Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan presisi tinggi , China Proses Chemical Mechanical Planarization CMP dengan presisi tinggi Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

Presisi Tinggi Perangkat Penyamakan Kimia Mekanis (CMP)

Perangkat CMP presisi mencapai penghilangan efisien material berlebih pada permukaan wafer dan penyamakan global skala nanometer melalui efek sinergistik dari korosi kimia dan penggilingan mekanis.

Mesin poles kimia multifungsi, dirancang khusus untuk aplikasi CMP dan poles lapisan yang memerlukan akurasi geometris ketat dan kualitas permukaan, dapat mencapai tingkat Ra sub-nanometer.

Perangkat ini dapat melakukan penggerindaan presisi pada tingkat nanometer untuk cetakan individu, serta penggerindaan lembaran tipis dengan diameter hingga 8 inci. Selain itu, juga dapat digunakan dalam aplikasi penggerindaan non-tradisional seperti penggerindaan substrat keras, persiapan permukaan Epi, dan peningkatan daur ulang chip.

Untuk menyesuaikan mesin seri CDP dengan berbagai bahan dan kebutuhan proses, teknisi menyesuaikan dan merancang template penggerindaan sesuai dengan persyaratan teknis pengguna agar memenuhi persyaratan proses CMP secara akurat. Gambar di sebelah kiri menunjukkan jangkauan wafer tunggal dengan diameter 8 inci.

Untuk memastikan pengukuran dan kontrol yang tepat dari wafer atau perangkat yang digerinda pada mesin CDP, kami telah mengembangkan sistem EPD, yang program grafik pemindaian CDP yang dirancang khusus dapat dijalankan di laptop. Program ini memantau dan menggambarkan proses penggerindaan secara grafis, dan secara otomatis berhenti begitu titik akhir tercapai.

Mencegah penggosokan berlebih. Pemindaian CDP juga dapat digunakan sebagai fitur keamanan. Jika perubahan pada parameter proses yang dimonitor terdeteksi, CDP Scan akan memicu alarm suara untuk membantu mencegah penggosokan berlebih. Contoh dalam hal ini termasuk mengubah kecepatan carrier dari nilai preset-nya. Sistem EPD akan memperhatikan situasi ini karena tingkat gesekan antara pad dan material yang digosok akan berubah akibat perubahan kecepatan carrier, yang dapat mengancam proses planarisasi wafer/C yang berhasil. Pada titik ini, sistem EPD akan memicu alarm suara sebelum melepas fixture dari permukaan pad, atau dapat diatur untuk shutdown otomatis.

Sistem ACP dapat digunakan dengan lebih baik dalam berbagai aplikasi, dan grafik menunjukkan hasil uji proses CMP untuk oksida silikon, tembaga, nitrida silikon, almunium tembaga, germanium silikon, dan wolfram.
Grafik menunjukkan bahwa setelah proses CMP, WTWNU dapat mencapai 2,82%.

Aplikasi

Planarisasi wafer silikon
Planarisasi senyawa II-V
Pemipihan oksida
Penyamakan substrat bahan inframerah
Pemipihan substrat sapphire, gallium nitride, dan silicon carbide, pemipihan substrat EPI
Penebalan wafer SOS dan SOI hingga di bawah 20 mikron
Rekayasa terbalik berjenjang atau aplikasi FA

Spesifikasi

Pasokan daya	220v 10A
Ukuran wafer	4”/100mm 6”/150mm 8”/200mm 12”/300mm
Diameter piringan kerja	520mm、780mm
Kecepatan piringan kerja	0-120rpm
Kecepatan fixture	0-120rpm
Frekuensi ayunan fixture	0-30spm
Tekanan belakang wafer	0-150psi
Tekanan pada titik pusat wafer	0-50psi
Waktu Terjadwal	0-10 h
Kanal Pemberian	≥2
Kecepatan umpan	0-150ml/menit

Pengemasan & Pengiriman

Profil Perusahaan

Minder-Hightech adalah perwakilan penjualan dan layanan di peralatan industri produk semikonduktor dan elektronik. Sejak 2014, perusahaan ini berkomitmen untuk menyediakan pelanggan dengan Solusi Satu Atap yang Lebih Baik, Handal, dan Lengkap untuk peralatan mesin.

Pertanyaan yang Sering Diajukan

1. Tentang Harga:
Semua harga kami bersaing dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.

2. Tentang Sampel:
Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin perlu membayar beberapa biaya.

3. Tentang Pembayaran：
Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar uang muka kepada kami terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai menyiapkan barang. Setelah
peralatan siap dan Anda membayar sisa pembayaran, kami akan mengirimkannya.

4. Tentang Pengiriman:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan video penerimaan kepada Anda, dan Anda juga bisa datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyesuaian:
Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirim insinyur untuk memasang dan menyesuaikan peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.

6. Tentang Garansi:
Peralatan kami memiliki periode jaminan selama 12 bulan. Setelah periode jaminan berakhir, jika ada suku cadang yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan memungut harga pokok.