Fitur Peralatan
1. Peralatan ini dirancang khusus untuk pemangkasan wafer semikonduktor kelas atas menggunakan laser.
2. Dilengkapi laser yang diimpor dari Amerika Serikat, sehingga memberikan stabilitas luar biasa selama proses pemangkasan dengan laser.
3. Menggunakan meja linear motor XY berpresisi tinggi dengan sistem anti-gangguan dan skala kisi (grating scale), yang secara efektif mengurangi gangguan akibat mesin terhadap produk.
4. Dilengkapi kamera CCD beresolusi 12 megapiksel untuk penentuan posisi yang presisi.
5. Menggunakan teknologi pencitraan akromatik serta kemampuan pengenalan citra untuk penentuan posisi.
6. Dilengkapi antarmuka eksternal seperti GPIB dan lainnya untuk menghubungkan instrumen eksternal guna pengukuran atau penyesuaian resistansi.
7. Basis marmer menjamin stabilitas mesin yang sangat baik.
Parameter Teknis
Model |
MDSG-LT74 |
Panjang Gelombang Laser |
1064/355 nm |
Kekuatan laser |
6 W/4 W |
Ukuran Titik Fokus Khas |
25-35mikrometer |
Metode Fokus |
Otomatis, dikendalikan melalui program komputer. |
Metode Pendinginan |
Pendingin udara |
Rentang Pergerakan Sinar Laser |
27 mm × 27 mm |
Resolusi Gerakan |
0.76mikrometer |
Ketepatan pengulangan posisi |
±2,5 µm |
Moda Pergerakan |
Motor Linier Pengukur Kisi Anti-Gangguan |
Rentang Gerak) |
300 mm × 300 mm |
Ketepatan pengulangan posisi |
±1 µm |
Metode Pengukuran Resistansi |
pengukuran 4-kawat |
Akurasi Pengukuran Resistansi |
±0,02% (resistansi sedang) |
Rentang Pengukuran Resistansi |
0.1ω–50 MΩ |
Kecepatan pengukuran |
4 µs/pengukuran |
Koreksi Galat Nol dan Skala Penuh |
Koreksi otomatis |
Definisi Probe |
Pengaturan sembarang yang dapat diprogram |
Antarmuka |
GPIB |
Dimensi Peralatan |
1430 x 913 x 1747 mm |
Berat |
617 kg |
Kondisi Pengoperasian (Air, Listrik, Gas) |
Kelembapan: <70%; Suplai daya: AC 220 V 2,5 kW; Udara bertekanan: <0,6 MPa, <40 L/menit |
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved