Mesin Penggerindaan dan Pemolesan Presisi untuk Bahan Semikonduktor , China Mesin Penggerindaan dan Pemolesan Presisi untuk Bahan Semikonduktor Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

Ikhtisar Peralatan:

Mesin penggiling dan pemoles MDAM-CMP100/150 adalah peralatan presisi untuk penggilingan dan pemolesan yang mencakup aplikasi seperti bahan semikonduktor dan bahan optoelektronik. Terutama digunakan untuk penggilingan dan penipisan wafer bahan semikonduktor utama, seperti silikon, silikon dioksida, dan wafer bidang fokus indium antimonida, serta pemolesan mekanis-kimia (CMP) pada bagian bawah, permukaan, dan ujung sisi. Seluruh peralatan dan semua komponennya telah diberi perlakuan anti-korosi secara menyeluruh, serta parameter proses dapat diatur melalui antarmuka interaktif layar sentuh.

Desain ilmiah dan masuk akal, kinerja canggih, tingkat otomatisasi tinggi, pengoperasian yang nyaman, perawatan yang mudah, serta keandalan yang kuat; ikatan substrat sampel, penggerindaan dan penipisan, pemolesan kimia-mekanis, serta keterhubungan antara proses deteksi awal dan akhir dirancang secara wajar guna memastikan konsistensi dimensi pemrosesan untuk setiap fungsi peralatan. Dengan mengonfigurasi perangkat keras dan bahan habis pakai yang berbeda, dapat dicapai berbagai konfigurasi mesin dan solusi proses guna memenuhi berbagai kebutuhan teknis pengguna, seperti bahan dan ukuran yang beragam.

Dengan perkembangan pesat teknologi semikonduktor, persyaratan kinerja dan fungsionalitas dari sirkuit terpadu terus meningkat. Teknologi TSV (Through Silicon Via) dan TGV (Through Glass Via), sebagai teknologi pengemasan dan interkoneksi canggih, dapat secara efektif meningkatkan integrasi dan kinerja chip. Perangkat ini memiliki rencana proses unik untuk menerapkan teknologi TSV/TGV.

Keunggulan peralatan:

* Sistem operasi sentuh mandiri dan dapat dipindahkan;
* Melakukan penggerindaan dan polesan permukaan chip, serta persiapan sudut khusus;
* Dapat menyimpan 100 menu proses;
* Fungsi deteksi titik akhir EPD;
* Opsi peningkatan ke sistem pemberian makan 3-channel;
* Cocok untuk ukuran sampel hingga 6 inci.

Fungsi Peralatan:

Mesin penggerindaan dan poles presisi MDAM-CMP100/150, unit utama dan semua suku cadang dibuat dari bahan yang sangat tahan korosi. Seluruh mesin tahan karat, stabil, tahan aus, dan tahan karat, cocok untuk penggerindaan dan pengkilapan mekanik kimia berbagai bahan semikonduktor. Area ruang kerja dipisahkan dari area kontrol tampilan dan dikontrol secara digital menggunakan sistem kontrol layar sentuh. Mesin ini dikontrol CNC, dapat disimpan, dan dapat diakses kembali.

Sistem perangkat memiliki fungsi pengatur waktu, yang dapat bekerja secara terus-menerus selama 10 jam dan mengontrol kecepatan piringan poles. Panel kontrol ditempatkan di luar area kerja untuk mencegah cairan abrasif menciprat ke panel kontrol. Semua parameter dari unit utama dapat disesuaikan pada layar sentuh. Parameter proses unit utama memiliki fungsi penyimpanan dan pemulihan untuk memastikan konsistensi dan kemampuan ulang proses. Contoh wafer disedot pada permukaan bawah fixture dengan pompa vakum tanpa minyak, dan memiliki fungsi anti-hisap balik yang independen.

Sistem penggerak rotasi horizontal konfigurasi fixture sampel memiliki fungsi ayunan, dengan rentang ayunan yang dapat disesuaikan 0-100%. Amplitudo ayunan dan kecepatan frekuensi dapat diatur secara akurat melalui panel kontrol. Fixture dilengkapi dengan sistem penggerak mandiri untuk rotasi, dengan rentang kecepatan yang dapat disesuaikan 0-120rpm. Desain fungsional ini memastikan penggosokan penuh sampel selama proses penggilingan dan penggosokan, secara signifikan meningkatkan kapasitas dan efisiensi peralatan.

Fixture dilengkapi dengan meja pemantauan ketebalan digital dengan akurasi pemantauan 1 μm. Tekanan fixture pada sampel wafer dapat disesuaikan secara kontinu, dengan rentang tekanan 0-3,5kg dan akurasi 2g/cm², serta dilengkapi dengan alat pengukur tekanan.

Pengoperasian piringan gerinda dan pemoles dikendalikan oleh penggerak utama, dan kecepatan putaran piringan dapat disesuaikan dari 0 hingga 120 putaran per menit. Kisaran variasi kecepatan ini secara efektif menjamin kecepatan penggerindaan dan pemolesan sampel dari bahan dengan kekerasan dan ukuran berbeda, sehingga mencapai indikator proses yang lebih tinggi.

Penggantian cakram penggiling dan cakram pemoles sederhana dan cepat, dengan cakram terpasang yang memungkinkan peralatan beralih secara cepat dari proses penggilingan ke proses pemolesan, sehingga mengurangi waktu proses secara signifikan. Selain itu, cakram penggiling dilengkapi blok perbaikan cakram untuk memastikan cakram penggiling memiliki kerataan yang baik.

Spesifikasi

Model	MDAM-CMP100	MDAM-CMP150
Ukuran wafer	4 inci dan di bawahnya	6 inci dan di bawahnya
Diameter piring kerja	420mm	420mm
Stasiun	≤4	≤2
Pelumas masuk	≤3
Pasokan daya	220V、10A
Pengatur Waktu	0-10h
Suhu lingkungan	20℃~35℃
Kecepatan piring	0-120rpm
Kecepatan tetap	0-120rpm

Komponen sistem pemasangan sampel	Tang, lengan rol
Assemblasi proses pelapisan	Pelat pelapisan, blok perbaikan pelat, dan silinder
Assemblasi proses pengkilapan	Sistem pemberian cairan pengkilap dan pelat pengkilap
Komponen deteksi	Platform patokan uji, pengujipermukaan datar, jangka tekan uji
Paket material penggerindaan dan poles wafer	Bedak penggerindaan, larutan poles, kain poles, lilin, cairan penghilang lilin, lembaran substrat kaca

Pertanyaan yang Sering Diajukan

1. Tentang Harga:
Semua harga kami bersaing dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.

2. Tentang Sampel:
Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin perlu membayar beberapa biaya.

3. Tentang Pembayaran：
Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar uang muka kepada kami terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai menyiapkan barang. Setelah
peralatan siap dan Anda membayar sisa pembayaran, kami akan mengirimkannya.

4. Tentang Pengiriman:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan video penerimaan kepada Anda, dan Anda juga bisa datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyesuaian:
Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirim insinyur untuk memasang dan menyesuaikan peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.

6. Tentang Garansi:
Peralatan kami memiliki periode jaminan selama 12 bulan. Setelah periode jaminan berakhir, jika ada suku cadang yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan memungut harga pokok.