Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Սկզբնական էջ
Մեր մասին
MH Equipment
Հաղորդում
Երկիրացի Օգտագործողներ
Տեսանյութ
Կապվեք մեզ հետ
Տուն> MH Equipment> Գոհացող և Լեշող
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում
  • Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում

Ավտոմատ CMP հետուկ մաքրում

Ապարատի Նկարագրություն

Պարզեցման Համակարգեր հետո Դիսկ Քիմիական Մեխանիկական Պոլիրում

CMP հետո Chean

Մաքինայի 특징

Strong process capability
Dual chamber brushing, with a wide range of process applicability
Եquipment-ը զբաղեցնում է փոքր տարածք, չափումներով 2200 * 800 * 2200 (mm)

Դիմումի դաշտեր

6-8 դյույմ CMP հերթական սարքից հետո
Մաքրում է գլանում SIC-ի կամ այլ բազային մարմնից հետո

Техничесկեան պարամետրերը

Մաքրում 4 դյույմ և 6 դյույմ CMP-ից հետո
Երկական սենյակի նպատակ, անկախ սենյակային գործողություն Wet in and dry out կամ dry in and dry out
Հայտնի արագ պտույտով չափում SRD

LoadPort միավորը, բեռնում միավոր

LoadPort-ը այս սարքի բեռնման միավորն է
Կարմիր կասետի ներդրում
Դարձնում է շփիտում ֆունկցիան

Սարքի միավոր, Wafer մաքրում միավոր

Երկական սեփականությամբ միավոր, որը կարող է համարձակ երկու տարբեր լցումների պաշտպանություն տալ
Սագերդի դիրքը կարելի է կարգավորել ռեցեպտի համաձայն Belt Conveyor-ի հետ

SRD միավոր, Wafer չափանիշների միավոր

Wafer խաղալիքային չափանիշներ, որոնց առավելագույն արագությունը 4000RPM է
Կարող է կատարել AS լցում wafer մակերևույթի վրա և ցույց տվել DIW

UNLOAD միավոր, կտրում միավոր

UnLoad միավորն ունի անկախ FFU-ն, որը համապատասխանում է wafer ելքի պարզությանը

Փոխակրիչ

Մոխիր տարածքը բելտ տրանսպորտատոր է
Sexoւր տարածք ռոբոտի տելեպորտացիայի համար

Սագերդի միավորի նկարագրություն

Ասենք, որ այս սարքի սարքի միավորը կազմված է երկու սարքի միավորներից՝ BU1 և BU2:
Յուրաքանչյուր միավորի սարքի ճնշումը կարող է համապատասխանաբար կարգավորվել (ինչպես նշված է ռեցեպտում), և յուրաքանչյուր սարքի սալիկի միավոր կարող է լվանալ տարբեր քիմիական լվամանելիքներով սեպարատիվացիայի միջոցով:
Սարքը PVA սարք է, որը հաճախ օգտագործվում է աշխարհային աշխարհում:
Կամերաների միջև փոխանցումը տուփաձու փոխանցման միջոցով է: Կամերայի ներսում կա DIW RINSE:

SRD միավոր

SRD միավորը հավաքված է CHUCK և AS ARM համակարգերով, որոնք կարող են ֆիզիկականորեն լվանալ և պտտվելով անջատել անցունդի մակերևույթը:
Տехնիկ 특성
Սարքավորումների չափը:
2200 * 800 * 2200 (մմ)
Բեռնատրոհման և բեռնավորման մեթոդներ
անցունդով մուտք/ցուցակով մուտք/անցունդով ելք
Սարքի միավորների քանակ
2
SRD միավորների քանակը
1
Տրանսպորտացման մեթոդ
Կեղծ տարածքի բելտ տրանսպորտ, չկեղծ տարածքի ռոբոտային տրանսպորտ
Ապարատի չափումը սուրճ համակարգով 1-ին է 1850 * 800 * 2200
Պակետավորում և առաքելություն
Կոմպանիայի պրոֆիլ
Հաճախ տրամադրվող հարցեր
1. Գինի Մասին:
Երբեմն մեր գիները համապատասխան են և կարող են քննարկվել: Գինը փոխվում է սարքի և ձեր սարքի պարամետրերի կամ անհրաժեշտ կայունության կախվածության.

2. Սամպլի Մասին:
Կարող ենք ձեզ առաջարկել սամպլ սարքի սերվիս, բայց կարող է պահանջվել մի քանի վճարում։

3. Վճարման մասին:
Պլանը հաստատելուց հետո, ձեզ պետք է առաջնային վճարում կատարել, և ապա գործ UsersController՝ սկսեն պատրաստել ապարատները։ Ապարատը պատրաստվելուց հետո, երբ դուք վճարում եք մնացորդը, մենք այն ուղարկում ենք։
ապարատը պատրաստվելուց հետո, երբ դուք վճարում եք մնացորդը, մենք այն ուղարկում ենք։

4. Դուրսագրման մասին:
Ապարատականի ստեղծման վերջում, մենք կուղարկենք դուրսբերման տեսանյութը, դուք նաև կարող եք գալ դեպի կայան և ստուգել ապարատականը։

5. Ինստալյացիա և տեսականում:
Երեք օրում սարքելու հաջողությունը ձեզ տալիս է հավանաբար դադարելու հնարավորություն, մենք կարող ենք ուղարկել ինժեներն սարքելու և դեբագ արելու համար։ Այս սպասարկման ծախսի համար մենք ձեզ կտանք առացկացված գնահատական։

6. Գարանտիայի մասին:

Մեր սարքերը ունեն 12 ամիսանոց warranty period։ Warranty-ից հետո, եթե որևէ մասերն արդյոք վարդագրվեն և պետք է փոխվեն, մենք կավարտենք միայն արժեքի գնահատականը։

Հարցում

Հարցում Email Whatsapp Top
×

ԿԱՊԸ ԵՆԴ ՏOUCH