Sistem CMP Presisi

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Sistem CMP Presisi

Ikhtisar Peralatan:

Sistem CMP presisi terutama digunakan untuk pengasahan dan perampingan chip semikonduktor utama seperti silikon, dioksida silikon, dan chip bidang fokus antimonida indium, serta pemolesan kimia-mekanis pada bagian bawah, permukaan, dan ujung.

Seluruh mesin dan semua komponen peralatan sepenuhnya tahan korosi, serta parameter proses dapat diatur melalui antarmuka interaktif layar sentuh.

Ukuran sampel yang dapat diproses:

Ukuran sampel ≤152 mm / 6 inci

Ketebalan yang dapat dikerjakan adalah 50 μm hingga 10 mm

Indikator proses yang dapat dicapai:

1. Penyimpangan ketebalan total (TTV) wafer berdiameter φ75 mm berada dalam kisaran 2 μm;

2. Penyimpangan ketebalan total (TTV) wafer berdiameter φ100 mm berada dalam kisaran 3 μm;

3. Penyimpangan ketebalan total (TTV) wafer berdiameter φ150 mm berada dalam kisaran 4 μm.

Jenis sampel yang dapat diproses:

Silikon, silikon karbida, berlian, keramik, galium nitrida, kuarsa, galium antimonida, indium fosfida, galium arsenida, kadmium seng telurida, merkuri kadmium telurida, litium niobat, dan bahan semikonduktor lainnya.

Fitur peralatan:

1. Mewujudkan fungsi deteksi titik akhir untuk mengontrol ketebalan sampel.

2. Fungsi pengendalian suhu dan pendinginan pelat penggosok dan pemoles secara daring (online) dan real-time.

3. Sistem pemberian bahan abrasif multi-saluran.

4. Fungsi pembilasan otomatis pada pelat penggosok dan pemoles.

5. Fungsi perbaikan pelat otomatis.

6. Perlengkapan penjepit dilengkapi meja pemantau ketebalan digital dengan akurasi pemantauan 0,1 μm.

Parameter teknis:

Konfigurasi Perangkat:

Pertanyaan yang Sering Diajukan

1. Tentang Harga:

Semua harga kami bersaing dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.

2. Tentang Sampel:

Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin perlu membayar beberapa biaya.

3. Tentang Pembayaran:

Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar uang muka kepada kami terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai mempersiapkan barang. Setelah peralatan siap dan Anda membayar sisa pembayaran, kami akan mengirimkannya.

4. Tentang Pengiriman:

Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan video penerimaan kepada Anda, dan Anda juga bisa datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyesuaian:

Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirim insinyur untuk memasang dan menyesuaikan peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.

6. Tentang Garansi:

Peralatan kami memiliki periode jaminan selama 12 bulan. Setelah periode jaminan berakhir, jika ada suku cadang yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan memungut harga pokok.

7. Layanan Purna Jual:

Semua mesin memiliki masa garansi lebih dari satu tahun. Insinyur teknis kami selalu siap membantu untuk memberikan layanan pemasangan, pengaturan, dan pemeliharaan peralatan kepada Anda. Kami juga dapat menyediakan layanan pemasangan dan pengaturan di lokasi untuk peralatan khusus dan besar.