1. Պաշտոնագրի ռեժիմը՝ Բեռնող ռոբոտը ավտոմատացված ձևով բեռնում է վայրենքները A-B (վերակիրառելի) վայրենքի տուփից նախնական դիրքավորման 
աշխատանքային սեղան, և կամերայի դիրքի վահանումի միջոցով և ավտոմատ պտույտային համակարգի կարգավորումով, հասցենում է վահանումի նախնական դիրքավորումը: Ավտոմատացված ռոբոտական համակարգը ապա բեռնում է նախնական դիրքավորված վահանումները դիրքավորման աշխատանքային սեղանի վրա: Համակարգային պատկերի ճանաչումից և ավտոմատ դիրքավորման համակարգի կարգավորման միջոցով, հասնում ենք ավտոմատ դիրքավորմանը մասկի և վահանումների պատկերների միջև: Կարելի է նաև կատարել մեկ արտացոլում առանց պատկերների դիրքավորումից: Ավտոմատ արտացոլումից գերացոլումի համակարգով, արտացոլումավոր ռոբոտական համակարգը ավտոմատորեն տեղադրում է վահանումները C-D (վերակիրառելի) վահանումի արկում: 
2. Արտացոլման տիրույթ՝ 160 × 160 մմ; 
3. Արտացոլման արագացման անհավասարություն՝ ≤ 3%; 
4. Արտացոլման ENSITY՝ 0~≥ 40մագ/սմ2 կարգավորելի (ճառագայթի անկյուն 2 °); 
5. UV ճառագայթի անկյուն՝ ≤ 3 °; 
6. Երկարական ճառագայթի կենտրոնական ալիքաերկարություն՝ 365նմ; 
7. UV աղբյուրի կյանքը՝ ≥ 20000 ժամ; 
8. Բաժանման կարողություն՝ 0~≥ 1000մկմ կարգավորելի; 
9. Դիրքավորման ճշգրտություն՝ ≤ ± 1.5 μ M; 
10. Երևույթի ճշգրտությունը. Կոնտակտային երևույթ ± 1 μ m: մոտ երևույթի սահքը՝ 20 μ M ճառագայթային անկյուն՝ 2 ° ≤ ± 2 μ M 
11. Երևույթի մեթոդներ. Հարդ կոնտակտ, .soft contact, և մոտ երևույթ 
12. Երևույթի โրւմը. Դուք կարող եք ընտրել միանգամից երևույթի կամ offset երևույթի միջև 
13. Նախնական դիրքավորման պատկերի ճանաչում և ավտոմատ պտույտի համակարգ (ներառյալ նախնական դիրքավորման աշխատանքային стол): պտույտի անկյուն Q ≥ ± 180 °, պտույտի ճշգրտություն Q ≤ 0.01 °; 
14. Պատկերի ճանաչում և ավտոմատ համակարգավորումի համակարգ (ներառյալ UVW համակարգավորման աշխատանքային стол): համակարգավորման միջակայք X Y ≥ ± 5mm, պտույտի անկյուն Q ≥ ± 3 °, և միկրոսկոպի երկու լենզերը կառավարվում են երկու XYZ էլեկտրական պլատֆորմաներով. 
15. Mask չափսերը. 5 " × 5 " և 7" × 7 "; 
16. Wafer չափսերը. 4 " և 6"; 
17. Վերևի և ստորում ֆիլմային բокսի աշխատանքային ստացիոնարները. Երկու աշխատանքային ստացիոնարներ; 
18. RowAtնի պատված օդավոր արկ 
19. Loading և unloading երկու արագացքի ռոբոտական արագացք. Z ≥ 350mm, R135mm; 
20. Վաֆերի քանակը վաֆերի տուփում. Որոշվում է հաճախորդի վաֆերի տուփի վաֆերի քանակի հիման վրա: 
21. Դիրքային սահմանագրի բարձրացում. Z ≥ ± 25մմ; 
22. Եքսպոզիցիայի ժամանակ. Կարելի է կարգավել 0-ից 999,9 վայրկյան. 
23. Ծառայության ռիթմ. >120 հատ ժամ անգամ; 
24. Էլեկտրաէներգիայի նախատեսում. Միահարթ AC220V 50Hz, էներգիայի ծախս ≤ 3KW; 
25. Անտառային օդի ճնշումը. ≥ 0.4MPa; 
26. Վակուումի մակարդակը. -0.07MPa~-0.09MPa; 
27. Չափերը. 1400 * 1000 * 2100մմ; 
28. משקלը. Համարյալորեն 400կգ