პროექტი |
Სპეციფიკაციები |
შენიშვნები |
||
1 |
장비 개요 |
Აპარატის სახელი: სრულად ავტომატური ერთობლივი კლეის დეველოპირების მაशინი |
||
Აპარატის მოდელი: MD-2C2D6 |
||||
Ვაფერის სპეციფიკაცია: საშუალება აქვს 4/6-ინჩიან სტანდარტულ ვაფერებთან საშუალებაში |
||||
Ერთობლივი კლეის პროცესი: ყვავილის ჭრის გამოყოფა → ცენტრირება → ერთობლივი კლეი (წყალების გადასვლა → ერთობლივი კლეი → რიგის შესაღება, უკან წარმოება) → ცხენის ლარი → ცხენის ცხენი → ყვავილის დასაწყვეტა Დეველოპირების პროცესი: ყვავილის ჭრის გამოყოფა → ცენტრირება → დეველოპირება (დეველოპირების محلولი → დეიონიზაციის წყალი, უკან წარმოება → აზოტის გამოსხივება) → ცხენის ლარი → ცხენის ცხენი → ყვავილის დასაწყვეტა |
||||
Საერთაშორისო ზომები (ახალი): 2100mm (W) * 1800mm (D) * 2100mm (H) |
||||
Ქიმიური კაბინეტის ზომები (ახალი): 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H) |
||||
Საერთო წონა (preter):1000kg |
||||
Მუშაობის გარეშის სიღრმე: 1020 ± 50mm |
||||
2 |
Კასეტის ერთეული |
Რაოდენობა: 2 |
||
Საშუალო ზომა: 4/6 ინჩი |
||||
Კასეტის გამოკვლა: მიკროგამრთლებით გამოკვლა |
||||
Გამოსვლის გამოკვლა: დიახ, რეფლექტიური სენსორი |
||||
3 |
რობოტი |
Რაოდენობა: 1 |
||
Ტიპი: ლურჯი რობოტი ვაკუუმური აბსორციით |
||||
Თვითმოძრაობის ხარისხი: 4-ღერძიანი (R1, R2, Z, T) |
||||
Მასტის მასალა: კერამიკა |
||||
Სუბსტრატის დაყენების მეთოდი: ვაკუუმური აბსორციის მეთოდი |
||||
Განსაზღვრვის ფუნქცია: დიახ |
||||
Პოზიცირების ზუსტება: ± 0.1mm |
||||
4 |
Ცენტრირების ერთეული |
Რაოდენობა: 1 სეტი |
Ოპციონალური ოპტიკური განსაზღვრა |
|
Განსაზღვრის მეთოდი: მექანიკური განსაზღვრა |
||||
Ცენტრირების ზუსტება: ± 0.2mm |
||||
5 |
Ერთforma გლიტშის ერთეული |
Რაოდენობა: 2 სეტი (შემდეგი არის კონფიგურაციები თითოეული ერთეულისთვის) |
||
Ღერ Gaussian ჩრდილოს სიჩქარე: -5000rpm~5000rpm |
ტრანსპორტირების როლი |
|||
Ღერის ჩრდილოს სიზGIU ეზე: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Მინიმალური ჩრდილოს სიჩქარის გარდაქმნა: 1rpm |
||||
Მაქსიმალური ჩრდილოს სიჩქარის აჩქარება: 20000rpm/s |
ტრანსპორტირების როლი |
|||
Წყალის ხელი: 1 სეტი |
||||
Ფოტორეზისტის ტუბის მარშრუტი: 2 მარშრუტი |
||||
Ფოტორეზისტის ნოზლის დიამეტრი: 2.5mm |
||||
Ფოტორეზისტის იზოლაცია: 23 ± 0.5 ℃ |
არჩევითი |
|||
Მოხურვის გამოსაღები: დიახ |
||||
RRC: დიახ |
||||
버퍼: დიახ, 200ml |
||||
Კლეის ჩამორთვა: ცენტრული ჩამორთვა და სკანირების ჩამორთვა არის არჩევანი |
||||
Გვერდის წაშლის ბრძავი: 1 სეტი |
||||
Გვერდის წაშლის გამოსაღების დიამეტრი: 0.2mm |
||||
Გვერდის წაშლის თევზე მონიტორინგი: ფლოტის ფლუიდმეტრი |
||||
Გვერდის წაშლის თევზე მონიტორინგი: 5-50ml/мин |
||||
Პირუს შემოსვლა: 2 გზა (4/6 ინ치ი თითოეული 1 კანალით) |
||||
Პირუს შემოსვლის მონიტორინგი: ფლოტის ფლუიდმეტრი |
||||
Გამოსვლის ფლუიდის სიმართლე: 20-200 მლ/წუთში |
||||
Ჩიპის დაკავშირების მეთოდი: მცირე ზონის ვაკუუმური აბსორბცია Chuck-ით |
||||
Ვაკუუმის წნევის ალარმი: ციფრული ვაკუუმის წნევის სენსორი |
||||
Chuck-ის მასალა: PPS |
||||
Ყურეს მასალა: PP |
||||
Ყურის გამოსახატველი მონიტორინგი: ციფრული წნევის სენსორი |
||||
6 |
Განვითარების ერთეული |
Შუტერი: არის |
||
Რაოდენობა: 2 სეტი (შემდეგი არის კონფიგურაციები თითოეული ერთეულისთვის) |
||||
Ღერ Gaussian ჩრდილოს სიჩქარე: -5000rpm~5000rpm |
ტრანსპორტირების როლი |
|||
Ღერის ჩრდილოს სიზGIU ეზე: ± 1rpm (50rpm~5000rpm) |
||||
Მინიმალური ჩრდილოს სიჩქარის გარდაქმნა: 1rpm |
||||
Მაქსიმალური ჩრდილოს სიჩქარის აჩქარება: 20000rpm/s |
ტრანსპორტირების როლი |
|||
Განვითარების ხელი: 1 სეტი |
||||
Განვითარების მაგისტრალი: 2-გზიანი (ფანის ფორმის/სვეტის ნოზლი) |
||||
Ფილტრაცია დეველოპერში: 0.2უმ |
||||
Დეველოპერის ტემპერატურის კონტროლი: 23 ± 0.5 ℃ |
არჩევითი |
|||
Დეველოპირების საწყარიოს გასვლის დიაპაზონი: 100~1000მლ/წთ |
||||
Დეველოპირების ხელის მოძრაობის რეჟიმი: ფიქსირებული წერტილი ან სკანირება |
||||
Დეველოპირების ხელი: 1 სეტი |
||||
Დეიონიზაციის წყარო: 1 ცირკუიტი |
||||
Დეიონიზაციის წყაროს ჩანაწერის დიამეტრი: 4მმ (შიგა დიამეტრი) |
||||
Დეიონიზაციის წყაროს გასვლის დიაპაზონი: 100~1000მლ/წთ |
||||
Აზოტის გამოსუფლების წყარო: 1 ცირკუიტი |
||||
Აზოტის ჩანაწერის დიამეტრი: 4მმ (შიგა დიამეტრი) |
||||
Აზოტის მოსრულების დიაპაზონი: 5-50 ლ/წუთ |
||||
Განვითარებელი, დეიონიზაციის 水平, აზოტის მოსრულების მონიტორингი: ფლოტის ფლუქსმეტრი |
||||
Პირუს შემოსვლა: 2 გზა (4/6 ინ치ი თითოეული 1 კანალით) |
||||
Პირუს შემოსვლის მონიტორინგი: ფლოტის ფლუიდმეტრი |
||||
Გამოსვლის ფლუიდის სიმართლე: 20-200 მლ/წუთში |
||||
Ჩიპის დაკავშირების მეთოდი: მცირე ზონის ვაკუუმური აბსორბცია Chuck-ით |
||||
Ვაკუუმის წნევის ალარმი: ციფრული ვაკუუმის წნევის სენსორი |
||||
Chuck-ის მასალა: PPS |
||||
Chuck-ის მასალა: PPS |
||||
Ყურეს მასალა: PP |
||||
Ყურის გამოსახატველი მონიტორინგი: ციფრული წნევის სენსორი |
||||
7 |
Ჩამოკიდების ერთეული |
Რაოდენობა: 2 |
არჩევითი |
|
Ტემპერატურის დიაპაზონი: ავალი~180 ℃ |
||||
Ტემპერატურის ერთობა: ავალი~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (შეკვეთ 10 მმ რìმის გარდა, გარდა გამოსახატველი პინის 멍არის) |
||||
Მინიმალური გამოსახელებელი რაოდენობა: 0.1 ° C |
||||
Ტემპერატურის კონტროლი: PID გამოსახელება |
||||
PIN სიმაღლის დიაპაზონი: 0-20 მმ |
||||
PIN მასალა: სხეული SUS304, PIN პინი და კაპი PI |
||||
Გართობის შუალედური: 0.2mm |
||||
Ტემპერატურის ზედმეტის ალარმი: დადებითი და უარყოფითი გადახრის ალარმი |
||||
Წონის მეთოდი: ბუბუკები, 10 ± 2ml/мин |
||||
Კამერის მუშაობა ვაკუუმში: -5-20KPa |
||||
8 |
Ცხენის ერთეული |
Რაოდენობა: 10 |
||
Ტემპერატურის დიაპაზონი: ჩამონათვალი~250 ℃ |
||||
Ტემპერატურის ერთობა: ავალი~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (შეკვეთ 10 მმ რìმის გარდა, გარდა გამოსახატველი პინის 멍არის) |
||||
Მინიმალური გამოსახების რაოდენობა: 0.1 ℃ |
||||
Ტემპერატურის კონტროლი: PID გამოსახელება |
||||
PIN სიმაღლის დიაპაზონი: 0-20 მმ |
||||
PIN მასალა: სხეული SUS304, PIN პინი და კაპი PI |
||||
Გართობის შუალედური: 0.2mm |
||||
Ტემპერატურის ზედმეტის ალარმი: დადებითი და უარყოფითი გადახრის ალარმი |
||||
9 |
Ცივი პლატონი |
Რაოდენობა: 2 |
||
Ტემპერატურის დიაპაზონი: 15-25 ℃ |
||||
Გამყიდველობის მეთოდი: მუშაობის ტემპერატურის წყვილი გამყიდველობითი качалка |
||||
10 |
Ქიმიკალების მომსახურება |
Ფოტორეზისტის შენახვა: პნევმატური კლეის качалка * 4 სეტი (ოპციონალური ტანკი ან ელექტრო კლეის качалკა) |
||
Კლეის განაწილების რაოდენობა: მაქსიმალურად 12ml ერთი სესიონში, ზუსტება ± 0.2ml |
||||
Რიგის მოკლება/უკან რეინჯი/ RRC მომსახურება: 18L წნევის ტანკი * 2 (ავტომატური შევსება) |
||||
Რიგის მოკლება/უკან რეინჯი/ RRC დონის მონიტორინგი: ფოტოელექტრონული სენსორი |
||||
Ფოტორეზისტის დონის მონიტორინგი: ფოტოელექტრონული სენსორი |
||||
Ერთობლივი კლეის განაწილების გამოსაღები: 10L განაწილების ტანკი |
||||
Დეველოპერის მწადელობა: 18L წნევითი ტანკი * 4 (შენახულია მაशინის გარეშე ქიმიკალთა კაბინეტში) |
||||
Დეიონიზირებული წყალის მწადელობა: ფაბრიკიდან პირდაპირ |
||||
Დეველოპერის დონის მონიტორინგი: ფოტოელექტრონული სენსორი |
||||
Დეველოპერის ნანგრევის გამოსასვლელი: ფაბრიკის ნანგრევის გამოსვლა |
||||
Ტაკიფიკატორის მწადელობა: 10L წნევითი ტანკი * 1, 2L წნევითი ტანკი * 1 |
||||
Ტაკიფიკატორის დონის მონიტორინგი: ფოტოელექტრონული სენსორი |
||||
11 |
კონტროლის სისტემა |
Კონტროლის მეთოდი: PLC |
||
Ადამიან-მაशინის მუშაობის ინტერფეისი: 17 ინჩიანი ტაქტის ეკრანი |
||||
Უწყვეტი ძალის მოწოდება (UPS): დიახ |
||||
Მოწყობილობების შიფრირება მოწყობილებებისთვის, ტექნიკურ სპეციალისტებისა და ადმინისტრატორებისთვის |
||||
Სიგნალური Türi: წითელი, ყვითელი, მწვანე 3 ფერი |
||||
12 |
Სისტემის დამოკიდებულობის ინდიკატორები |
Აქტიური დრო: ≥95% |
||
MTBF: ≥ 500h |
||||
MTTR: ≤ 4h |
||||
MTBA: ≥24h |
||||
Ფრაგმენტაციის სიხშირე: ≤ 1/10000 |
||||
13 |
Სხვა ფუნქციები |
Ყვითელი სიღნალი: 4 სეტი (ადგილმდებარეობა: გლიუს მიშვენების და დეველოპირების ერთეულის ზედა ნაწილში) |
||
THC: დიახ, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2% |
არჩევითი |
|||
FFU: კლასი 100, 5 სეტი (პროცესური ერთეული და ROBOT ზონა) |
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
