Առաջին բանը, որը մենք կատարենք, դա հիմնավոր նյութի մակերևույթի գործակցությունն է հատուկ լուսակից հատկացող նյութով։ Սա լուսակից հատկացող նյութ է, որը խաղացում է կարևոր դեր պրոցեսում։ Դրանից հետո մենք օգտագործում ենք մասկ հետ, որի մակերևույթում կա որոշակի նախագծի տեսք։ Եվ դրան դնում ենք վերևում այդ շերտի վրա։ Մասկը գործում է որպես ստենցիլ հուներով, որոնք փոխանցում են լուսը ընտրանքային տեղերում։ Հաջորդաբար, մենք վերացնում ենք նախագծին մասկի վրա ԱՎ լուսին, որը մենք չենք կարող տեսնել։ Այս լուսը ստեղծում է լուսակից հատկացող նյութի պատկեր՝ նման ձեռն, ինչպես արեգական լուսը կարող է ստեղծել 蔘եր, երբ դու դրան անցնում ես մի կտրուկաձև ձևով։ Վերջնական քայլը ներառում է մեզ ներկայացնել հիմնավոր նյութը լուծիչի տիպի լուծույթում։ Այս պրոցեսը հեռացնում է լուսակից հատկացող շերտի այն մասը, որը է բացակայում լուսին և ներկում է նախագիծը հիմնավոր նյութի վրա։
ՆԵՐ Կորդովիչ Միացում մեծագույն բաժիններից մեկը, որը պետք է կառավարվի, դա սխալներն են, որոնք տեղի ունեն երեք հիմնական քայլերի ընթացքում, և շատ կարևոր է ստանալ ճիշտ և ճշգրիտ արդյունքներ: Կովերինգ՝ Կովերինգը ներառում է նույնական կապույտ նյութի գործակիցի կապույտ նյութով կապույտ նյութի վրա հատուկ բաղադրիչի նույն դոզայի կապույտում: Այլ կերպ ասած, օգտագործում ենք մեքենաներ ստանալու համար այն սեփական ուղիղ և մակարդակավոր մակերեսը: Այս քայլի ընթացքում ստորագրում ենք որոշումը (առցանկային կամ դեfects-ազատ մակերես):
Դեվելոպարի լուծույթը օգտագործվում է հանդիսացող մասի հանձնման համար, ստեղծելով նախագծի 3-րդ քայլի ժամանակ՝ դեվելոպմենտ։ Բայց մենք դեռևս կարող ենք սխալ կատարել այս քայլում։ Մեզ չի պետք թողնել նյութը լուծույթում շատ երկար ժամանակ, և եթե լուծույթը շատ ուժեղ լինի, այն կուտելու է նախագծին, որը փորձում ենք ստեղծել։ Այսպիսով, մեզ պետք է շատ զգալիորեն կառավարել դեվելոպարի լուծույթի ժամանակը և կոնցենտրացիան, որպեսզի ստանանք լավ արդյունքներ։
Հիմնական առավելությունը Կորդովանական մաքինա ստեղծելու հնարավորությունն է արդյոք փոքր բաղադրություններ։ Սա թույլ է տալիս մեզ ստանալ շատ փոքր, բարձր արդյունքուն մասնիկներ։ Այս մեթոդը նաև շատ հարմար է մարմնավոր արտադրության համար՝ թույլ է տալիս մեզ արտադրել շատ մասնիկներ կարճ ժամանակի ընթացքում։ Սա icularly կարևոր է անդամների արտադրողության բաժնում, որտեղ կա շատ բարձր պահանջ որոշակի տիպի նույնական մասնիկների (ինչպես էլեկտրոնային սարքերի արտադրողության բաժնում)։
Մյուս կողմից, գոյություն ունի նաև որոշ դեպրունքներ: Մասկային ֆոտոլիթոգրաֆիայի բարձր արժեքը՝ մաքհինաների և դրան օգտագործվող նյութերի տերմիններում, այս մեթոդի հետ կապված մեծ խնդիրներից մեկն է: Մաքհինաները կարող են լինել անչափ թանգարան, և մեզ պետք է ունենանք բարձր որակի նախնական նյութեր, որոնց արժեքն էլ կարող է լինել անգամ բարձր: Ավելի ուշ, այս տիպի մեթոդով անհնար է ստեղծել փոքր 10 նանոմետրով ավելի փոքր 특徴ներ: Սա կարևոր է, քանի որ մենք շատ հաճախ ստանդարտացնում ենք ավելի փոքր և ավելի ուժեղ բաներ: Գումարելով, այս գործընթացը արդեն շատ հավանական է կանցնել կանխավորությանը, այնպիսին որ պետք է կատարել շատ կLEAN միջավայրում (սովորաբար կոչվում է cleanroom): Այս պահանջը կարող է դարձնել բաները մի փոքր ավելի բարդ և ավելի թանգարան:
Էլեկտրոնիկայից մինչև բժշկության բնագավառներում, մասկային համաձայնիչ ֆոտոլիթոգրաֆիան հիմնված է հիմնական հետազոտությունների և արտադրանքային կայաների վրա: SU-8-ի կիրառումը անպայմանապես հիմնական է էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ՝ միկրոէլեկտրոնային սարքերի, ինտեգրացված շղթաների, սենսորների և դիսպլեյների արտադրման համար: Այս սարքերի ստեղծումը պահանջել է շատ հատուկ գործիքներ, օրինակ՝ EVG(R) մասկային համաձայնիչը և EVG(R) անցուցիչ համակարգը:
Օրինակ, բժշկական հետազոտություններում օգտագործվող ֆոտոլիթոգրաֆիայի միջոցով կառուցվում են միկրոսկոպիկ քումներ մարմնացույցների անալիզի համար: Այս տեխնոլոգիան մաս է նաև կոչվող լաբորատորիա-վրա-սարքից: Այս տեխնոլոգիայի օգտագործմամբ հնարավոր է արագ և ճշգրիտ անալիզ կատարելու համար՝ ավելի շատ լուսադարձակություն բերելու համար հետազոտություններին մարմնացույցների մասին: Ֆոտոլիթոգրաֆիայի միջոցով մասկային համակարգի օգտագործումը նաև հնարավոր է միկրո-և նանոֆլուիդիկ համակարգերի ստեղծման համար: Եթե ճիշտ է, այս համակարգերը կարող են ավելի ճշգրիտ դադարներ ստացնելու համար բժշկական բուժումների ադեգացությունն ու ան전ությունը բարելավել։
权 © Գյուանգզու Մինդեր-Հայտեխ Կո.,Լտդ. Բոլոր իրավունքները պաշտպանված են