 
  

| ծՐԱԳՐԻ  | Մատակարարումներ  | remarks  | ||
| 1 | Սարքերի ամփոփում | Սարքի անվանումը՝ Կամավոր ավտոմատ հավասարաչափ գլյուկի զբաղեցնող մաքինա  | ||
| Սարքի մոդել՝ MD-2C2D6  | ||||
| Պրոցեսավորման վայրիկների նորմատիվ՝ համապատասխանում է 4/6-inch ստանդարտ վայրիկներին  | ||||
| Հավասարաչափ գլյուկի պրոցեսավորման հոսք՝ անգամանոցի կտրում → կենտրոնացում → հավասարաչափ գլյուկ (ցուցալից ցուցման վրա → հավասարաչափ գլյուկ → կраկերից հեռացում, հետևյալ  լվացում) → ջերմ սալ → սառույցի սալ → անգամանոցի դիրք Զբաղեցնող պրոցեսավորման հոսք՝ անգամանոցի կտրում → կենտրոնացում → զբաղեցնում (զբաղեցնող լուծույթ → դեսիոնացված ջուր, հետևյալ լվացում → նիտրոգենի անջատում) → ջերմ սալ → սառույցի սալ → անգամանոցի դիրք | ||||
| Ընդհանուր չափերը (մոտեղականապես)՝ 2100mm (W) * 1800mm (D) * 2100mm (H)  | ||||
| Քիմիկալական արկանի չափերը (մոտեղականապես)՝ 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H)  | ||||
| Ընդամենը կշիռը (մոտեղ): 1000կգ  | ||||
| Աշխատանքային սահմանափակության բարձրություն: 1020 ± 50մմ  | ||||
| 2 | Կասետային միավոր  | Քանակը: 2  | ||
| Համապատասխան չափսեր: 4/6 դյույմ  | ||||
| Կասետային հայտարարում: միկրոսահմանի հայտարարություն  | ||||
| Ելակեցում հայտարարում: Այո, վերացանցային սենսոր  | ||||
| 3 | ռոբոտ | Քանակը: 1  | ||
| Տիպը: Երկու արագի վակուումներով ադսորպցիայի ռոբոտ  | ||||
| Դաշտային ազատություն: 4-առանցք (R1, R2, Z, T)  | ||||
| Արտադրիչի նյութը՝ կերամիկ  | ||||
| Հիմքի ամրացման եղանակ՝ վակուումի արգելման եղանակով  | ||||
| Կարտեզային ֆունկցիա՝ Այո  | ||||
| Պարունակության ճշգրտություն՝ ± 0.1մմ  | ||||
| 4 | Կենտրոնացման միավոր  | Քանակը՝ 1 համար  |  Según la alineación óptica opcional  | |
| Կենտրոնացման եղանակ՝ մեխանիկական կենտրոնացման եղանակ  | ||||
| Կենտրոնացման ճշգրտություն՝ ± 0.2մմ  | ||||
| 5 | Երկարություն և հավասարակշռություն միավոր | Քանակը. 2 սետ (հետո են տրված կառուցվածքները յուրաքանչյուր միավորի համար)  | ||
| Առագի պտույտների արագություն. -5000դ/ր~5000դ/ր  | բեռնուղի դիվանդակ  | |||
| Առագի պտույտների ճշգրտություն. ± 1դ/ր (50դ/ր~5000դ/ր)  | ||||
| Ամենափոքր կարգավորման քայլը՝ առագի պտույտների արագության համար. 1դ/ր  | ||||
| Ամենամեծ արագացումը՝ առագի պտույտների համար. 20000դ/ր  | բեռնուղի դիվանդակ  | |||
| Կորողության արանջ. 1 սետ  | ||||
| Ֆոտոռեզիստի խողովակի ճանապարհ. 2 ճանապարհ  | ||||
| Ֆոտոռեզիստի գունդի տրամագիծ. 2.5մմ  | ||||
| Ֆոտոռեզիստի անհատականություն. 23 ± 0.5 ℃  | ընտրովի    | |||
| Կարգավոր ցուցչի համար: Այո  | ||||
| RRC: Այո  | ||||
| Պու斐ն: Այո, 200մլ  | ||||
| Կոլե դուրս բросելու մեթոդը: կենտրոնական և սկանավորող բրոսումը ընտրելի է  | ||||
| Եզրային հանքարձակման արագույթ: 1 տող  | ||||
| Եզրային հանքարձակման ցուցչի տրամագիծը: 0.2մմ  | ||||
