 
  
| Model  | MDTS-WT2200  | 
| Jumlah poros pemipihan  |  2 | 
| Jumlah meja kerja  | 3, Metode indeks  | 
| Poros roda penggilingan  | Jumlah poros udara: 2  Motor poros: motor frekuensi variabel 7.5kW Kecepatan: 0~6000rpm, dapat diatur tanpa tingkat Spesifikasi batu gerinda: Φ203mm Tipe batu gerinda: batu gerinda berlian | 
| Sistem pemberian batu gerinda  | Kuantitas: 2 set  Metode kontrol sistem pemberian: rel panduan LM dan baut ball kombinasi Motor penggerak: motor servo Kecepatan pemberian minimum: 0.1um/sec Kecepatan pemberian maksimum: 50mm/sec | 
| Meja Kerja    | Jumlah: 3, mode indeks  Motor poros utama: Motor servo Kecepatan: 0~300rpm, dapat diatur tanpa tingkat Metode adsorpsi: Adsorpsi vakum | 
| Meja kerja putar  | Mode penggerak: motor servo  Rentang rotasi: 0~240° Bentuk pemosisian: pemosisian bantu sensor | 
| Ketebalan otomatis  sistem pengukuran | Metode pengukuran: pengukuran online waktu-nyata dengan kontak IPG  Jumlah kepala pengukur: 2 Sensor pengukur: sensor tingkat 0.1um | 
| Pemuatan otomatis/  sistem pembongkaran | Tipe kotak: Cassette 6-8inch, 25 lapis  Metode pemuatan/pembongkaran otomatis: manipulator wafer digunakan untuk memastikan wafer tipis diangkut tanpa kerusakan Ketebalan wafer: 150um-1000um | 
| Fungsi pembersihan meja kerja  | Metode pembersihan: Pemolesan Oilstone & pelacakan dua-fluida air DI+udara  | 
| Pembersihan otomatis/  sistem pengeringan | Pembersihan: Pembersihan nozzle air DI  Metode pengeringan: Meniup + mengeringkan Kecepatan: maksimal 1000rpm dapat disesuaikan tanpa langkah | 
| Sistem Penghapusan Statik  | Ion bar atau kipas orion  | 
| Pendingin poros  | Suhu: 18-22°C  Debit aliran: 4~8L/menit | 
| Sistem Kontrol    | Sistem kontrol: Sistem kontrol PC, layar sentuh dengan lampu alarm 3-warna  Antarmuka manusia-mesin Tiongkok/Inggris | 
| Ukuran wafer maksimum  | Maksimum kompatibel dengan ukuran 8 inci  | 
| Rentang kecepatan    | 0~6000 RPM  | 
| Perjalanan sumbu Z  | 160mm    | 
| Kecepatan umpan sumbu-Z  | 0.1~100um/detik  | 
| Kecepatan tarik cepat sumbu-Z  | 50mm/detik  | 
| Resolusi sumbu Z  | 0.1um  | 
| Rentang pengukuran ketebalan online  | 0~1800um  | 
| Resolusi pengukuran ketebalan online  | 0.1um  | 


Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved