





|
PLASMA աղբյուր
|
RF
|
||
|
Էներգիա
|
ICP
|
_
|
|
|
BIAS
|
1000W(option)
|
||
|
Օգտագործելու շրջակայք
|
4~8 դյույմ
|
||
|
Միայն մշակում սահմանափակություն
|
1
|
||
|
Արտահայտության չափեր
|
850մմx900մմx1850մմ
|
||
|
Սիստեմային կառավարում
|
PLC
|
||
|
Ավտոմատացման մակարդակ
|
Հանձնարարություն
|
||








权 © Գյուանգզու Մինդեր-Հայտեխ Կո.,Լտդ. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են