Model: MDST-6100
Alat penghilangan lapisan plasma kering ICP cocok untuk aplikasi seperti penghilangan sisa residu (perlakuan awal dan penghilangan residu), penghilangan polimer (PI, BCB, PBO), serta penghilangan resist foto pasca-implan ion; ruang proses mampu menampung sampel berukuran 8 inci (dengan kompatibilitas untuk ukuran 4 inci dan 6 inci).
Pelepas Resist Foto Plasma Kering ICP
Alat penghilangan lapisan plasma kering ICP cocok untuk aplikasi seperti penghilangan sisa residu (perlakuan awal dan penghilangan residu), penghilangan polimer (PI, BCB, PBO), serta penghilangan resist foto pasca-implan ion; ruang proses mampu menampung sampel berukuran 8 inci (dengan kompatibilitas untuk ukuran 4 inci dan 6 inci).
Tampilan peralatan dapat mengalami peningkatan dan penyesuaian berkelanjutan; produk yang dikirimkan secara aktual berlaku.
Keunggulan:
Tingkat ionisasi plasma dan dekomposisi yang tinggi
Setelah perlakuan plasma, reproduksibilitasnya tinggi
Etsa kering, tanpa sumber polusi
Mengontrol tekanan dan suhu melalui katup kupu-kupu
Dapat mempertahankan plasma pada tekanan tinggi
Pemisahan Sumber Tegangan Tinggi dan Generator Ion
Sambungan gelombang mikro dan sirkuit magnetik kompatibel
Dapat memenuhi kebutuhan pelanggan
Suhu rendah selama proses
Kecepatan respons cepat dan waktu respons singkat
Model |
MDST6100 |
Sumber plasma |
radio Frequency |
daya |
1000W |
Ruang Lingkup Penerapan |
8 inci (kompatibel dengan 4 atau 6 inci) |
Ukuran kotak |
25 buah |
Dimensi keseluruhan |
P1696xL2170xT2146 mm |
Kontrol sistem |
PLC |
Sistem kotak bahan |
Otomatis |
Foto aktual peralatan:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Hak Cipta © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Hak Cipta Dilindungi Undang-Undang
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
