოვნა

Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია

Კონფიდენციალურობის პოლიტიკა

Მოთხოვნა Email Ვეიჩატი WeChat
Უმაღლესი
×

Დაგვიკავშირდით