|
Վակուումային պլազմայի հիմնական միավորը (60)
|
||||
|
Սարքի չափը
|
L 950×W 900×H 1650մմ
|
|||
|
քաշը
|
350 կգ
|
|||
|
Հարկավոր է էլեկտրական ներդրում:
|
AC380V, 50/60Hz, 5 գիծ, 16A (C-ից վեր բոլորը բաց տիպի համար):
|
|||
|
Պլազմայի գեներատորի նորմատիվ:
|
||||
|
էներգիա
|
ռադիո հաճախություն
|
միջնակարգ հաճախություն
|
||
|
0~600Վ
|
0-1000Վ
|
|||
|
հաճախությունը տարածվող
|
13.56Mhz
|
40 Կ Հց
|
||
|
Վակուումային համակարգ
|
||||
|
վակուում բամբեր
|
Երկուշարժ պատրաստիչ 唧筒 (օիլ պատրաստիչ): 40մ3/ժ
|
|||
|
դատարկության տունել
|
Ամբողջությամբ ռուստավորող գիծ, ինչպես նաև բարձր ուժով դատարկության կանացիկ
|
|||
|
մատerial որակը
|
Ալյումինի համալloyություն (պատվերական ռուստավորող դեպի քավիտի)
|
|||
|
backpageսինթիկս
|
25մմ
|
|||
|
ստիպում
|
Բարձրագույն միջավայրական հաղորդագրության ստորագրություն
|
|||
|
/Internal բարձրությունը և չափերը/
|
375*375*430մմ (լայնք * բարձրություն * խորություն)
|
|||
|
Էլեկտրական սալ эффեկտիվ չափեր
|
247*281մմ (լայնք * խորություն)
|
|||
|
Ազատ տարածքի միջակայք
|
22mm
|
|||
|
Ելեկտրոպլատին դիսպոզիցիա
|
Orizontal layout, can be active extraction
|
|||
|
սկուտեղներ
|
Ստանդարտ սետ, նյութը optional (aluminum, steel wire mesh)
|
|||
|
աշխատանքային տարածք
|
6 շերտ
|
|||
|
պրոցեսային գազ
|
||||
|
Հոսանքի միջակայք
|
0~300SCCM
|
|||
|
Պրոցեսային գազի ճանապարհ
|
Ստանդարտը կարող է բավարարել երկու տարբերակների, կարելի է նաև պատutzerելու. Պրոցեսային գազի կանալն կառուցված է ֆերրոֆլոնից
|
|||
|
նավար
|
||||
|
SC
|
PLC
|
|||
|
փոխադարձ โրդ
|
7-ինչ 터քսկրին
|
|||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
权 © Գյուանգզու Մինդեր-Հայտեխ Կո.,Լտդ. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
