
Panjang gelombang tengah sumber cahaya UV |
405nm |
Keseragaman eksposur |
Lebih dari 90% |
Lebar garis fitur minimum |
0,5um |
Luas eksposur bidang penulisan satu kali jalan |
0,16*0,16mm (@0,5um) |
Kecepatan penulisan |
80 mm²/min (lebar garis fitur 1um) |
Format gambar yang didukung |
DXF, GDS, bmp, png, dll. |
Konfigurasi |
Versi Dasar |
Versi profesional |
|
Sumber cahaya |
LED berdaya tinggi: 405nm |
||
Chip DMD |
DLP6500 |
||
Luas eksposur satu bidang |
0,16*0,16mm (@0,5um), 0,4*0,4mm (@0,7um), 0,8*0,8mm (@1um), 1,6*1,6mm (@2um) |
||
Kamera |
Kamera mikroskop area luas (mendukung pengukuran ukuran) |
||
Lebar garis ekuidistan minimum |
0.8 µm |
0.5μm |
|
Kesakitan penyambungan |
±0,3 µm |
±0,3μm |
|
Akurasi tumpang tindih |
±0,5 µm |
±0,5μm |
|
Kecepatan penulisan |
20 mm²/min (lebar garis fitur 1 µm) |
80 mm²/min (lebar garis fitur 1μm) |
|
Tahap gerak |
Motor linier presisi tinggi (akurasi posisi berulang ±0,25µm), mekanisme perataan, tahap putar manual |
Motor linier presisi tinggi (akurasi pengaturan posisi berulang ±0,25µm), mekanisme perataan, tahap putar elektrik |
|
Pengganti lensa objektif |
Penggantian lensa objektif manual |
Penggantian lensa objektif bermotor |
|
Modul fokus |
Autofokus gambar CCD |
Fokus aktif laser |
|
Ukuran wafer yang didukung |
4 inci |
4-inch/8-inch |
|
Ketebalan sampel |
0-10mm |
0-10 mm |
|















Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved