Մոդել՝ MDST-6100
ICP-ի չոր պլազմային աշերը նախատեսված է դեսքամինգի (նախնական մշակում և մնացորդների հեռացում), պոլիմերների հեռացման (PI, BCB, PBO) և իոնների իմպլանտացիայից հետո լուսազգայուն ռեզիստի հեռացման համար. խցիկը հարմարեցված է 8 դյույմանոց նմուշների համար (համատեղելի է նաև 4 և 6 դյույմանոց չափսերի հետ)
ICP չոր պլազմային ֆոտոռեզիստի հեռացման սարք
ICP-ի չոր պլազմային աշերը նախատեսված է դեսքամինգի (նախնական մշակում և մնացորդների հեռացում), պոլիմերների հեռացման (PI, BCB, PBO) և իոնների իմպլանտացիայից հետո լուսազգայուն ռեզիստի հեռացման համար. խցիկը հարմարեցված է 8 դյույմանոց նմուշների համար (համատեղելի է նաև 4 և 6 դյույմանոց չափսերի հետ)
Սարքավորման տեսքը շարունակաբար մոդերնացվում է և ճշգրտվում՝ իրական առաքված ապրանքը համարվում է վերջնական:
Առավելություններ՝
Պլազմայի բարձր իոնացման և քայքայման աստիճան
Պլազմային մշակման հետևանքով բարձր վերարտադրելիություն
Չոր գրավորում, առանց աղտոտման աղբյուրի
Ճնշման և ջերմաստիճանի կառավարում թիթեղավոր փականների միջոցով
Կարող է պահպանել պլազման բարձր ճնշման տակ
Բարձր լարման աղբյուրի և իոնների գեներատորի առանձնացում
Մայկրոալիքային միացման և մագնիսական շղթայի համատեղելիություն
Կարող է բավարարել հաճախորդի պահանջները
Ցածր ջերմաստիճան մշակման ընթացքում
Արագ ռեակցիայի արագություն և կարճ ռեակցիայի ժամանակ
Մոդել |
MDST6100 |
PLASMA աղբյուր |
ռադիո հաճախություն |
հզորությունը |
1000W |
Կիրառման ոլորտ |
8 դյույմ (համատեղելի է 4 կամ 6 դյույմի հետ) |
Տուփի չափը |
25 հատ |
Ընդհանուր չափսեր |
L1696xW2170xH2146 մմ |
Սիստեմային կառավարում |
PLC |
Նյութերի տուփերի համակարգ |
Ավտոմատ |
Սարքավորման իրական նկարներ՝
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
权 © Գյուանգզու Մինդեր-Հայտեխ Կո.,Լտդ. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
