Mesin Pelapisan dan Pengembangan Otomatis , China Mesin Pelapisan dan Pengembangan Otomatis Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

MDLB-ASD2C2D Mesin Pelapisan dan Pengembangan Otomatis

Perangkat ini menggunakan rangka stainless steel, dan lembaran logam dalam dan luar terbuat dari panel cermin stainless steel. Bagian bawah perangkat dilengkapi dengan roda kastor omnidirectional dan fungsi penyesuaian horizontal. Menara sinyal 3-warna dengan buzzer terpasang di bagian atas. Bagian atas perangkat adalah sistem kontrol dan FFU, bagian tengah adalah unit proses, dan bagian bawah adalah sistem pipa kimia. Semua bagian yang secara langsung bersentuhan dengan bahan kimia terbuat dari material tahan korosi, seperti SUS304, PP, PTFE, dll. Pipa pneumatik terbuat dari pipa PU, dan pipa kimia terbuat dari pipa PFA tahan korosi. Antarmuka operasi manusia-mesin dari perangkat ini adalah layar sentuh berukuran 17 inci, yang dapat mencapai fungsi seperti mengoperasikan perangkat, menyetel formula, dan mencari log. Unit SPIN dan kamar proses lainnya dilengkapi dengan.
Lampu kuning untuk pemeliharaan peralatan yang mudah. Tampilan peralatan ditunjukkan pada Gambar 1.1.1, dan tata letak peralatan ditunjukkan pada Gambar 1.1.2.

