Bevezetés:
A mágneses térrel segített szórási (magnetron) bevonóberendezés egy speciális, laboratóriumi célra fejlesztett bevonóeszköz, amelyet cégünk hozott létre. A berendezéshez egyenáramú (DC) és rádiófrekvenciás (RF) tápegység is csatlakoztatható. A teljesítménytartomány 500 W-tól 1000 W-ig terjed. A hagyományos plazmaszórással összehasonlítva a mágneses térrel segített szórási eljárás több előnnyel bír: magasabb energiaszint, nagyobb sebesség, magasabb lerakódási sebesség és alacsonyabb mintahőmérséklet-emelkedés. A magnetron céltárgy vízhűtött réteggel van ellátva. A vízhűtő hatékonyan elvezeti a hőt, és megakadályozza a hő felhalmozódását a céltárgy felületén, így a magnetron bevonás hosszú ideig stabilan működhet. A kompakt tervezés révén a berendezés térfogata és teljesítménye közötti egyensúlyt sikerült megteremteni; megjelenése vonzó, funkciói pedig kifinomultak. A teljes gépet érintőképernyőről lehet vezérelni, és beépített egygombos bevonási programmal rendelkezik, amely egyszerű kezelést biztosít, és ideális eszköz vékonyrétegek laboratóriumi előállításához.
Alkalmazás:
Egy- vagy többrétegű ferroelektromos vékonyfilmek, vezető rétegek, ötvözet-filmek, féligvezető-filmek, kerámiarétegek, dielektrikus rétegek, optikai rétegek stb. előállítására használható.