Terdiri dari catu daya ion, sistem vakum, sistem pengisian gas, sistem kontrol otomatis, dan komponen lainnya. Prinsip dasar kerjanya adalah bahwa dalam kondisi vakum, plasma dapat mengionisasi gas secara terkendali dan berkualitas. Pompa vakum digunakan untuk menghisap ruang kerja hingga mencapai tekanan vakum 10–40 Pa, kemudian gas diionisasi di bawah pengaruh generator frekuensi tinggi, membentuk plasma (wujud keempat materi). Ciri khasnya adalah keseragaman tinggi dari pelepasan cahaya bercahaya (glow discharge), di mana warna cahaya tampak yang dipancarkan berbeda-beda tergantung jenis gas, mulai dari biru hingga ungu tua. Suhu pemrosesan material mendekati suhu kamar. Partikel-partikel sangat aktif ini berinteraksi dengan permukaan yang diperlakukan guna memperoleh berbagai modifikasi permukaan, seperti peningkatan hidrofilisitas permukaan, sifat anti-air, gesekan rendah, pembersihan tinggi, aktivasi, serta etsa.
Keunggulan Perlakuan Plasma: 1. Teknologi perlindungan lingkungan: Proses aksi plasma merupakan reaksi koheren fasa gas-padat, yang tidak mengonsumsi sumber daya air, tidak memerlukan penambahan bahan kimia, serta tidak mencemari lingkungan. 2. Serbaguna: dapat memproses berbagai jenis substrat, seperti logam, semikonduktor, oksida, dan sebagian besar bahan polimer; 3. Suhu rendah: mendekati suhu kamar, terutama cocok untuk bahan polimer, masa penyimpanan lebih lama, dan tegangan permukaan lebih tinggi dibandingkan metode korona dan nyala api. 4. Fungsi kuat: hanya melibatkan lapisan permukaan dangkal bahan polimer (10–1000 Å), sehingga mampu memberikan satu atau beberapa fungsi baru tanpa mengubah karakteristik asli bahan tersebut; 5. Biaya rendah: perangkatnya sederhana, mudah dioperasikan dan dirawat, serta dapat dioperasikan secara kontinu. Sering kali hanya beberapa botol gas dapat menggantikan ribuan kilogram cairan pembersih, sehingga biaya pembersihan jauh lebih rendah dibandingkan pembersihan basah. 6. Proses terkendali secara menyeluruh
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA



























