Spektroskopis Ellipsometer , China Spektroskopis Ellipsometer Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

Spektroskopis Ellipsometer

Ellipsometer spektral dapat menyelesaikan pengujian otomatis cepat dan multi-titik, serta dapat menguji keseragaman sampel hanya dengan satu klik. Polarizer, analizer, dan kompensator produk masing-masing dilengkapi perangkat penguncian posisi presisi tinggi berkode absolut dengan fungsi kompensasi celah pita, yang meningkatkan akurasi dan stabilitas sistem.

Mengadopsi arsitektur serat ganda untuk meningkatkan efisiensi pengumpulan cahaya, sehingga spektrum yang cukup dapat dikumpulkan dari permukaan poles asam terukir atau permukaan depan piramida konvensional guna pengujian dan analisis. Perangkat ini juga memiliki fungsi dasar seperti fokus otomatis, pemilihan intensitas cahaya, dan kompensasi fasa.

Dirancang untuk analisis sifat optik material dengan presisi tinggi dan efisiensi tinggi. Dapat secara otomatis, cepat, dan akurat mengukur indeks bias, koefisien pemadaman, dan ketebalan film material. Cocok untuk kebutuhan karakterisasi film tipis dan material dalam penelitian ilmiah, semikonduktor, fotovoltaik, pelapisan optik, panel tampilan, dan bidang lainnya.

Objek Pengukuran:

Pelapisan optik: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2, Pi.
Tampilan: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), elektroda(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotovoltaik: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Semikonduktor: Photoresist, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Lainnya: OCD, material 2-D, Van der Waals heterojunction dan perangkat...

Fungsi Produk:

Pengukuran indeks bias: Ukur dengan akurat indeks bias bahan pada berbagai panjang gelombang, memberikan data kunci untuk desain optik dan penelitian bahan.
Pengukuran koefisien pemadaman: Analisis karakteristik penyerapan cahaya bahan untuk membantu mengoptimalkan kinerja perangkat optoelektronik.
Pengukuran ketebalan film: Mendukung deteksi ketebalan film level nanometer hingga mikron dengan resolusi tinggi dan kemampuan pengulangan yang baik.
Pengujian otomatis cepat: Dengan fungsi pemindaian otomatis multi-titik, kecepatan pengukuran mencapai 1 detik/titik, yang secara signifikan meningkatkan efisiensi pengujian massal.

Prinsip pengukuran:

Prinsip pengukuran Elipsometri didasarkan pada perubahan keadaan polarisasi pantulan optik sebelum dan setelah permukaan medium, untuk memperoleh informasi sifat optik dan struktur.

Medan listrik dari sinar masuk diuraikan dalam dua arah tegak lurus, cahaya p sejajar dengan getaran cahaya
gelombang, s cahaya tegak lurus terhadap getaran gelombang cahaya. Amplitudo dan fasa cahaya p dan S akan berubah ketika sinar dipantulkan dari permukaan medium.

Korelasi antara karakteristik fisik medium dan perubahan keadaan polarisasi.

Lingkungan kerja alat：

Daya：220VAC+10%
Suhu ruangan：suhu lingkungan(10-30)℃
Kelembaban relatif: (20-80)%RH

Spektrometer:

Unit deteksi: detektor CCD 2048 piksel dengan backlight cepat
Parameter rinci:
1. rentang spektrum lebih baik dari 350nm-1000nm
2. cahaya silang <0.02%@400nm
3. rasio sinyal-ke-bisingan 4800
4. rentang dinamis 50000:1
5. jalur cahaya holografik
6. resolusi digital 16-bit
7. kecepatan baca >400kHz
8. kecepatan transmisi data 600MB/s
9. waktu integrasi minimum/p langkah penyesuaian 6 us/1us
10. penundaan pemicu eksternal 95ns+/–20ns
11. antarmuka komputer USB4.1C/2.0
12. sistem operasi Win 7/in 8/Win 10
rata-rata QE di wilayah UV CCD belakang terilluminasi, rata-rata QE ≥75% Sistem pendinginan mikro TE pendinginan, suhu setelah pendinginan adalah 30'c
lebih rendah dari suhu lingkungan.
Metode integrasi dikontrol perangkat lunak pengaturan waktu integrasi otomatis, dapat mencapai yang terbaik

Sistem sumber cahaya:

Sumber cahaya lampu halogen dengan bola kuarsa, rentang panjang gelombang 350nm-2000nm, tanpa penurunan umur lebih dari 50000 jam.
Pasokan daya mandiri untuk tegangan lampu halogen 4.9vd

Panggung dengan fungsi fokus otomatis:

Pindahkan sampel ke posisi pengukuran terbaik dengan fungsi fokus otomatisJarak tempuh:100mm
Ketepatan: 0.0005mm Pembatasan lokasi dengan batas positif dan negatif serta sensor posisi nol; posisi awal, posisi akhir, dan panjang langkah fungsi fokus otomatis dapat diatur di perangkat lunak menggunakan metode regresi Gauss; atur waktu integrasi yang ditentukan dan kumpulkan intensitas metode Fokus

Struktur Produk

Spesifikasi

Sistem optik:

Sudut insiden	65°
Deviasi sinar	< 0.3°
Parameter Pengukuran	Psi&Del、TanPsi&CosDel、Alpha&Beta
Polarizer	Glan-Thompson
Bahan	a-BBO
Kompensator	penundaan fasa seperempat-gelombang, hiper akromatik
Pemilihan intensitas	Elemen pemilihan kepadatan optik linear. Menjamin rasio sinyal-ke-bisingan yang baik dalam proses pengukuran, meningkatkan akurasi data, menghindari intensitas cahaya yang terlalu kuat atau terlalu lemah untuk mengurangi rasio sinyal-ke-bisingan dan akurasi
Desain optik	serat ganda mengalirkan cahaya dari lampu ke spektrometer melalui elemen polarisasi; jalur cahaya stabil, mudah mengganti lampu
Serat	pelapisan anti-UV; NA=0.22; bukaan jelas 600um
Titik cahaya mikro	diameter ≤200um, untuk membedakan antara cahaya refleksi berguna dari permukaan depan dan cahaya refleksi tidak berguna dari permukaan bawah, mudah dibongkar
Celah	1 50um, untuk membedakan antara cahaya reflektif yang berguna dari permukaan depan dan cahaya reflektif yang tidak berguna dari bawah permukaan

Tabel pemilihan parameter dasar:

Rentang spektral	350-1000nm	C			Terlihat
		210-1000nm	UC			UV-Visibel
		210-1700nm	Un			UV-Vis-NIR
Kompensator optik	Rc				Kompensator tunggal
Kompensator optik		RC2		C2		Kompensator dual
Rentang spektral	X-Y			M	Stroke besar hingga 230mm
Rentang spektral		X-R			Batang	Diameter besar hingga 300mm

Pengemasan & Pengiriman

Pertanyaan yang Sering Diajukan

1. Tentang Harga:
Semua harga kami bersaing dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.

2. Tentang Sampel:
Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin perlu membayar beberapa biaya.

3. Tentang Pembayaran：
Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar uang muka kepada kami terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai mempersiapkan barang. Setelah peralatan siap dan Anda membayar sisa pembayaran, kami akan mengirimkannya.

4. Tentang Pengiriman:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan video penerimaan kepada Anda, dan Anda juga bisa datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyesuaian:
Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirim insinyur untuk memasang dan menyesuaikan peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.

6. Tentang Garansi:
Peralatan kami memiliki periode jaminan selama 12 bulan. Setelah periode jaminan berakhir, jika ada suku cadang yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan memungut harga pokok.

Halaman Utama

Tentang Kami

Peralatan MH

Solusi

Pengguna Luar Negeri

Video

Hubungi Kami

Spektroskopis Ellipsometer

Spektroskopis Ellipsometer

Objek Pengukuran:

Fungsi Produk:

Prinsip pengukuran:

Lingkungan kerja alat：

Spektrometer:

Sistem sumber cahaya:

Panggung dengan fungsi fokus otomatis:

Produk Lainnya

Peralatan RTP Proses Termal Cepat untuk semikonduktor majemuk SlC LED MEMS

Mounter wafer manual

Sistem Pemrosesan Termal Cepat Desktop / Sistem RTP

Sistem Pemrosesan Termal Cepat dual chamber sepenuhnya otomatis peralatan RTP

Permintaan informasi

Articles

Products

Get In Touch