Sistem Etching Ion Reaktif RIE , China Sistem Etching Ion Reaktif RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

Etching ion reaktif (RIE)

Reactive ion etching (RIE) dapat digunakan untuk menyiapkan struktur mikro-nano dan merupakan salah satu teknologi proses manufaktur semikonduktor. Selama proses etching RIE, berbagai partikel aktif dalam plasma membentuk produk volatil dengan permukaan material. Produk-produk ini dihilangkan dari permukaan material, dan akhirnya etching mikrostruktur anisotropik pada permukaan material tercapai. Seri produk reactive ion etcher (RIE) didasarkan pada teknologi plasma kapasitif yang dikopling datar dan cocok untuk etching pola pada material silikon seperti silikon kristal tunggal, silikon polikristalin, nitrida silikon (SiNy), oksida silikon (SiO), kuarsa (Quartz), dan karbida silikon (SiC); dapat digunakan untuk pemotongan pola dan etching de-lapisan material organik seperti resistansi foto (PR), PMMAHDMS, dan material lainnya; dapat digunakan untuk etching fisik pada material logam seperti nikel (Ni), kromium (Cr), dan material keramik; dapat digunakan untuk etching material fosfor indium (InP) pada suhu ruangan. Untuk beberapa etching dengan persyaratan proses yang lebih tinggi, ICP RIE etching kami juga dapat digunakan.

Konfigurasi utama:

1. Ukuran sampel yang didukung: 4, 8, 12 inci, kompatibel dengan berbagai sampel ukuran kecil, mendukung kustomisasi
2. Rentang daya plasma RF: opsional 300/500/1000 W;
3. Pompa molekuler: opsional 620/1300 //s, pompa anti-korosi opsional;
4. Pompa awal: pompa minyak mekanis/pompa kering opsional;
5. Kontrol tekanan: 0 ~1 Torr opsional; konfigurasi mode tanpa kontrol tekanan juga dapat dipilih,
6. Gas proses: hingga 9 gas proses dapat dilengkapi secara bersamaan; suhu: 10 derajat ~ suhu ruangan/-30 derajat ~ suhu ruangan/rentang suhu yang dapat disesuaikan,
7. Pendinginan helium belakang dapat dikonfigurasi sesuai dengan aplikasinya;
8. Lapisan anti-pencemaran yang dapat dilepas;
9. Load-lock opsional;
10. Sistem kontrol satu-tombol otomatis penuh;

Bahan yang Dapat Diterapkan pada RIE:

1. Bahan berbasis silikon: silikon (Si), dioksida silikon (SiO2), nitrida silikon (SiNx), karbida silikon (SiC)
2. Bahan III-V: fosfida indium (InP), arsenida gallium (GaAs), nitrida gallium (GaN)
3. Bahan II-VI: telurida kadmium (CdTe)
4. Bahan magnetik/bahan paduan
5. Bahan logam: aluminium (AI), emas (Au), wolfram (W), titanium (Ti), tantalum (Ta)
6. Bahan organik: photoresist (PR), polimer organik (PMMA/HDMS), org

Aplikasi Terkait RIE:

1. Pengikisan bahan berbasis silikon, pola nanoimprint, pola array dan pola lensa;
2. Pengikisan suhu ruang dari fosforida indium (InP), pengikisan pola perangkat berbasis InP dalam komunikasi optik, termasuk struktur waveguide, struktur resonator cavity, dan struktur ridge;
3. Pengikisan bahan SiC, cocok untuk perangkat mikrogelombang, perangkat daya, dll.;
4. Pengikisan sputtering fisik diterapkan pada logam tertentu, seperti nikel (Ni), kromium (Cr), keramik dan bahan lain yang sulit diikis secara kimia, serta pencapaian pengikisan pola bahan melalui bombardeir fisik;
5. Pengikisan bahan organik diterapkan pada pengikisan, pembersihan dan penghapusan bahan organik seperti photoresist (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polimer;
6. Pengikisan de-lapisan untuk analisis kegagalan chip (Failure Analysis-FA);
7. Pengikisan bahan dua dimensi: bahan dua dimensi W, Mo, graphene;

Hasil Aplikasi：

Konfigurasi proyek dan diagram struktur mesin

Item	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Ukuran Produk	≤6 inci	≤8 inci	≤8 inci
Sumber daya RF	0-300W/500W/1000W Adjustable, cocok otomatis
Pompa Molekuler	-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom			Antiseptik620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Custom
Foreline pompa	Pompa mekanis\/pompa kering			Pompa Kering
Tekanan proses	Tekanan tidak terkendali\/0-1Torr tekanan terkendali
Jenis gas	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Hingga 9 saluran, tanpa gas korosif & toksik)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Hingga 9 saluran)
Rentang gas	0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/custom
LoadLock	Ya/Tidak			Ya
Kontrol tem sampel	10°C~Tem Ruangan/-30°C~100°C/Custom			-30°C~100°C/Custom
Pendinginan helium belakang	Ya/Tidak			Ya
Lapisan rongga proses	Ya/Tidak			Ya
Kontrol tem dinding rongga	Tidak/Tem Ruangan~60/120°C			Tem Ruangan-60/120°C
Sistem Kontrol	Otomatis/kustom
Bahan pengikisan	Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/Al/Au..... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS/Organik lapisan......			Berdasarkan silikon: Si/SiO2/SiNx...... III-V (catatan 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (catatan 3): CdTe...... Bahan magnetik/bahan paduan Bahan logam: Ni/Cr/A1/Au...... Bahan organik: PR/PMMA/HDMS /film organik...

Foto nyata dari Laboratorium dan Pabrik

Packing & Pengiriman

Profil Perusahaan

Minder-Hightech adalah perwakilan penjualan dan layanan di peralatan industri produk semikonduktor dan elektronik. Sejak 2014, perusahaan ini berkomitmen untuk menyediakan pelanggan dengan Solusi Satu Atap yang Lebih Baik, Handal, dan Lengkap untuk peralatan mesin.

FAQ

1. Tentang Harga:
Semua harga kami bersaing dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.

2. Tentang Sampel:
Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin perlu membayar beberapa biaya.

3. Tentang Pembayaran：
Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar uang muka kepada kami terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai mempersiapkan barang. Setelah peralatan siap dan Anda membayar sisa pembayaran, kami akan mengirimkannya.

4. Tentang Pengiriman:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan video penerimaan kepada Anda, dan Anda juga bisa datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyesuaian:
Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirim insinyur untuk memasang dan menyesuaikan peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.

6. Tentang Garansi:
Peralatan kami memiliki periode jaminan selama 12 bulan. Setelah periode jaminan berakhir, jika ada suku cadang yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan memungut harga pokok.

Halaman Utama

Tentang Kami

MH Equipment

Solusi

Pengguna Luar Negeri

Video

Hubungi Kami

Sistem Etching Ion Reaktif RIE

Etching ion reaktif (RIE)

Konfigurasi utama:

Bahan yang Dapat Diterapkan pada RIE:

Aplikasi Terkait RIE:

Lebih Banyak Produk

Serangkaian Mesin Gulungan Kapasitor MD-FS

Serangkaian Mesin Gulungan Kapasitor Otomatis MD-FDS

Serangkaian Mesin Gulungan Kapasitor MD-EFS

Serangkaian Mesin Gulungan Kapasitor Film MD-EDFS

Inquiry

Articles

Products

Get In Touch