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine supplier

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine details

Spesifikasi

	proyek	Spesifikasi	catatan
1	Ikhtisar Peralatan	Nama peralatan: Mesin pengembangan lem otomatis penuh
				Model peralatan: MD-2C2D6
				Spesifikasi wafer pemrosesan: kompatibel dengan wafer standar berukuran 4/6 inci
				Alur proses lem seragam: Pemotongan keranjang bunga → pemusatkan → lem seragam (tetesan → lem seragam → penghapusan tepi, belakang pencucian) → pelat panas → pelat dingin → penempatan keranjang Alur proses pengembangan: Pemotongan keranjang bunga → pemusatkan → pengembangan (cairan pengembang → air deionisasi, pencucian belakang → pengeringan nitrogen) → pelat panas → pelat dingin → penempatan keranjang
				Ukuran keseluruhan (kurang lebih): 2100mm (L) * 1800mm (D) * 2100mm (T)
				Ukuran lemari kimia (kurang lebih): 1700(L) * 800(D) * 1600mm (T)
				Berat total (kurang lebih): 1000kg
				Tinggi meja kerja: 1020 ± 50mm
2	Unit kaset	Jumlah: 2
				Ukuran kompatibel: 4/6 inci
				Pendeteksian kaset: pendeteksian mikroswitch
				Pendeteksian tarik keluar: Ya, sensor reflektif
3	robot	Kuantitas: 1
				Tipe: Robot adsorpsi vakum lengan ganda
				Derajat kebebasan: 4- sumbu (R1, R2, Z, T)
				Bahan jari: keramik
				Metode pemasangan substrat: metode adsorpsi vakum
				Fungsi pemetaan: Ya
				Ketepatan posisi: ± 0,1mm
4	Unit penjajaran	Jumlah: 1 set	Penjajaran optik opsional
					Metode penjajaran: penjajaran mekanis
					Ketepatan penjajaran: ± 0,2mm
5	Unit lem seragam	Kuantitas: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit)
				Kecepatan rotasi poros: -5000rpm~5000rpm	rol pengangkut
				Ketepatan rotasi poros: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
				Penyesuaian minimum kecepatan rotasi poros: 1rpm
				Percepatan maksimum rotasi poros: 20000rpm/s	rol pengangkut
				Lengan tetesan: 1 set
				Rute tabung photoresist: 2 jalur
				Diameter nozzle photoresist: 2.5mm
				Insulasi photoresist: 23 ± 0.5 ℃	opsional
				Nozzle pelembap: Ya
				RRC: Ya
				Buffer: Ya, 200ml
				Metode pemberian lem: penjatuh pusat dan pemindaian penjatuh adalah opsional
				Lengan penghilang tepi: 1 set
				Diameter nozzle penghilang tepi: 0,2mm
				Pemantauan aliran cairan penghilang tepi: flowmeter apung
				Rentang aliran cairan penghilang tepi: 5-50ml/menit
				Saluran pencucian balik: 2 cara (masing-masing 4/6 inci dengan 1 saluran)
				Pemantauan aliran pencucian balik: flowmeter apung
				Rentang aliran cairan pencucian balik: 20-200ml/menit
				Metode pemasangan chip: iklas vakum area kecil
				Alarm tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital
				Bahan Chuck: PPS
				Bahan cangkir: PP
				Pemantauan buang cangkir: sensor tekanan digital
6	Unit pengembangan	Tutupan: ya
				Kuantitas: 2 set (berikut adalah konfigurasi untuk setiap unit)
				Kecepatan rotasi poros: -5000rpm~5000rpm	rol pengangkut
				Ketepatan rotasi poros: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
				Penyesuaian minimum kecepatan rotasi poros: 1rpm
				Percepatan maksimum rotasi poros: 20000rpm/s	rol pengangkut
				Lengan pengembangan: 1 set
				Saluran pengembangan: 2-arah (nozzle berbentuk kipas/pilar)
				Filtrasi pengembang: 0.2um
				Kontrol suhu pengembang: 23 ± 0.5 ℃	opsional
				Rentang aliran solusi pengembangan: 100~1000ml/menit
				Mode gerakan lengan pengembangan: titik tetap atau pemindaian
				Lengan pemanasan: 1 set
				Pipa air deionisasi: 1 sirkuit
				Diameter nozzle air deionisasi: 4mm (diameter dalam)
				Rentang aliran air deionisasi: 100~1000ml/menit
				Pipa pengeringan nitrogen: 1 sirkuit
				Diameter nozzle nitrogen: 4mm (diameter dalam)
				Rentang aliran nitrogen: 5-50L/menit
				Pemantauan aliran pengembang, air deionisasi, nitrogen: flowmeter apung
				Saluran pencucian balik: 2 cara (masing-masing 4/6 inci dengan 1 saluran)
				Pemantauan aliran pencucian balik: flowmeter apung
				Rentang aliran cairan pencucian balik: 20-200ml/menit
				Metode pemasangan chip: iklas vakum area kecil
				Alarm tekanan vakum: sensor tekanan vakum digital
				Bahan Chuck: PPS
				Bahan Chuck: PPS
				Bahan cangkir: PP
				Pemantauan buang cangkir: sensor tekanan digital
7	Unit perekat	Jumlah: 2	opsional
				Rentang suhu: suhu ruangan~180 ℃
				Keseragaman suhu: Suhu ruangan~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Hilangkan 10mm dari tepi, kecuali lubang pin pengeluarkan)
				Jumlah penyesuaian minimum: 0.1 ° C
				Metode kontrol suhu: Penyesuaian PID
				Rentang tinggi PIN: 0-20mm
				Bahan PIN: badan SUS304, tutup pin PIN PI
				Jarak pemanggangan: 0.2mm
				Alarm suhu tinggi: alarm deviasi positif dan negatif
				Metode pasokan: Pembusaan, 10 ± 2ml/menit
				Vakum operasi kamar: -5-20KPa
8	Unit papan panas	Jumlah: 10
				Rentang suhu: suhu ruangan~250 ℃
				Keseragaman suhu: Suhu ruangan~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Hilangkan 10mm dari tepi, kecuali lubang pin pengeluarkan)
				Jumlah penyesuaian minimum: 0.1 ℃
				Metode kontrol suhu: Penyesuaian PID
				Rentang tinggi PIN: 0-20mm
				Bahan PIN: badan SUS304, tutup pin PIN PI
				Jarak pemanggangan: 0.2mm
				Alarm suhu tinggi: alarm deviasi positif dan negatif
9	Unit papan dingin	Jumlah: 2
				Rentang suhu: 15-25 ℃
				Metode pendinginan: pendinginan pompa sirkulasi suhu konstan
10	Pasokan Kimia	Penyimpanan Photoresist: pompa lem pneumatik * 4 set (Tangki opsional atau pompa lem listrik)
				Volume pemberian lem: maksimum 12ml per sesi, akurasi ± 0.2ml
				Penghapusan tepi/pencucian belakang/pasokan RRC: tangki tekanan 18L * 2 (pengisian ulang otomatis)
				Pemantauan tingkat cairan penghapusan tepi/pencucian belakang/RRC: sensor fotoelektrik
				Pemantauan tingkat cairan photoresist: sensor fotoelektrik
				Pengeluaran limbah adhesif seragam: tangki limbah 10L
				Pasokan pengembang: tangki tekanan 18L * 4 (Disimpan di kabinet kimia luar mesin)
				Pasokan air ultra murni: pasokan langsung dari pabrik
				Pengembangan pemantauan tingkat cairan: sensor fotoelektrik
				Pengelolaan pembuangan limbah: pembuangan limbah pabrik
				Pasokan tackifier: tangki tekanan 10L * 1, tangki tekanan 2L * 1
				Pemantauan tingkat tackifier: sensor fotoelektrik
11	sistem Kontrol	Metode kontrol: PLC
				Antarmuka operasi manusia-mesin: layar sentuh 17 inci
				Sistem Persediaan Daya Tanpa Putus (UPS): Ya
				Atur izin enkripsi untuk operator perangkat, teknisi, administrator
				Tipe menara sinyal: merah, kuning, hijau 3 warna
12	Indikator keandalan sistem	Waktu aktif: ≥95%
				MTBF: ≥ 500h
				MTTR: ≤ 4h
				MTBA: ≥24h
				Tingkat fragmentasi: ≤ 1/10000
13	Fungsi lainnya	Lampu kuning: 4 set (posisi: di atas unit pencampuran lem dan pengembangan)
				THC: Ya, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%	opsional
				FFU: Kelas 100, 5 set (area unit proses dan ROBOT)