RIE (reikvirk jónaetun) er lykilhugtak fyrir smárávélagerð og örgjörvaiðnað. RIE-tæki krefst loftrása til að virka rétt eins og súrefni, köfnunarefni, samsetning nítríð/hýdríð og sufurhexaflúoríð. Hvert og eitt af þessum loftrásnum hefur sérstakt hlutverk þegar kemur að etun á efnum í smástærri skala.

Verslunarsalan á reikvirku jónaetunartækjum

QTH Að finna góða verð á RIE-tækjum er erfitt, en það eru nokkrar staðir sem hægt er að leita. Besta tækifærið er að leita á ýmsum vefsvæðum fyrir iðnaðartækjum. Vefsíður hafa venjulega fjölda mismunandi seljenda, svo hægt sé að bera saman verð og fá bestu verslanir. Annað frábært valmöguleiki er iðnafyrri. Framleiðendur og kaupendur koma saman og stundum er hægt að finna uppboð á nýjustu RIE-tækni.

Algeng vandamál við reikvirkja jónaetun

Á meðan RIE-útbúnaður er í rekstri geta ýmis algeng vandamál komið upp. Ein stór áhyggja varðar sjálf gösinn. Stundum getur gasstraumur breyst í óreglulegum rítmum, sem leiðir til ójafnvelgs eða ekki jafnvaxins etxunar. Gasjafnvægi slíkra gasa og köfnunarefnis og vetnis getur haft áhrif á hvernig efnið verður etxað. Þetta getur leitt til villna í lokaniðurstöðunni og það vill enginn.

Optimering á reiktiförum etxun undir 95% N2 og 5% H2

Reiktiför etxun (RIE) er gagnleg vinna aðferð við meðhöndlun á efnum í Tæki fyrir virðarverkflæði myndunargosblanda fyrir etxunaraðgerðina, svo sem 95% köfnunarefni og 5% vetnis, til að bæta hlutina. Slík samsetning getur hjálpað til við að mynda hreinar, skarpa mynstur á efnum. Hér er hvernig best er að nýta sér þessa aðferð.

Hvað er sulfurhexaflúoríðgas í reiktiförum etxun

Það eru nokkur mikilvæg kosti við að nota tækja fyrir þykkjupakkning sem áfæðingar loft tegund í reykt hneykslóða etxun. Til dæmis er SF6 alveg frábær að færa efni eins og silikon og silikondíoxíð sem er vítt notað í rafrænni tækni. Það merkir að þegar þú notar súlfurhexaflúoríð geturðu fengið hreinar og nákvæmar mynstur sem krafist er til smár rafrænna hluta.

Hvar á að leita frekari upplýsinga um reykt hneykslóða etxun

Ef þú vilt djúp smella í Setningaraðgerðir endistaka eru margar upplýsingar tiltækar sem geta hjálpað. Fyrst og fremst geturðu leitað á netinu. Þar eru einnig margir vefsíður, formenn og blogg sem fjalla um tæknileg og verkfræðileg efni. Á þessum vettvangi eru yfirleitt greinar sem skrifaðar hafa verið af sérfræðingum á sviði reykt hneykslóða etxunar sem deila sýn og reynslu sinni af aðferðinni.