| Եզրային հանքարձակման հեռացման հեռացման հեռացումը: հավասարակշռված հեռացում  | ||||
| Եզրային հանքարձակման հեռացման հեռացման հասցեի միջակայքը: 5-50մլ/րոպե  | ||||
| Վերադարձնող կանալ: 2 ճանապարհ (4/6 դյույմ յուրաքանչյուրից 1 անցք)  | ||||
| Վերադարձնող հեռացման հեռացումը: հավասարակշռված հեռացում  | ||||
| Վերադարձնող հեռավարի հոսքի մակարդակը՝ 20-200մլ/րոպե  | ||||
| Չիպի այգնացումը՝ փոքր տարածքի վակուումային այգնացման Chuck-ով  | ||||
| Վակուումի ճնշումի աזהմանակ՝ թվային վակուումային ճնշումի սենսոր  | ||||
| Chuck-ի նյութը՝ PPS  | ||||
| Կանաչի նյութը՝ PP  | ||||
| Կանաչի գազային արտասահմանումը՝ թվային ճնշումի սենսորով  | ||||
| 6 | Արտանորոգման միավոր | Սահմանափակում՝ այո  | ||
| Քանակը. 2 սետ (հետո են տրված կառուցվածքները յուրաքանչյուր միավորի համար)  | ||||
| Առագի պտույտների արագություն. -5000դ/ր~5000դ/ր  | բեռնուղի դիվանդակ  | |||
| Առագի պտույտների ճշգրտություն. ± 1դ/ր (50դ/ր~5000դ/ր)  | ||||
| Ամենափոքր կարգավորման քայլը՝ առագի պտույտների արագության համար. 1դ/ր  | ||||
| Ամենամեծ արագացումը՝ առագի պտույտների համար. 20000դ/ր  | բեռնուղի դիվանդակ  | |||
| Արտանորոգման բարձ՝ 1 տող  | ||||
| Արտանորոգման կանալ՝ 2-ական (վանդակաձև/սյունաձև ցուցակ)  | ||||
| Фильтраցիա դեվելոպերի: 0.2մկմ  | ||||
| Տեմպերատուրային կառավարում դեվելոպերի: 23 ± 0.5 ℃  | ընտրովի    | |||
| Դեվելոպերի լուծույթի հոսքի միջակայքը: 100~1000մլ/րոպե  | ||||
| Ռեժիմ շարժում դեվելոպերի բարձրության: անշարժ կետ կամ սկանավորում  | ||||
| Ֆյուզինգ արագույթ: 1 սետ  | ||||
| Դեսիոնացված ջրի կանալ: 1 ցիկլուս  | ||||
| Դեսիոնացված ջրի ցուցակի տրամագույն: 4մմ (ներքին տրամագիծ)  | ||||
| Դեսիոնացված ջրի հոսքի միջակայքը: 100~1000մլ/րոպե  | ||||
| Նիտրոգենի չափատուրի կանալ: 1 ցիկլուս  | ||||
| Նիտրոգենի ցուցակի տրամագույն: 4մմ (ներքին տրամագիծ)  | ||||
| Ազոտի հոսանքի միջակայքը. 5-50լ/ր  | ||||
| Դեվելոպեր, դեսիոնացված ջուր, ազոտի հոսանքի մոնիթորինգ. ֆլոատ ֆլոոմետր  | ||||
| Վերադարձնող կանալ: 2 ճանապարհ (4/6 դյույմ յուրաքանչյուրից 1 անցք)  | ||||
| Վերադարձնող հեռացման հեռացումը: հավասարակշռված հեռացում  | ||||
| Վերադարձնող հեռավարի հոսքի մակարդակը՝ 20-200մլ/րոպե  | ||||
| Չիպի այգնացումը՝ փոքր տարածքի վակուումային այգնացման Chuck-ով  | ||||
| Վակուումի ճնշումի աזהմանակ՝ թվային վակուումային ճնշումի սենսոր  | ||||
| Chuck-ի նյութը՝ PPS  | ||||
| Chuck-ի նյութը՝ PPS  | ||||
| Կանաչի նյութը՝ PP  | ||||
| Կանաչի գազային արտասահմանումը՝ թվային ճնշումի սենսորով  | ||||
| 7 | Կպչող միավոր | Քանակը: 2  | ընտրովի    | |
| Տեմպերատուրայի միջակայքը. սենյակային տեմպերատուր~180 ℃  | ||||
| Տեմպերատուրայի հավասարաչափություն. Սենյակային տեմպերատուր~120 ℃± 0.75 ℃  120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Հանեք 10մմ կраունից, բացի էջեկտորի սանդալի խոռոչից) | ||||
