Ელექტრო გათბობა |
Კამერა (ერთი სივრცით) |
||||
N/A |
|||||
Ქვედა ელექტროდის ტიპი |
242მმ |
||||
Ტემპერატურის დიაპაზონი პროცესში |
-20-100°C |
||||
Პლაზმური წყარო |
600W-1000W |
||||
Პროცესის წნევის მანომეტრის ზომა |
100mtorr |
||||
Ვაკუუმის სისტემა |
Მოლეკულური ტუმბოს ერთეულები, მშრალი ტუმბოს სისტემები, პროცესული კამერა |
||||
Გაჭრის კამერების რაოდენობა |
Ერთი გამოყენების |
||||
Მჭიდროდ |
Ტიპი |
Ზომა/მმ |
Მასალა |
||
N/A |
8, 6, 4, 3, 2 |
||||
Ბოლო წერტილის დეტექტორი |
Ვარიანტი |
||||
Ინდუქციურად დაკავშირებული პლაზმა |
Ვარიანტი |
Გამოჭრილი მასალა |
Si, Sio, Sin, Sau, Pt, Al |
Გაჭრის სიჩქარე |
>20ნმ/წთ (Si02 მასალა) სხვადასხვა მასალების სიჩქარე არ არის ერთნაირი |
Განაწილებული კონტროლი |
>85° |
Ჩატვირთვის მეთოდი |
Ღია ჩატვირთვა |
MFC-ის მიერ კონტროლირებადი გაზის მილსადენი |
Ხუთი გაზის აპარატი ხელმისაწვდომია |
Ჰელიუმის უკანა გვერდის გაგრილების ვარიანტი |
Დიახ |
Ადამიან-მაशინის ინტერფეისი |
Ეკრანის საშუალებით მართვა |
Ოპერაციის რეჟიმი |
Სრულად ავტომატური რეჟიმი, არასრულად ავტომატური რეჟიმი |
Ავტომატური მოწყობილობების არჩევა და კონფიგურაცია |
Შეგიძლიათ აირჩიოთ იმპორტული ან სამშობლო ნაწილები |
Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია