Սարքի առանձնահատկությունները
1. Այս սարքը նախատեսված է բարձր մակարդակի կիսահաղորդչային վաֆերների լազերային մշակման համար:
2. Ապահովված է Միացյալ Նահանգներից ներմուծված լազերով, որը ապահովում է լազերային մշակման ընթացքում բացառիկ կայունություն:
3. Ունի մեքենայի կողմից առաջացրած միջամտությունների դեմ պաշտպանված, բարձր ճշգրտության գծային շարժիչի XY ստեղնաշար՝ գրատային սանդղակով, որը արդյունավետորեն վերացնում է մեքենայի կողմից առաջացրած միջամտությունները արտադրանքների վրա:
4. Ներառում է 12 մեգապիքսելանոց CCD տեսախցիկ՝ ճշգրտման համար:
5. Ունի աքրոմատիկ պատկերավորման տեխնոլոգիա և պատկերի ճանաչման միջոցով դիրքավորման հնարավորություն:
6. Ներառում է GPIB և այլ արտաքին ինտերֆեյսներ՝ արտաքին սարքերի միացման համար չափումների կամ դիմադրության ճշգրտման համար:
7. Մարմարե հիմքը ապահովում է մեքենայի բացառիկ կայունությունը
Техничесկեան պարամետրերը
Մոդել |
MDSG-LT74 |
Լազերային ալիքային երկարություն |
1064/355 նմ |
Լազերային հզորություն |
6Վտ/4Վտ |
Տիպիկ լազերային բծի չափս |
25-35μm |
Ֆոկուսավորման մեթոդ |
Ավտոմատ, համակարգչային ծրագրով կառավարվող։ |
Սառեցման եղանակ |
Օդի սառեցում |
Լազերային ճառագայթի շարժման տիրույթ |
27 մմ × 27 մմ |
Շարժման ճշգրտություն |
0.76μm |
Կրկնվող դիրքավորման ճշգրտություն |
±2,5 մկմ |
Շարժման ռեժիմ |
Հակամիջամտության ցանցավոր սանդղակի գծային շարժիչ |
Շարժման տիրույթ) |
300 մմ × 300 մմ |
Կրկնվող դիրքավորման ճշգրտություն |
±1 մկմ |
Դիմադրության չափման մեթոդ |
չորս հաղորդալարանոց չափում |
Դիմադրության չափման ճշգրտություն |
±0,02 % (միջին դիմադրություն) |
Դիմադրության չափման տիրույթ |
0.1օմ–50 ՄՕմ |
Չափման արագություն |
4 մկս/չափում |
Զրոյական և լրիվ սանդղակի սխալի ճշգրտում |
Ինքնաշխատ ճշգրտում |
Փորձառական սարքի սահմանում |
Ծրագրավորելի կամայական սահմանում |
INTERFACE |
GPIB |
Համակարգի չափեր |
1430 x 913 x 1747 մմ |
Քաշը |
617 կգ |
Էքսպլուատացիայի պայմաններ (ջուր, էլեկտրականություն, գազ) |
Խոնավություն՝ <70 %; Մատակարարվող լարում՝ 220 Վ փոփ. հոսանք, 2,5 կՎտ; Սեղմված օդ՝ <0,6 ՄՊա, <40 լ/ր |
权 © Գյուանգզու Մինդեր-Հայտեխ Կո.,Լտդ. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են