


Ukuran wafer |
4”~ 8” wafer |
Ketebalan wafer |
100~750 mikron |
Tipe wafer |
Si, SiC, GaN, atau bahan lainnya |
Jenis film |
Film biru, film UV Lebar: 230 ~ 300 mm Panjang: 100 m Tebal: 0.05 ~ 0.2 mm |
Lingkaran pengangkut wafer |
6”, 8” DISCO |
Metode pemuatan dan pembongkaran |
Penempatan dan pengangkatan manual wafer/lingkaran pengangkut |
Ketepatan posisi film |
± 0,5 mm Piring wafer standar 6" dan 8" untuk wafer 6" dan 8" |
Pompa Vakum |
Minder-Hightech |
Kontrol antistatik |
Kipas deionisasi |
Unit kontrol |
Berdasarkan kontrol PLC, dengan layar sentuh 10" |
Perlindungan Keamanan |
Dilengkapi dengan perlindungan kurtain cahaya dan tombol darurat berhenti |
Tegangan catu daya |
Fasa tunggal AC 220V, 16A |
Udara Terkompresi |
0.45~0.6MPa, debit aliran 70L/menit |
Casing mesin |
Casing logam berplastik putih |
Volume |
850mm (lebar)*1750mm (kedalaman)*1970mm (tinggi) |
Berat bersih |
480kg |


Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved