





|
PLASMA forrás
|
RF
|
||
|
Teljesítmény
|
ICP
|
_
|
|
|
BIAS
|
1000W(opció)
|
||
|
Alkalmazási kör
|
4~8 inch
|
||
|
Egyetlen feldolgozási szelet száma
|
1
|
||
|
Kijelentkezési méretek
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
|
Rendszervezérlés
|
PLC
|
||
|
Automatizációs szint
|
Kézi
|
||








Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved