Mesin Eching Reaksi Deposit Material Eching Ion RIE , China Mesin Eching Reaksi Deposit Material Eching Ion RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Deskripsi Produk

RIE Reaction Ion Etching Machine

Aplikasi penelitian mesin reactive ion etching (RIE) dalam bidang manufaktur semikonduktor dan pengolahan mikro-nano terutama terlihat pada pengolahan struktur berskala nano, pengukiran bahan baru, pembuatan perangkat kompleks, serta terobosan dalam teknologi interdisipliner. Nilai intinya terletak pada pencapaian penghilangan material dengan ketelitian tinggi dan selektivitas tinggi melalui pengendalian terkoordinasi antara bom fisika dan reaksi kimia. Mendukung eksplorasi teknologi semikonduktor mutakhir dan inovasi perangkat.

Fitur peralatan:

1. Ketelitian dan anisotropi tinggi: Mampu mengukir pola dengan dinding samping tegak dan dimensi yang tepat.
2. Keseragaman dan pengulangan yang baik: Cocok untuk produksi skala besar.
3. Aplikasi material yang luas: Dengan memilih kombinasi gas yang berbeda, berbagai material (semikonduktor, dielektrik, logam, dll.) dapat di-etch.
4. Rasio selektivitas tinggi: Dapat melakukan etching secara presisi pada material tertentu tanpa menyebabkan kerusakan signifikan pada material lainnya.
5. Pembersihan: Proses kering, menghindari masalah seperti pembersihan dan penanganan limbah cair yang disebabkan oleh wet etching.

Spesifikasi

Konfigurasi Sistem:

Pemanas Listrik	Kamar (Single cavity)
Pemanas Listrik		N/A
Jenis elektroda bawah	242mm
Rentang Suhu Proses	-20-100°C
Sumber plasma	600W-1000W
Ukuran pengukur tekanan proses	100mtorr
Sistem vakum	Unit pompa molekuler, sistem pompa kering, ruang proses
Jumlah ruang etsa	Lubang tunggal
Klem	TIPE	Ukuran/mm	Bahan
Klem		N/A	8、6、4、3、2
Detektor titik akhir	Opsi
Plasma terkopel induktif	Opsi

Parameter Teknis:

Bahan pengikisan	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Laju etsa	>20nm/menit (bahan Si02), laju bahan yang berbeda tidak sama
Kontrol terdistribusi	>85°
Metode pengisian	Muatan terbuka
Pipa gas dikendalikan oleh MFC	Tersedia enam tangki gas
Opsi pendingin belakang helium	Ya
Antarmuka manusia-mesin	Operasi layar sentuh
Mode Operasi	Mode otomatis penuh, mode tidak otomatis penuh
Pemilihan dan konfigurasi perangkat otomatis	Anda dapat memilih antara suku cadang impor atau domestik

Kasus Aplikasi

Packing & Pengiriman

Profil Perusahaan

Sejak 2014, Minder-Hightech adalah perwakilan penjualan dan layanan di industri peralatan produk Semikonduktor dan Elektronik. Kami berkomitmen untuk memberikan pelanggan Solusi Superior, Andal, dan Satu Atap untuk peralatan mesin. Hingga saat ini, produk dari merek kami telah menyebar ke negara-negara industri utama di seluruh dunia, membantu pelanggan meningkatkan efisiensi, mengurangi biaya, dan meningkatkan kualitas produk.

FAQ

1. Tentang Harga:
Semua harga kami bersaing dan dapat dinegosiasikan. Harga bervariasi tergantung pada konfigurasi dan kompleksitas kustomisasi perangkat Anda.

2. Tentang Sampel:
Kami dapat menyediakan layanan produksi sampel untuk Anda, tetapi Anda mungkin perlu membayar beberapa biaya.

3. Tentang Pembayaran:
Setelah rencana dikonfirmasi, Anda perlu membayar uang muka kepada kami terlebih dahulu, dan pabrik akan mulai mempersiapkan barang. Setelah peralatan siap dan Anda membayar sisa pembayaran, kami akan mengirimkannya.

4. Tentang Pengiriman:
Setelah pembuatan peralatan selesai, kami akan mengirimkan video penerimaan kepada Anda, dan Anda juga bisa datang ke lokasi untuk memeriksa peralatan tersebut.

5. Pemasangan dan Penyesuaian:
Setelah peralatan tiba di pabrik Anda, kami dapat mengirim insinyur untuk memasang dan menyesuaikan peralatan. Kami akan memberikan penawaran terpisah untuk biaya layanan ini.

6. Tentang Garansi:
Peralatan kami memiliki periode jaminan selama 12 bulan. Setelah periode jaminan berakhir, jika ada suku cadang yang rusak dan perlu diganti, kami hanya akan memungut harga pokok.

7. Layanan Purna Jual:
Semua mesin memiliki masa garansi lebih dari satu tahun. Insinyur teknis kami selalu siap membantu untuk memberikan layanan pemasangan, pengaturan, dan pemeliharaan peralatan kepada Anda. Kami juga dapat menyediakan layanan pemasangan dan pengaturan di lokasi untuk peralatan khusus dan besar.