| Նվազագույն կարգավորման քանակ. 0.1 ° C  | ||||
| Տեմպերատուրայի կառավարման մեթոդ. PID կարգավորում  | ||||
| PIN բարձրության միջակայքը. 0-20մմ  | ||||
| PIN նյութը: մարմնի SUS304, PIN ստեղն PI  | ||||
| Հանգիստ բաժանում: 0.2մմ  | ||||
| Ավելացուցակային խոստացում: դրական և բացասական շեղում խոստացում  | ||||
| Սպառման եղանակը: Բացակոչում, 10 ± 2մլ/րոպե  | ||||
| Տանձավազակի գործակից հանգիստ: -5-20KPa  | ||||
| 8 | Դաշտավոր միավոր | Քանակ: 10  | ||
| دانگambi միջավայրի միջակայքը: սենյակի ջերմաստիճանը~250 ℃  | ||||
| Տեմպերատուրայի հավասարաչափություն. Սենյակային տեմպերատուր~120 ℃± 0.75 ℃  120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Հանեք 10մմ կраունից, բացի էջեկտորի սանդալի խոռոչից) | ||||
| Əնդ.minimum կարգավորման քանակը: 0.1 ℃  | ||||
| Տեմպերատուրայի կառավարման մեթոդ. PID կարգավորում  | ||||
| PIN բարձրության միջակայքը. 0-20մմ  | ||||
| PIN նյութը: մարմնի SUS304, PIN ստեղն PI  | ||||
| Հանգիստ բաժանում: 0.2մմ  | ||||
| Ավելացուցակային խոստացում: դրական և բացասական շեղում խոստացում  | ||||
| 9 | 차가운 판 유닛  | Քանակը: 2  | ||
| 온도 범위: 15-25 ℃  | ||||
| 냉각 방법: 상온 순환펌프 냉각  | ||||
| 10 | 화학 공급 | 포토레지스트 저장: 공기식 접착제 펌프 * 4 세트 (선택적 탱크 또는 전기 접착제 펌프)  | ||
| 접착제 분사량: 최대 12ml 세션당, 정확도 ± 0.2ml  | ||||
| 엣지 제거/후세척/RRC 공급: 18L 압력 탱크 * 2 (자동 보충)  | ||||
| 엣지 제거/후세척/RRC 액체 수준 모니터링: 광전 센서  | ||||
| 포토레지스트 액체 수준 모니터링: 광전 센서  | ||||
| 균일한 접착제 폐수 배출: 10L 폐수 탱크  | ||||
| Համարողի համակարգ: 18L ճնշումից տանկ * 4 (Պահվում է քիմիական արկումում մեքենայի դուրս)"  | ||||
| Դեստիլացիայի ջրի համակարգ: factory direct supply  | ||||
| Համարողի մակության մոնիտորինգ: ֆոտոէլեկտրոնային սենսոր  | ||||
| Համարողի արտանախատը: factory waste discharge  | ||||
| Tackifier-ի համակարգ: 10L ճնշումից տանկ * 1, 2L ճնշումից տանկ * 1  | ||||
| Tackifier-ի մակության մոնիտորինգ: ֆոտոէլեկտրոնային սենսոր  | ||||
| 11 | կառավարման համակարգ | Կառավարման մեթոդ: PLC  | ||
| Մարդ-մաքինայի գործարկման ինտերֆեյս: 17 դюյմ տաք էկրան  | ||||
| Անընդհատ էլեկտրական համակարգ (UPS): Այո  | ||||
| Սահմանեք արժեքավորության բանաձևեր սարքիչների, տեխնիկների և ադմինիստրատորների համար  | ||||
| Սիգնալային թավարի տիպը՝ կարմիր, դեղին, կանաչ 3 գույներով  | ||||
| 12 | Սիստեմի հավիանալիության ցուցանշատիկներ  | Աշխատաժամեր՝ ≥95%  | ||
| MTBF՝ ≥ 500h  | ||||
| MTTR՝ ≤ 4h  | ||||
| MTBA՝ ≥24h  | ||||
| Դիստրիբուցիայի գործառույթը՝ ≤ 1/10000  | ||||
| 13 | Այլ Ֆունկցիաներ  | Դեղին լուս՝ 4 սետ (դիրք՝ գլյուկի միջացումի և զարգացման միավորի վրա)  | ||
| THC՝ Այո, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%  | ընտրովի    | |||
| FFU՝ 100-րդ դաս, 5 սետ (պրոցեսային միավոր և ROBOT տարածք)  | ||||


权 © Գյուանգզու Մինդեր-Հայտեխ Կո.,Լտդ. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են