Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Minta Penawaran

Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Halaman Utama
Tentang Kami
Peralatan MH
Solusi
Pengguna Luar Negeri
Video
Hubungi Kami
Beranda> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Mesin etching ICP otomatis penuh
  • MDICP-5000F Mesin etching ICP otomatis penuh
  • MDICP-5000F Mesin etching ICP otomatis penuh
  • MDICP-5000F Mesin etching ICP otomatis penuh

MDICP-5000F Mesin etching ICP otomatis penuh

Model: MDICP-5000F

Dapatkan Penawaran Gratis
MDICP-5000F Mesin etching ICP otomatis penuh
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Ringkasan Eksekutif:

Peralatan ini adalah sistem vakum dua kamar. Satu kamar adalah kamar penyampelan injeksi dan yang lainnya adalah kamar etching. Kunci vakum terpasang di antara kamar penyampelan injeksi dan kamar etching, dan penyampelan injeksi diangkut oleh manipulator.
Perangkat ini terutama terdiri dari sistem vakum, sistem sirkuit gas, sistem listrik, sistem kontrol, sistem pendinginan, mekanisme pemberian dan pengambilan film, sistem alarm, dll.

Sistem Vakum:

Sistem ini terdiri dari pompa molekuler dengan kecepatan penyedotan 600 L/detik + pompa vakum kering impor dengan kecepatan penyedotan L/detik untuk memompa ruang etching ke vakum tinggi. Katup tekanan dinamis listrik dipasang di antara pompa molekuler dan ruang etching. Pompa kering impor adalah pompa pra-penyedotan untuk ruang etching dan pompa tahap awal untuk pompa molekuler. Gunakan pompa mekanis lain dengan kecepatan penyedotan L/detik untuk membuat vakum pada ruang sampel. Bellow stainless steel digunakan untuk koneksi antara pompa mekanis dan ruang vakum serta pompa molekuler, dan katup blok pneumatik elektromagnetik dipasang.

Sistem kontrol tekanan konstan

Perangkat dilengkapi dengan sistem kontrol tekanan konstan downstream, dan katup penyesuaian listrik dipasang di saluran penghisapan udara. Melalui pengukuran jembatan film (komponen impor), katup penyesuaian dikendalikan untuk membuat ruang vakum mencapai tekanan konstan, sehingga meningkatkan stabilitas proses.

Sistem kontrol tekanan konstan

Perangkat dilengkapi dengan sistem kontrol tekanan konstan downstream, dan katup penyesuaian listrik dipasang di saluran penghisapan udara. Melalui pengukuran jembatan film (komponen impor), katup penyesuaian dikendalikan untuk membuat ruang vakum mencapai tekanan konstan, sehingga meningkatkan stabilitas proses.

Sistem sirkuit gas

Dua set suplai daya RF dengan pencocokan otomatis.

Sistem alarm

Persyaratan keamanan untuk peralatan.
Spesifikasi
Nama
RSP
Merek
Nomor.\/Set
Catatan
Kamar etching, saluran penghisapan udara, jendela pengamatan, antarmuka cadangan, dll
Standar
JSWN
1
Tahan korosi
Bingkai, kabinet listrik, segel, bagian standar, dll
Standar
JSWN
1
Sistem pengangkatan penutup kamar etching
Standar
JSWN
1
Tahan korosi
Elektroda pengikisan dan sistem pendingin
Standar
JSWN
1
Tahan korosi
Pompa molekuler (kecepatan pompa 600 L/detik)
FF620/150
KYKY
1
Tahan korosi
Pompa kering inlet (kecepatan pompa 9 L/detik)
XDS-35I
Edwards
1
Tahan korosi
Pompa mekanis (kecepatan pompa 9 L/detik)
TRP-36
BWVAC
1
Klep gerbang pengatur listrik
DCQ-150
JSWN
1
Tahan korosi
Kran pneumatik bertipe kantong udara
KF40
JSWN
3
Tahan korosi
Gauge film
KF16
INFICON
1
Tahan korosi
Kontrol aliran massa
D07
Sevenstar
4
Tahan korosi
Katup diafragma pneumatik
1/4" VCR
-
4
Tahan korosi
Pipa stainless steel, sambungan pipa, dll
1/4" VCR
-
4
Tahan korosi
Pasokan daya RF / pencocok otomatis
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Pasokan daya RF / pencocok otomatis
-
China(OptionalCROWN1310)
1
Gauge vakum komposit
ZDF
RB
1
IPC
2U
Tiongkok
1
Layar sentuh LCD
17 inci
Tiongkok
1
Sistem kontrol plc
S7-200
Siemens
1
Sistem kontrol penggerak listrik
Standar
JSWN
1
Pendeteksi dan sistem pipa air pendingin
Standar
JSWN
1
Pendeteksi dan sistem pipa udara terkompresi
Standar
JSWN
1
Mesin pendingin air sirkulasi
Hx
Tiongkok
1
Kamar injeksi pengikisan
Standar
JSWN
1
Kunci vakum
SMC
SMC
1
Sistem kontrol manipulator
SMC
SMC
1

Parameter teknis surat

1. Vakum batas: Kamar pengikisan 9.0×10-5Pa (Kelembapan ruangan≤55%)
Kamar sampel injeksi 6.0×10-1Pa
2. Bahan pengikisan: Material Ⅲ、Ⅴ, Si, SiO2, dll
3. Tingkat pengikisan: ~ 1μ/menit
4. Keseragaman pengikisan: ≤±5％(rentang φ125mm)
6. Ukuran elektroda: φ200mm

Pertanyaan yang Sering Diajukan

1. Tentang Harga:

Semua harga kami bersaing dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.

 

2. Tentang Sampel:

Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin perlu membayar beberapa biaya.

 

3. Tentang Pembayaran:

Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar uang muka kepada kami terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai mempersiapkan barang. Setelah peralatan siap dan Anda membayar sisa pembayaran, kami akan mengirimkannya.

 

4. Tentang Pengiriman:

Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan video penerimaan kepada Anda, dan Anda juga bisa datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

 

5. Pemasangan dan Penyesuaian:

Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirim insinyur untuk memasang dan menyesuaikan peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.

 

6. Tentang Garansi:

Peralatan kami memiliki periode jaminan selama 12 bulan. Setelah periode jaminan berakhir, jika ada suku cadang yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan memungut harga pokok.

 

7. Layanan Purna Jual:

Semua mesin memiliki masa garansi lebih dari satu tahun. Insinyur teknis kami selalu siap membantu untuk memberikan layanan pemasangan, pengaturan, dan pemeliharaan peralatan kepada Anda. Kami juga dapat menyediakan layanan pemasangan dan pengaturan di lokasi untuk peralatan khusus dan besar.

Produk Lainnya

Permintaan informasi

Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Kebijakan Privasi

Permintaan informasi Email Whatsapp WeChat
Teratas
×

Hubungi Kami